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[发明专利]具有喷气功能的晶圆清洗干燥升降机构-CN202310549654.9有效
发明人：钱诚;童建;段彬彬 -专利权人：江苏亚电科技有限公司
申请日： 2023-05-16 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及一种具有喷气功能的晶圆清洗干燥升降机构，属于晶圆制造设备技术领域。在具有喷气功能的晶圆清洗干燥升降机构中，动力组件驱动晶圆篮支撑座和晶圆支撑座做相对运动，喷气口设置于晶圆支撑座上，当晶圆支撑座升高到最顶端而将晶圆置于盖体内时，喷气口处于能够离盖体内的晶圆较近的位置，干燥气体能够直接喷吹到晶圆上，提高晶圆的干燥效率和相同时间下的干燥效果。
具有喷气功能清洗干燥升降机构

[发明专利]一种燃烧室瓦块的固定机构、以及燃烧室热屏装置-CN202310676652.6在审
发明人：周莉莉;王成武;沈逸文;张山子;陈明敏;赵连会;王彩山;熊骏;张翠丽;孙津雨;罗璐;王冀明;钱诚 -专利权人：上海电气燃气轮机有限公司
申请日： 2023-06-08 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： F23R3/60 文献下载
摘要：本发明涉及一种燃烧室瓦块的固定机构、以及燃烧室热屏装置，瓦块沿周向的侧边设有阶梯状的安装槽口，其阶梯面构成锚固面；壳体上设有壳体通风孔和容纳通孔；固定机构包括压盘和连接栓，压盘包括中间连接部、限位侧板和压接板，限位侧板位于中间连接部外侧，下端与中间连接部下端连接，且两个之间具有冷却腔室，压接板连接于限位侧板上端并向外延伸，中间连接部下端设有冷却凹槽和抵接面，其中设有连通冷却凹槽和冷却腔室的盘内通风孔、以及连接通孔，连接栓一端设有压头、另一端为固定端；安装时压盘的限位侧板位于下槽口部中，连接栓穿过连接通孔和容纳通孔，压头将中间连接部压在壳体上，冷却凹槽与壳体通风孔相对准，压接板压紧在锚固面上。
一种燃烧室瓦块固定机构以及装置

[发明专利]一种晶圆水平平移机构及平移方法-CN202310639174.1在审
发明人：钱诚;童建;吴亚晨 -专利权人：江苏亚电科技有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆水平平移机构，包括承载座及若干承载臂，第一固定块、第二固定块以及固定柱对晶圆片形成六个点的支撑，使得晶圆片不容易破损。其中第一固定块踢面的圆弧面刚好与晶圆片的边缘相抵靠，第二固定块以及固定柱均是以斜面的方式抵靠晶圆片，斜面使得晶圆片自然有下滑的趋势，使得晶圆片更容易抵靠在第一固定块上，具有自动校正位置的作用，提高了不同承载臂上的晶圆片的整齐度。
一种水平平移机构方法

[发明专利]一种晶圆搬运装置-CN202310635500.1在审
发明人：钱诚;李刚;童建 -专利权人：江苏亚电科技有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆搬运装置，所述晶圆搬运装置包括旋转运动机构、升降运动机构和水平运动机构分别用于带动承载座做旋转、升降和水平方向移动，第一固定块、第二固定块以及固定柱对晶圆片形成六个点的支撑，使得晶圆片不容易破损。其中第一固定块踢面的圆弧面刚好与晶圆片的边缘相抵靠，第二固定块以及固定柱均是以斜面的方式抵靠晶圆片，斜面使得晶圆片自然有下滑的趋势，使得晶圆片更容易抵靠在第一固定块上，具有自动校正位置的作用，提高了不同承载臂上的晶圆片的整齐度。
一种搬运装置

[发明专利]一种晶圆翻转装置-CN202310637763.6在审
发明人：钱诚;李刚;周兴江 -专利权人：江苏亚电科技有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆翻转装置，升降组件负责第二晶圆支撑柱的升降，锁定驱动件负责固定第一升降板，以防止翻转时发生松动，升降组件由升降滚轮在具有斜面的升降滑块顶部运动而发生升降，由于升降滚轮只是作用在升降滑块顶部，因此不容易卡住，同时锁定驱动件的设置起到了固定作用，防止因为，升降滚轮上方没有限制作用而导致的第一升降板在翻转时发生移动，提高了设备的使用寿命。
一种翻转装置

[实用新型]一种便于固定的钢筋定位结构-CN202320972491.0有效
发明人：刘松;魏荣;郭凯辉;王浩;钱诚;樊馨 -专利权人：河北林翔公路工程有限公司
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： B23K37/053 文献下载
摘要：本实用新型涉及建筑施工技术领域，提出了一种便于固定的钢筋定位结构，包括底座，所述底座内设有调节机构，所述调节机构的输出端固定连接有转动轴承，所述转动轴承的内环固定安装有固定盘，所述固定盘的一侧贯穿开设有多个定位孔。钢筋穿过定位孔并转动螺杆一，使螺套筒移动带动连接杆铰接推动滑块在滑槽内滑动，使夹块与钢筋接触，继而能够实现对小尺寸直径的钢筋进行定位夹持固定的效果，有效提高了使用便捷性和适用范围、以及钢筋焊接效果。
一种便于固定钢筋定位结构

