“蒸镀室”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果1103016个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种蒸镀装置-CN201620638799.1有效
发明人：彭锐;孙力;许凯;王欣欣;叶志杰;万想 -专利权人：合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-06-22 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸镀装置，包括：蒸镀坩埚、蒸镀防沸板和顶盖，所述蒸镀坩埚上设置有所述蒸镀防沸板；所述蒸镀防沸板和顶盖之间设置有蒸镀腔室；所述蒸镀腔室连接有与所述蒸镀腔室连通的可拆卸的冷却室；还包括设置在所述冷却室和所述蒸镀腔室之间的隔板，用于导通或分隔所述蒸镀腔室和冷却室。该蒸镀装置一方面，该装置阻止了高温对剩余蒸镀材料的反复作用而产生的裂解，以使剩余蒸镀材料可以再利用；另一方面，该装置的冷却室可拆卸，方便对冷却室进行清洗；此外，相比于具有较大体积的内腔室的蒸镀装置，本实施例中提供的蒸镀装置中的蒸镀腔室可使得蒸镀过程中气体更快达到蒸汽压
一种装置

[发明专利]一种蒸镀设备及蒸镀方法-CN201910599323.X有效
发明人：饶勇;岳小非 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2019-07-04 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀设备及蒸镀方法。所述蒸镀设备包括：传送机构、第一蒸镀腔室和第二蒸镀腔室；其中，所述传送机构，被配置为将待蒸镀基板在所述第一蒸镀腔室和所述第二蒸镀腔室间传送；所述第一蒸镀腔室，被配置为在待蒸镀基板上形成第一蒸镀膜层；以及所述第二蒸镀腔室，被配置为在所述第一蒸镀膜层上形成第二蒸镀膜层。所述蒸镀设备及蒸镀方法能够降低蒸镀腔室温度，降低白点不良的概率。
一种设备方法

[发明专利]一种蒸镀装置-CN201510169608.1有效
发明人：裴凤巍;赵子仪;崔富毅;张金中 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2015-04-10 - 公布日： 2017-07-25 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀装置，用于解决现有技术的蒸镀装置需要单独设立传送腔室，并且每次蒸镀需要重新对各蒸发腔室进行抽真空、设备复杂、传送和抽真空时间长等问题。本发明提供的蒸镀装置包括多个蒸镀子腔室，将待蒸镀基板在多个蒸镀子腔室移动完成各层镀蒸，节省待蒸镀基板的传送时间，且将蒸镀腔室维持在同一真空环境下，各蒸镀子腔室不用重新抽真空，节省抽真空时间。
一种装置

[发明专利]卷绕式镀膜机-CN202010353566.8在审
发明人：李成华 -专利权人：义乌市森煌科技有限公司
申请日： 2020-04-29 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种卷绕式镀膜机，包括蒸镀室、设在蒸镀室一侧的卷绕装置、分别与蒸镀室连通的第一扩散泵和第二扩散泵，蒸镀室包括上腔室、与上腔室连通的下腔室，下腔室内设有固态银，下腔室内还设有感应加热器，第一扩散泵与蒸镀室上腔室连通，第二扩散泵与蒸镀室下腔室连通，蒸镀室与卷绕装置相邻的侧面设有供卷绕装置进出的开口。发明的第一扩散泵与蒸镀室上腔室连通，第二扩散泵与蒸镀室下腔室连通，从而增加了蒸镀室内的真空度，现有传统镀银膜技术中蒸镀室的真空度一般仅能达到10‑4Pa，而本发明的卷绕式镀膜机的蒸镀室可以达到3×10‑3Pa，从而降低了蒸镀室内气体杂质，从而提升了银膜的纯度。
卷绕镀膜

[实用新型]一种卷绕式镀膜机-CN202020694146.1有效
发明人：李成华 -专利权人：义乌市森煌科技有限公司
申请日： 2020-04-29 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种卷绕式镀膜机，包括蒸镀室、设在蒸镀室一侧的卷绕装置、分别与蒸镀室连通的第一扩散泵和第二扩散泵，蒸镀室包括上腔室、与上腔室连通的下腔室，下腔室内设有固态银，下腔室内还设有感应加热器，第一扩散泵与蒸镀室上腔室连通，第二扩散泵与蒸镀室下腔室连通，蒸镀室与卷绕装置相邻的侧面设有供卷绕装置进出的开口。实用新型的第一扩散泵与蒸镀室上腔室连通，第二扩散泵与蒸镀室下腔室连通，从而增加了蒸镀室内的真空度，现有传统镀银膜技术中蒸镀室的真空度一般仅能达到10‑4Pa，而本实用新型的卷绕式镀膜机的蒸镀室可以达到3×10‑3Pa，从而降低了蒸镀室内气体杂质，从而提升了银膜的纯度。
一种卷绕镀膜

