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- [发明专利]一种薄膜体声波器件及其制备方法-CN202211629761.4在审
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董树荣;轩伟鹏;刘刚;金浩;高峰;骆季奎
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浙江大学杭州国际科创中心
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2022-12-19
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2023-06-06
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H03H9/17
- 本发明公开一种薄膜体声波器件的制备方法,包括在硅衬底上刻蚀第一空腔,在第一空腔内沉积牺牲层,在牺牲层和部分衬底上沉积第一电极,在第一电极和另一部分衬底上依次一次性沉积压电薄膜、第二电极和保护层,刻蚀直到漏出压电薄膜,同时刻蚀分别得到Q值提升结构和漏出第二电极,在压电薄膜薄膜上刻蚀出沉积通孔和释放孔,通过沉积通孔沉积第一金属pad层,使得第一金属pad层与第一电极相连,在漏出的第二电极上沉积第二金属pad层,通过释放孔腐蚀牺牲层得到第二空腔,从而得到薄膜体声波器件;通过物理刻蚀的方法从保护层上刻蚀Q值提升层,使得Q值提升层的刻蚀profile控制在80‑90°。本发还公开了利用该制备方法制备得到的一种薄膜体声波器件。
- 一种薄膜声波器件及其制备方法
- [实用新型]一种柔性覆铜板-CN202020323536.8有效
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赵国栋;郭乔;潘治梁
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广州市寅源新材料股份有限公司
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2020-03-16
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2020-10-30
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H05K1/02
- 本实用新型公开了一种柔性覆铜板,包括PET薄膜基材,PET薄膜基材的顶部外壁上印刷有上胶粘层,上胶粘层的顶部设置有上层铜箔,PET薄膜基材的底部外壁上印刷有下胶粘层,下胶粘层的下方设置有下层铜箔,上胶粘层与下胶粘层远离PET薄膜基材的一侧面形状为波浪形,上层铜箔通过上胶粘层与PET薄膜基材粘接在一起,下层铜箔通过下胶粘层与PET薄膜基材粘接在一起,上胶粘层与下胶粘层上均开设有一号气道组和二号气道组,一号气道组和二号气道组均包括第一主气道、气道口、主通道、第二主气道和分支通道,第一主气道和第二主气道均位于靠近PET薄膜基材边缘的位置,且呈蛇形分布,主通道将第一主气道与第二主气道相连通。
- 一种柔性铜板
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