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[发明专利]一种扩散硼淀积新型石英舟-CN201910949036.7在审
发明人：崔文荣 -专利权人：江苏晟驰微电子有限公司
申请日： 2019-10-08 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开了一种扩散硼淀积新型石英舟,包括石英舟本体，在石英舟本体上设有一级舟槽支架，底部支架，一级石英舟槽，二级石英舟槽，一级石英舟槽与二级石英舟槽上均设有舟槽槽口，舟槽槽口的倾角为88度，当舟槽槽口的入口倾角为88度的时候，有效均衡气流，改善淀积的均匀性，并减少粘舟达到降低碎片的目的，该硼淀积的石英舟舟槽角度进行调整后，工艺气体可以将部分副产物带走，有效提高了均匀性，降低粘片的问题，大大降低了硼扩工艺的成本。
石英舟舟槽槽口淀积均匀性底部支架工艺气体入口倾角新型石英有效均衡副产物粘片支架扩散

[实用新型]一种扩散硼淀积新型石英舟-CN201921668560.9有效
发明人：崔文荣 -专利权人：江苏晟驰微电子有限公司
申请日： 2019-10-08 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扩散硼淀积新型石英舟,包括石英舟本体，在石英舟本体上设有一级舟槽支架，底部支架，一级石英舟槽，二级石英舟槽，一级石英舟槽与二级石英舟槽上均设有舟槽槽口，舟槽槽口的倾角为88度，当舟槽槽口的入口倾角为88度的时候，有效均衡气流，改善淀积的均匀性，并减少粘舟达到降低碎片的目的，该硼淀积的石英舟舟槽角度进行调整后，工艺气体可以将部分副产物带走，有效提高了均匀性，降低粘片的问题，大大降低了硼扩工艺的成本。
一种扩散硼淀积新型石英

[实用新型]一种蒸发钼舟-CN202220832346.8有效
发明人：刘浩;龚国华 -专利权人：驻马店市赛琅格斯光电有限公司
申请日： 2022-04-12 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸发钼舟，涉及镀膜设备领域，包括舟槽和舟盖，所述舟槽的两侧壁向外翻折形成两侧的舟翼，所述舟盖盖合在舟槽的顶部，舟盖上开设有H个蒸发孔一，舟盖上开设有加料口，本实用新型通过设置舟翼和预留孔，将固定件穿过预留孔与电极块连接固定到一起，继而在添加蒸发镀料以及对舟盖进行清洗时，不需要对电极块进行拆卸，进而给使用者的使用带来方便，通过设置舟耳和加强筋，通过将舟耳穿过相应的对接槽，一方面可以对舟盖进行限制，防止使用过程中蒸汽冲力带动舟盖，以保证舟盖在使用过程中的稳定性，另一方面舟耳与加强筋连接后，能够增加舟槽侧壁的强度，防止舟槽的变形，增加舟槽的使用寿命。
一种蒸发

[发明专利]石英舟清洗机-CN202110342084.7在审
发明人：钱诚;李刚;霍召军 -专利权人：亚电科技（苏州）有限公司
申请日： 2021-03-30 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种石英舟清洗机，包括石英舟清洗槽、水箱、机架和底板，所述水箱置于底板上，所述石英舟清洗槽置于水箱上，并与水箱相连接，所述机架安装在底板上，所述石英舟清洗槽和水箱均位于机架内。本发明中，石英舟清洗槽能用于容纳石英舟，并对石英舟进行清洗，且水箱能为石英舟清洗槽供应清洗液，来方便石英舟清洗槽中清洗的进行，底板的设置能为石英舟清洗槽和水箱起支撑作用，而机架能对石英舟清洗槽和水箱起一定的保护作用由此，本发明的石英舟清洗机能方便石英舟的清洗，清洗效率高，市场竞争力强，适合大规模生产需要要求。
石英清洗

[发明专利]一种石英推拉舟-CN201511025863.5有效
发明人：崔严匀;巴建锋;季勇 -专利权人：无锡华润华晶微电子有限公司
申请日： 2015-12-31 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供了一种石英推拉舟，包括平行设置的第一舟轴和第二舟轴、连接于第一舟轴和第二舟轴两端的连接轴、横跨于第一舟轴和第二舟轴上的第一插片档桥组及第二插片档桥组，第一插片档桥组和第二插片档桥组包括多个插片档桥，相邻插片档桥之间放置石英插片；第一舟轴上设置多个第一舟槽，第二舟轴上设置多个第二舟槽，第一舟槽和第二舟槽对应设置，晶圆片通过第一舟槽和第二舟槽被承载在石英推拉舟上；第一插片档桥组和第二插片档桥组分别固定于第一舟轴和第二舟轴的两端，第一舟槽和第二舟槽设置于第一插片档桥组和第二插片档桥组之间。
一种石英推拉

