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[发明专利]蒸镀源清洁设备及蒸镀系统-CN201910459263.1有效
发明人：方刚;陈策;王宝友;尹俊 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀源清洁设备及蒸镀系统。该蒸镀源清洁设备包括真空腔室、设置在真空腔室内的第一蒸镀源加热单元和第二蒸镀源加热单元，第一蒸镀源加热单元包括支撑部，支撑部用于放置至少一个点蒸镀源，第一蒸镀源加热单元内能够生成热辐射以对点蒸镀源进行清洁；第二蒸镀源加热单元与第一蒸镀源加热单元间隔分布，第二蒸镀源加热单元包括用于放置线蒸镀源或面蒸镀源的至少一个容置槽，容置槽能够产生热辐射对线蒸镀源或面蒸镀源进行清洁。本发明公开的蒸镀源清洁设备能够去除点蒸镀源、线蒸镀源以及面蒸镀源的杂质，不会对蒸镀腔室的工艺造成影响，进而可以提升蒸镀效率，提升蒸镀系统稼动率。
蒸镀源清洁设备系统

[发明专利]除尘装置、蒸镀机台及以其进行清洁遮罩的方法-CN200410083937.6有效
发明人：柯崇文 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2004-10-12 - 公布日： 2005-03-30 - 主分类号： B08B7/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种除尘装置、蒸镀机台及以其进行清洁遮罩的方法，其中蒸镀机台包括一蒸镀室，一超音波清洁室以及至少一传输装置。蒸镀室内利用至少一遮罩对一基板进行蒸镀作业。传输装置用于在蒸镀室及超音波清洁室之间传递遮罩。超音波清洁室内，设有一除尘装置，该除尘装置包括一超音波产生器、一气流吹出器以及一吸尘器。清洁遮罩的方法是利用传输装置将遮罩由蒸镀室取出，送入超音波清洁室中，藉由除尘装置中的超音波产生器产生震波震动遮罩表面的微粒并使微粒易于松动，且由气流吹出器吹出气流将遮罩表面的微粒扬起，并以吸尘器将所扬起的微粒吸除在遮罩清洁完成后，由传输装置将遮罩送至蒸镀室内进行蒸镀作业。
除尘装置机台以其进行清洁方法

[发明专利]真空装置用闸阀-CN200680045212.5有效
发明人：饭岛荣一 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2006-11-28 - 公布日： 2008-12-10 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种用于蒸镀装置的真空装置用闸阀，即使其位于开阀位置时，也可以通过保护阀箱的内壁面及阀体的密封部件与蒸镀材料的蒸气隔离来提高蒸镀室真空保持的可靠性。作为电子枪用闸阀(1)，使用真空装置用闸阀，关闭阀时，与现有技术同样地阀体(3)把电子枪部从蒸镀室分离。打开阀时，通过把筒状的可动屏蔽件(22)插入阀的阀室(15)内，使阀室(15)与蒸镀室隔离，阀箱(2)的内壁面及阀体(3)的密封部件不暴露在蒸镀室内的蒸气中，以进行保护而避免蒸镀物(MgO)附着。
真空装置闸阀

[实用新型]蒸镀装置-CN201820819527.0有效
发明人：小川雄太 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-05-30 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸镀装置(1)，该蒸镀装置(1)包括用于收容蒸镀材料并执行蒸镀作业的腔室(2)和用于向所述腔室(2)的内部导入气体的气体入口(22)，所述蒸镀装置的特征在于，所述腔室(2)设有用于检测所述腔室
蒸镀装置腔室氧气氧浓度检测装置本实用新型气体入口蒸镀材料蒸镀收容室内监控检测

[发明专利]蒸镀设备及蒸镀方法-CN202011216077.4在审
发明人：翁志坤;冉忠堂;沈旭铭 -专利权人：广东广纳芯科技有限公司
申请日： 2020-11-04 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀设备，包括：蒸镀室，在该蒸镀室中放置待蒸镀晶圆；以及蒸发源，利用该蒸发源，在待蒸镀晶圆表面蒸镀金属膜，该金属膜是由合金金属和稀土元素形成薄膜，利用该蒸发源，通过蒸发镀膜方式来添加稀土元素
设备方法

[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法-CN202310030010.9在审
发明人：竹中贵史;武田笃 -专利权人：株式会社日本显示器
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及蒸镀装置及蒸镀方法。根据一个实施方式，蒸镀装置具备：载置台、与前述载置台相对的蒸镀头、和腔室，前述腔室收容前述载置台及前述蒸镀头，前述蒸镀头具备蒸镀源、喷嘴、控制板和移动机构，前述蒸镀源对材料进行加热以产生蒸气，前述喷嘴与前述蒸镀源连接，朝向前述载置台喷出由前述蒸镀源产生的蒸气，前述控制板具备包围前述喷嘴的套筒，前述移动机构使前述控制板沿着前述套筒的延伸方向移动。
装置方法