[实用新型]一种蒸镀装置以及蒸镀系统-CN202320181945.2有效
发明人：楚志伟;宋裕斌;谢飞;刘远洋;田昊;朱彧;尚钰东;吴渊;高领伟 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2023-01-19 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开一种蒸镀装置以及蒸镀系统。其中一实施例的蒸镀装置包括蒸镀腔室，所述蒸镀腔室包括放置待蒸镀基板的第一蒸镀腔室和位于所述第一蒸镀腔室外侧的第二蒸镀腔室，所述蒸镀装置包括：设置在所述第二蒸镀腔室的蒸镀源，包括：蒸镀坩埚和位于所述蒸镀坩埚上的多个喷嘴，每一所述喷嘴出射蒸镀材料形成一个材料蒸镀区；设置在所述喷嘴远离蒸镀坩埚一侧的承载板，所述承载板与所述喷嘴具有预设距离；设置在所述承载板靠近所述蒸镀源一侧表面的探测单元，所述探测单元用于感测所述材料蒸镀区的材料蒸镀状态，以生成对应于所述材料蒸镀区的喷嘴工作信息，以及遮挡件，用于响应于输入的控制指令遮挡或者不遮挡所述探测单元。
一种装置以及系统

[发明专利]一种蒸镀、水镀一体化设备-CN202111671723.0在审
发明人：臧世伟 -专利权人：重庆金美新材料科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种蒸镀、水镀一体化设备，包括蒸镀室、过渡室和水镀室，所述水镀室位于所述蒸镀室的正下方，所述过渡室位于所述蒸镀室和所述水镀室之间，所述蒸镀室和所述过渡室上分别设置有抽真空装置。本发明实施例中蒸镀室和水镀室一体化设计，避免了在运输过程中空气中的水分子会吸附在基膜上，提高镀膜质量，同时也省时省力，降低成本。
一种一体化设备

[实用新型]往复式连续镀膜装置-CN202021822515.7有效
发明人：周兴 -专利权人：启东申通电子机械配件有限公司
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：往复式连续镀膜装置，包括蒸镀室，蒸镀室内设蒸镀喷头，蒸镀喷头通过铁氟龙软管与传输管连接；蒸镀喷头顶部设滑块，滑块通过滑槽与蒸镀室的端盖连接。蒸镀室一侧设电动推杆，蒸镀喷头底部一侧与活塞杆连接，导套固定在蒸镀室的侧面上。蒸镀喷头前方设蒸镀板，蒸镀板固定在框架内，框架通过轴杆与伺服电机连接；伺服电机固定在端盖上。本实用新型通过电动推杆来回拉动蒸镀喷头，伺服电机转动蒸镀板析镀提高析镀质量。
往复连续镀膜装置

[发明专利]一种蒸镀设备-CN201310505072.7有效
发明人：李元虎;马大伟;王玉 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
申请日： 2013-10-23 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及显示装置的制造技术领域，公开了一种蒸镀设备，可以实现连续蒸镀，提高生产效率，降低生产成本。蒸镀设备包括：蒸镀室，内部设置有可容置坩埚的坩埚置换盘、夹具，以及至少一个加热坩埚的蒸镀装置；置换室，内部设置有可容置坩埚的坩埚置换盘；将蒸镀室与置换室连通或隔离的阀门；对置换室抽真空的抽真空设备；控制设备，控制夹具夹持坩埚在蒸镀位置和蒸镀室内的坩埚置换盘之间换位，以及控制夹具在阀门打开时夹持坩埚置换盘在蒸镀室和置换室之间换位。向蒸镀室内添加蒸镀材料无需降温和破真空，蒸镀装置可以进行连续蒸镀，大大提高了生产效率，降低了生产成本。
一种设备

[实用新型]用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置-CN03226073.3无效
发明人：周卫华;付东;张泓;尚娅娴;舒逸;姜翠宁;黄启耀 -专利权人：深圳市创欧科技有限公司
申请日： 2003-05-08 - 公布日： 2004-06-02 - 主分类号： C23C14/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置，旨在解决现有的蒸镀装置导致的基片蒸镀图案不精确、蒸镀室体积大等问题，包括一个通过管道与各个蒸发器相连通的真空状态的蒸镀室(60)，基片(8)位于蒸镀室(60)内的工作台(9)上，掩模板(7)贴于基片(8)的上表层，蒸镀室(60)的底部与真空抽气系统(61)相通，所述的蒸镀室(60)与各个蒸发器之间还可以进一步设置有混合腔室(4)。采用本实用新型后，可以得到精确的基片蒸镀图案，缩小真空蒸镀室的体积，降低蒸镀装置的成本，此外，本实用新型还具有在不停止蒸镀的情况下可以对不同的蒸镀源单独连续加料等优点。
用于制作有机电致发光显示器装置