[实用新型]用于定硫仪的燃烧舟-CN200620050798.1无效
发明人：朱明轩;王芹 -专利权人：湖南三德科技发展有限公司
申请日： 2006-04-28 - 公布日： 2007-05-09 - 主分类号： G01N31/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于定硫仪的燃烧舟，它包括舟体，所述舟体的上、下两个面上分别设有第一舟槽和第二舟槽。该第一舟槽和第二舟槽均为舟体上的内凹面。本实用新型是一种结构简单、成本低廉，能够有效提高燃烧舟的利用率，延长其使用寿命，并能使所盛装煤样充分燃烧的用于定硫仪的燃烧舟。
用于定硫仪燃烧

[实用新型]石英舟-CN201620058709.1有效
发明人：宋贤 -专利权人：苏州市富同石英科技有限公司
申请日： 2016-01-21 - 公布日： 2016-06-22 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石英舟，包括支撑腿、设置在支撑腿上的石英框架以及设置在石英框架上的上层石英柱组以及下层石英柱组，上层石英柱组包括两根水平设置的上石英柱，两根上石英柱开设有槽口相对的上石英舟槽；下层石英柱组包括两根水平设置的下石英柱，下石英柱开设有开口向上的且与上石英舟槽对应的下石英舟槽；上石英舟槽彼此平行且等距，上石英舟槽的数量为25～500个；下石英舟槽彼此平行且等距，下石英舟槽的数量与上石英舟槽的数量相同；硅片放置在下石英舟槽以及上石英舟槽内，相对于传统的100槽的石英舟，本实用新型的石英舟单次扩散工序能够完成的硅片数量增多，在不增加时间以及耗能的条件下，最多将产能提升400％，能够降低耗能。
石英

[发明专利]一种玻璃钝化新型石英舟-CN201910948924.7在审
发明人：崔文荣 -专利权人：江苏晟驰微电子有限公司
申请日： 2019-10-08 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开了一种玻璃钝化新型石英舟,包括石英舟机构，在石英舟机构上设有一级石英舟支架，石英舟槽，一级石英舟，主支架，二级石英舟，石英舟机构上的一级石英舟，一级石英舟的石英舟槽倾角为80度，进行玻璃烧结时需要通入较大流量的气体，调整硅片的角度后，降低气流对硅片的冲击，降低硅片的损伤，而且石英舟槽宽为10mm，定期清理舟槽中残留的玻璃粉，降低硅片边缘粘在石英舟上的几率，该技术方案有效降低硅片破碎的概率，提高良品率，大大降低了产品钝化的成本
石英舟硅片玻璃钝化玻璃烧结定期清理硅片边缘硅片破碎新型石英玻璃粉大流量良品率主支架槽宽钝化支架舟槽残留损伤概率

[实用新型]一种玻璃钝化新型石英舟-CN201921668540.1有效
发明人：崔文荣 -专利权人：江苏晟驰微电子有限公司
申请日： 2019-10-08 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种玻璃钝化新型石英舟,包括石英舟机构，在石英舟机构上设有一级石英舟支架，石英舟槽，一级石英舟，主支架，二级石英舟，石英舟机构上的一级石英舟，一级石英舟的石英舟槽倾角为80度，进行玻璃烧结时需要通入较大流量的气体，调整硅片的角度后，降低气流对硅片的冲击，降低硅片的损伤，而且石英舟槽宽为10mm，定期清理舟槽中残留的玻璃粉，降低硅片边缘粘在石英舟上的几率，该技术方案有效降低硅片破碎的概率，提高良品率，大大降低了产品钝化的成本
一种玻璃钝化新型石英

[实用新型]一种新型石英舟-CN202221504360.1有效
发明人：朱太荣;庞爱锁;甘新荣 -专利权人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
申请日： 2022-06-15 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型石英舟,包括挡板、固板、槽棒装置以及舟齿，槽棒装置连接挡板和固板，槽棒装置连接挡板和固板，槽棒装置包括若干槽棒，舟齿可拆卸设置在至少一根槽棒上，本实用新型将舟齿可拆卸连接在槽棒上，当舟齿出现损坏时，解除损坏舟齿与槽棒的连接，对损坏舟齿进行更换，提高了石英舟的使用寿命，当需要调整支撑空间时，解除目标舟齿与槽棒的连接，从而可兼容不同硅片间距的工艺或/和产能要求。
一种新型石英