[实用新型]一种蒸镀装置-CN201620149087.3有效
发明人：严达祥;颜振裕;李明亮;周文博 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2016-02-29 - 公布日： 2016-07-06 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型揭示一种蒸镀装置，其中，所述蒸镀装置包括：蒸镀腔室；蒸镀源，设置于蒸镀腔室中，且位于待蒸镀基板下方；磁力调节装置，设置于所述待蒸镀基板的上方，用于使掩膜板贴附于所述待蒸镀基板的下表面，所述磁力调节装置包括所述蒸镀装置可以解决现有技术中由于磁板施加在待蒸镀基板上的磁力无法进行局部调整而出现的阴影效果等问题。
一种装置

[实用新型]电子束镀膜系统-CN201822030743.X有效
发明人：赖奇;廖先杰;刘翘楚;肖传海;彭富昌;钟璨宇;邹宇;吴恩辉;江思媛;范立男 -专利权人：攀枝花学院;成都天宇坤实机电设备有限公司
申请日： 2018-12-04 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电子束镀膜系统，包括相连通的清洗室和蒸镀室，清洗室底部设有气体入口和清洗室抽气口，清洗室内还设有磁控溅射装置；蒸镀室内设有电子束蒸镀装置，蒸镀室底部还设有蒸镀室抽气口。本实用新型通过抽气口排出清洗室和蒸镀室内的空气，再由气体入口向清洗室内通入离化气体产生电子对待镀膜的带材进行清洗、加热和刻蚀，可有效清除带材镀膜面的杂质和氧化层，极大提高镀膜层的结合力，改善镀膜层应力；通过蒸镀室内的电子束蒸镀装置使镀膜材料熔化蒸发、离化后沉积在带材上进行镀膜，能促进镀膜材料离子在带材上的沉积，使沉积形成的镀膜层致密度提高；本实用新型可极大提高带材镀膜后的镀膜层性能。
带材镀膜层清洗室镀膜室内本实用新型抽气口蒸镀室蒸镀沉积电子束蒸镀装置清洗电子束镀膜镀膜材料气体入口离化熔化磁控溅射装置气体产生结合力氧化层刻蚀排出加热离子蒸发

[实用新型]一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机-CN202123193311.9有效
发明人：臧世伟 -专利权人：重庆金美新材料科技有限公司
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，设置在真空腔室中，包括蒸镀机构和转向机构，其中，蒸镀机构包括蒸镀架，竖直安装在真空腔室的内，在蒸镀架上设置有放卷部和收卷部，在放卷部和收卷部之间设置有多个蒸镀源，转向机构包括多个转向辊，分别安装在所述蒸镀架的两侧，用于对蒸镀的薄膜进行转向，使薄膜依次经过多个蒸镀源进行双面蒸镀，本申请通过蒸镀架和真空腔体配合镀膜，通过调整蒸镀架的位置来调节走膜组件之间的薄膜段的张力，以提高薄膜蒸镀质量。
一种空间利用率双面薄膜蒸镀机

[实用新型]一种薄膜生产系统和真空蒸镀机构-CN202123112538.6有效
发明人：臧世伟 -专利权人：重庆金美新材料科技有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种薄膜生产系统和真空蒸镀机构，该系统包括真空蒸镀机构、搬运机构以及水电镀机构，通过真空蒸镀机构对待蒸镀的薄膜进行蒸镀，通过搬运机构用于对真空蒸镀机构蒸镀后的薄膜搬运至所述水电镀机构，水电镀机构用于对蒸镀后的薄膜进行水电镀；本实施例提供的薄膜生产系统不仅可以快速对薄膜上的金属进行增厚，也能够减少成本。另外，真空蒸镀机构包括真空腔室，以及设置在所述真空腔室中的蒸镀装置，该蒸镀装置包含了两组薄膜蒸镀部件，可以同时对两卷薄膜的双面进行蒸镀，提高了薄膜生产效率且极大的减少成本。
一种薄膜生产系统真空机构