[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法-CN201310339337.0无效
发明人：若林雅;加藤升;石泽泰明;图师庵 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-08-06 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：在水平蒸镀型的有机EL膜成膜用蒸镀装置中，极力降低蒸镀源的无意义的蒸镀时间。有机EL膜成膜用的蒸镀装置具备：配置有真空机器人的机器人搬送室；与该机器人搬送室连接的2个蒸镀室；能够放置2张基板且水平收放在蒸镀室内的分度工作台；使分度工作台在水平方向上旋转的旋转单元；以及位于分度工作台的下方，能够在水平方向上移动地配置的蒸镀源。真空机器人能够在蒸镀室与机器人搬送室之间在水平方向搬入、搬出基板，在使用蒸镀源对放置在分度工作台上的2张基板中的一方进行蒸镀时，利用真空机器人将另一方的基板从蒸镀室搬出到机器人搬送室，取而代之将新的基板从机器人搬送室搬入蒸镀室蒸镀结束后，旋转分度工作台。
装置方法

[发明专利]一种用于眼镜片的控温真空蒸镀设备-CN202210363784.9有效
发明人：王风华;张锐;田水红;叶全标 -专利权人：温州市瓯海眼镜有限公司
申请日： 2022-04-08 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于眼镜片的控温真空蒸镀设备，包括蒸镀室，所述蒸镀室设有承载架、蒸镀源、排气通道以及降温机构，所述承载架以及蒸镀源分别对应设置在蒸镀室内的顶部以及底部，所述排气通道设置在蒸镀室的一侧，所述降温机构包括蛇形管，所述蛇形管覆盖蒸镀室外侧壁；所述蒸镀源的一侧还设有可活动的盖板，盖板设有连接降温机构的触发电极；实现了盖板打开蒸镀源时降温机构停止工作，蒸镀室升温蒸镀，结束后盖板隔绝蒸镀源，降温机构自动启动并配合排气通道灌入冷空气，内外同步加速蒸镀室降温，节省了等待时间，增加单位时间内的加工批次，提高眼镜片整体的镀膜效率。
一种用于眼镜片真空设备

[实用新型]一种蒸镀系统-CN201821715229.3有效
发明人：黄建宁 -专利权人：黄建宁
申请日： 2018-10-23 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蒸镀系统，所述蒸镀系统包括第一蒸镀模块、第二蒸镀模块和清洗模块，其中，第一蒸镀模块包括第一掩膜板、第一对位室、有机蒸镀室和第一分离平台；第二蒸镀模块包括第二掩膜板、第二对位室、金属蒸镀室和第二分离平台；清洗模块包括加热室、冷却室、转换平台、清洗单元、卸载台和掩膜板储藏室；清洗模块中转换平台与第一分离平台连接、加热室与第二分离平台连接、掩膜板储藏室与第一对位室连接。与现有技术相比，根据本实用新型的蒸镀系统及相应的蒸镀及掩膜板清洗方法，可以显著提高蒸镀工艺效率和清洗效果，并在保护环境的同时显著降低清洗成本。
蒸镀掩膜板分离平台蒸镀系统清洗模块对位储藏室本实用新型转换平台加热室清洗有机蒸镀室工艺效率金属蒸镀清洗单元清洗效果冷却室卸载台

[发明专利]一种蒸镀系统及相应的蒸镀及掩膜板清洗方法-CN201811234189.5在审
发明人：黄建宁 -专利权人：黄建宁
申请日： 2018-10-23 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀系统及蒸镀及掩膜板清洗方法，所述蒸镀系统包括第一蒸镀模块、第二蒸镀模块和清洗模块，其中，第一蒸镀模块包括第一掩膜板、第一对位室、有机蒸镀室和第一分离平台；第二蒸镀模块包括第二掩膜板、第二对位室、金属蒸镀室和第二分离平台；清洗模块包括加热室、冷却室、转换平台、清洗单元、卸载台和掩膜板储藏室；清洗模块中转换平台与第一分离平台连接、加热室与第二分离平台连接、掩膜板储藏室与第一对位室连接。与现有技术相比，根据本发明的蒸镀系统及相应的蒸镀及掩膜板清洗方法，可以显著提高蒸镀工艺效率和清洗效果，并在保护环境的同时显著降低清洗成本。
蒸镀掩膜板分离平台蒸镀系统清洗模块清洗对位储藏室转换平台加热室有机蒸镀室工艺效率金属蒸镀清洗单元清洗效果冷却室卸载台

[发明专利]复合式镀膜的装置与方法-CN200810174509.2无效
发明人：吕昆达;林汉伦 -专利权人：晟辉科技股份有限公司
申请日： 2008-11-05 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：一种复合式镀膜装置与方法，用以均匀成膜于一基板上方，包含一真空腔体，及一转子，而真空腔体具有溅镀室及蒸镀室，溅镀室可电浆表面处理基板及溅镀薄膜导电层，蒸镀室则连接于该溅镀室，蒸镀一主导电层，透过转子转动基板于溅镀室及蒸镀室，交替溅镀薄膜导电层于主导电层上及蒸镀主导电层于薄膜导电层上直到预定膜厚。
复合镀膜装置方法

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条