[实用新型]舟托结构及半导体加工设备-CN202320811973.8有效
发明人：龙占勇;李东林;周亮;林佳继 -专利权人：拉普拉斯（广州）半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种舟托结构及半导体加工设备，舟托结构用于支撑舟结构，舟托结构具有定位槽，定位槽用于与舟结构的支撑柱配合，且定位槽的底壁与舟结构的支撑柱的接触形式为线接触。在实际工作过程中，将舟结构放置在舟托结构上时，支撑柱配合在定位槽内，定位槽能够限制支撑柱沿舟托结构的长度方向的运动，且由于定位槽的底壁与支撑柱的接触形式为线接触，增加接触压强，使得舟结构更为牢固的放置在舟托结构上
结构半导体加工设备

[实用新型]一种新型拼接式石墨舟-CN202220891552.6有效
发明人：张华;余波;王田飞 -专利权人：浙江纽能新能源科技有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型拼接式石墨舟，涉及PECVD镀膜技术领域。包括安装片，安装片的一侧安装有陶瓷杆，且陶瓷杆的表面连接有垫片，陶瓷杆的表面连接有螺母，且陶瓷杆的表面设置有第一舟片，第一舟片的表面开设有通槽，且第一舟片的表面开设有第一L型槽；陶瓷杆的表面设置有第二舟片，且第二舟片的表面开设有第二L型槽，第二L型槽的表面连接有连接杆；连接杆的表面开设有放置槽，且放置槽的内壁连接有挡块，放置槽的内部顶端连接有弹簧。本实用新型中，通过第一L型槽与第二L型槽的连接，可将第一舟片与第二舟片进行拼接，从而可改变单一舟片过长，有效改善石墨舟的舟片因过长而弯曲变形，同时也解决市场石墨舟舟片长尺寸材料短缺。
一种新型拼接石墨

[实用新型]一种消除太阳能电池绕扩、绕度的载片舟-CN202222597232.2有效
发明人：夏新中;孟庆超;王红芳;潘明翠;翟金叶;郎芳 -专利权人：英利能源发展有限公司;英利能源发展（天津）有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种消除太阳能电池绕扩、绕度的载片舟，属于半导体器件技术领域。本实用新型提供的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的载片舟，包括舟体，舟体的上端面设置有插片槽组，多组插片槽组以舟体的轴线为圆心呈圆周分布，插片槽组包括多组适于硅片插入的插片槽，插片槽贯穿舟体的上端面与下端面设置，插片槽平行于舟体的轴线设置，同一插片槽组内的插片槽相互平行设置，插片槽的宽度大于硅片的厚度。本实用新型提供的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的载片舟，硅片插入插片槽中，硅片的背面贴紧插片槽远离舟体中心一侧的舟壁上，转动载片舟，硅片在离心力的作用下紧贴在载片舟的舟壁上，硅片背面不会与气流接触，避免绕扩或绕镀的发生
一种消除太阳能电池载片舟

[实用新型]一种石墨舟舟片拆洗夹具装置-CN201420759776.7有效
发明人：翟金权;赵冬;张超 -专利权人：中节能太阳能科技（镇江）有限公司
申请日： 2014-12-05 - 公布日： 2015-04-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石墨舟舟片拆洗夹具装置，包括两块主边板、两块挡板、舟片卡槽和支撑主横杆；所述两块主边板和两块挡板组成矩形框架，所述舟片卡槽设置在矩形框架内部，所述支撑主横杆设置在矩形框架内底部；所述舟片卡槽为两组、分别设置在所述矩形框架内部两侧，每组所述舟片卡槽连接在所述两块主边板之间。本实用新型通过设置支撑框架、设于支撑框架内用于放置石墨舟舟片的舟片卡槽，为石墨舟提供拆洗的可能，保证石墨舟舟片表面氮化硅清洗更加彻底。
一种石墨舟舟片拆洗夹具装置

[发明专利]一种管式PECVD石墨舟结构-CN201811354016.7有效
发明人：肖洁;吴德轶;成秋云;张春成 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2018-11-14 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明的管式PECVD石墨舟结构，包括陶瓷基座、两个舟片锁紧盘组件、两个陶瓷固定环、石墨棒和多个舟片，舟片锁紧盘组件包括陶瓷绝缘盘和石墨导电盘，石墨导电盘上设有多个卡槽和多个第一导电槽，卡槽与第一导电槽均匀交错布置，陶瓷绝缘盘上设有多个卡齿，卡齿与卡槽的数量相等且二者配合，卡齿上设有第二导电槽，陶瓷基座上的安装柱面上设有舟片安装槽，陶瓷固定环上设有固定槽，舟片可沿轴向插入舟片安装槽内，舟片前端同时卡在前端的第一导电槽和固定槽内，舟片的后端同时卡在后端的第二导电槽和固定槽内。本发明中舟片呈扇形布置，充分利用石英管的空间，载片量比现有大，石墨舟电极处在石英管的中心，而舟片在电极外周，能使气流场更平顺均匀。
一种 pecvd 石墨结构

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