[实用新型]蒸镀内衬的安装结构及蒸镀装置-CN201821014139.1有效
发明人：赵坤 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2018-06-28 - 公布日： 2019-02-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开一种蒸镀内衬的安装结构及蒸镀装置，其中安装结构包括第一永磁体、软磁材料区域。软磁材料区域与第一永磁体相对设置，且相互面对的一端可拆卸地吸附连接；第一永磁体和软磁材料区域分别分布在待固定的两个部件上；两个部件为蒸镀腔室的内壁面和蒸镀内衬的朝向蒸镀腔室内壁面一侧的表面。安装结构包括第一永磁体和第二永磁体，对称设置于蒸镀内衬的朝向蒸镀腔室内壁面一侧的表面与蒸镀腔室的内壁面上，且相对一端极性相反。通过永磁体的磁吸力，将蒸镀内衬与蒸镀腔室内壁面吸附在一起，从而完成蒸镀内衬的安装，提高安装效率。蒸镀装置包括蒸镀腔室、蒸镀内衬和上述任一安装结构，可以有效提高蒸镀内衬的安装效率。
内衬蒸镀永磁体安装结构室内壁面蒸镀腔室蒸镀装置蒸镀腔安装效率软磁材料本实用新型对称设置极性相反吸附连接相对设置磁材料磁吸力固定的可拆卸内壁面内壁吸附

[发明专利]有机器件及其制造装置、蒸镀室的评价及维护方法、标准掩模装置及其制造方法、标准基板-CN202110267508.8在审
发明人：冈本英介;池永知加雄;马场良洋;青木大吾 -专利权人：大日本印刷株式会社
申请日： 2021-03-12 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本公开涉及有机器件及其制造装置、蒸镀室的评价及维护方法、标准掩模装置及其制造方法、标准基板。有机器件的制造装置的蒸镀室的评价方法具备：蒸镀工序，在蒸镀室中，经由标准掩模装置的标准掩模的贯通孔使材料蒸镀于包含标准标记的标准基板，在标准基板上形成蒸镀层；搬出工序，将形成有蒸镀层的标准基板从制造装置搬出；以及观察工序，观察从制造装置搬出的标准基板中的标准标记与蒸镀层的位置关系。
有机器件及其制造装置蒸镀室评价维护方法标准

[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法以及有机EL显示装置的制造方法-CN201780093372.5在审
发明人：崎尾进;岸本克彦 -专利权人：堺显示器制品株式会社
申请日： 2017-08-21 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：由实施方式公开的蒸镀装置具有：真空腔室(8)；掩膜保持件(15)，其对真空腔室(8)内部所配置的蒸镀掩膜1进行保持；基板保持件(29)，其以与所保持的蒸镀掩膜(1)相接的方式对被蒸镀基板(2)进行保持；电磁铁(3)，其配置于被蒸镀基板(2)的与蒸镀掩膜1相反面的上方；蒸镀源5，其使蒸镀材料气化或升华；以及热管(7)，其至少吸热部(71)与电磁铁(3)接触，散热部(72)被导出至真空腔室(8)的外部。可抑制电磁铁的温度上升，获得精度良好的蒸镀图案。
装置方法以及有机 el 显示装置制造

[发明专利]真空蒸镀装置及使用了该真空蒸镀装置的设备制造方法-CN201810553063.8有效
发明人：住川谦;星野孝雄 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-06-01 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种真空蒸镀装置，所述真空蒸镀装置包括：真空腔室，所述真空腔室定义对被蒸镀体进行蒸镀工序的蒸镀空间，并能够维持成真空状态；蒸发源单元，所述蒸发源单元能够移动地设置在所述真空腔室内，包含收容有向所述被蒸镀体蒸镀的蒸镀物质的蒸发源；及旋转移动部，所述旋转移动部配置在构成所述真空腔室的面与所述蒸发源单元之间，一端部能够转动地连结于所述蒸发源单元，另一端部能够转动地连结于构成所述真空腔室的面，所述旋转移动部的能够转动地与构成所述真空腔室的面连结的所述另一端部与构成所述真空腔室的面连结成能够在朝向所述蒸发源单元的方向即第一方向上相对移动
真空装置使用设备制造方法

[实用新型]一种蒸镀装置-CN201821616548.9有效
发明人：王卫卫;孙飞 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2018-09-30 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括：蒸镀腔室；设置于所述蒸镀腔室内的至少一个腔室组件和与所述至少一个腔室组件分别连接的内衬；至少一个加热装置，设置于与所述至少一个腔室组件分别连接的内衬上，且位于所述内衬远离所述至少一个腔室组件的一侧本实用新型可以采用至少一个加热装置分别独立控制对应内衬的加热温度和加热时间，使得蒸镀腔室内的内衬上的水气大大减少，有利于减少镀膜材料性能改变，确保了镀膜材料在蒸镀时的良好性状，提高了蒸镀产品的效率和品质
内衬腔室组件加热蒸镀装置本实用新型独立控制镀膜材料加热装置蒸镀腔蒸镀室内蒸镀腔室水气性状