[发明专利]用于燃烧室的多层分体式隔热瓦-CN202310996980.4在审
发明人：周莉莉;张山子;沈逸文;陈明敏;赵连会;王彩山;熊骏;张翠丽;罗璐;王成武;孙津雨;王冀明;钱诚 -专利权人：上海电气燃气轮机有限公司
申请日： 2023-08-09 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： F23R3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于燃烧室的多层分体式隔热瓦，隔热瓦包括可拆卸连接的屏蔽板、冲击孔板和底座，屏蔽板的边沿与底座的边沿相抵接，形成隔热瓦的侧壁；冲击孔板设置在屏蔽板和底座之间；底座上开有若干个通孔，且与冲击孔板之间形成第一腔室；屏蔽板与冲击孔板之间形成第二腔室，冲击孔板上设有多个冲击孔，隔热瓦的侧壁上还设有多个冷却孔。本发明采用的多层分体式的结构使每个部件易于加工和优化设计，根据功能选择合适材料，降低生产成本。当隔热瓦发生局部失效时，各部件都易于替换，进一步节约了成本。同时，本发明的隔热瓦引入了冷却冲击，冷却效率高，有助于延长隔热瓦的使用寿命及安全性。
用于燃烧室多层体式隔热

[发明专利]一种晶圆水平传输装置-CN202310566014.9在审
发明人：钱诚;童建;吴亚晨 -专利权人：江苏亚电科技有限公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆水平传输装置，包括：水平安装座、水平滑轨、晶圆支撑座，传输带的上半部分位于水平滑轨正上方，水平滑轨的上半部分通过连接块将晶圆支撑座与所述传输带连接，从而克服一侧的驱动导致的力矩，进而使得传输过程中更加稳定，不易发生晃动。传输带、水平滑轨以及转轴的中心共线，且位于竖直线上。使得力能够沿竖直线传导，进一步提高运行的稳定性。
一种水平传输装置

[发明专利]一种摇摆式晶圆干燥设备及晶圆干燥方法-CN202210713042.4有效
发明人：钱诚;李刚;霍召军 -专利权人：江苏亚电科技有限公司
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及一种摇摆式晶圆干燥设备，包括：槽体，盖体和摇摆机构。摇摆机构包括：驱动件、滑动安装块和拱形滑动臂；所述滑动安装块向下方延伸形成延伸部，拱形滑动臂的第一支臂中间具有滑动槽，滑动安装块的延伸部上设置有位于滑动槽内的滑轮。驱动件带动滑动安装块在滑轨上运动，进而通过滑轮作用于滑动槽，进而使容纳座发生摆动。与现有技术相比，滑动安装块向下方延伸形成延伸部，延伸部上设置滑轮，能够使滑轮尽量远离滑动安装块的移动中线，从而使整个滑轮和滑动槽的配合点更低，提高摆动的幅度。
一种摆式干燥设备干燥方法

[发明专利]基于WGAN的一维时序数据增广方法-CN202110896042.8有效
发明人：孙博;吴泽豫;王自力;冯强;任羿;杨德真;钱诚 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G06N3/0464 文献下载
摘要：本发明公开了一种一维时序数据增广方法，具体涉及一种基于Wasserstein生成对抗网络(WGAN)的数据增广方法。步骤如下：1.准备训练数据集，确保训练数据集的采样频率满足要求。2.构建生成对抗网络WGAN，构建由生成器和鉴别器组成的生成对抗网络，其损失函数由Wasserstein距离进行量化。3.训练构建的网络模型，循环训练鉴别器和生成器直到达到纳什均衡状态。4.遍历完整的时序数据，通过WGAN学习并分析时序数据的数字特征并对数字特征相同的数据进行聚类。5.对聚类完成的时序数据，利用每个子类对应的训练完成的WGAN生成器网络生成数字特征与原始数据一致的人工数据，实现数据集的增广。
基于 wgan 时序数据增广方法

[实用新型]一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降机构-CN202321056653.2有效
发明人：钱诚;童建;段彬彬 -专利权人：江苏亚电科技有限公司
申请日： 2023-05-06 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆干燥设备中具有保护功能的升降机构，属于晶圆干燥设备技术领域，所述升降机构包括：抵止组件、感应块、安装条、保护组件、以及感应组件，抵止组件在接触到保护组件时，保护组件被触发，以防止第一滑块、第二滑块的运动超过其极限位置，对第一滑块、第二滑块进行垂直方向的保护限位，将第一滑块、第二滑块的运动限制在固定的行程内，防止第一滑块、第二滑块出现脱轨等现象干扰、损坏设备运行。
一种干燥设备具有保护功能升降机构

[实用新型]异丙醇与氮气混合罐-CN202321086934.2有效
发明人：钱诚;李刚;霍召军 -专利权人：无锡亚电智能装备有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B01F25/452 文献下载
摘要：本申请涉及一种异丙醇与氮气混合罐，液态异丙醇通过异丙醇通入口注入到罐体内并淹没内罐，氮气从氮气通入通道进入内罐中，并从内罐的气孔处分散流出，气孔处流出的氮气在异丙醇内冒泡上升，在此过程中易挥发的异丙醇被混入氮气内形成混合气体，异丙醇与氮气混合更加均匀，混合气体从混合气体流出口处流出以供后续对晶圆的处理。同时，一体成型的石英材料极大地减少了机构之间的装配，降低了泄露的风险。
异丙醇氮气混合

[实用新型]一种流体加热器-CN202321087823.3有效
发明人：钱诚;霍召军;王建 -专利权人：无锡亚电智能装备有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： F24H1/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种流体加热器，包括：罐体、红外加热器；罐体内具有容纳腔体，由石英材料制成，罐体的两侧分别设置有流体通入口和流体流出口，沿罐体的轴向横向平行设置有横穿整个罐体内部的第一容纳管；红外加热器设置在第一容纳管内，红外加热器发出红外加热光线，以加热流过罐体流过的流体；罐体外包覆有玻璃纤维布。流体通过石英材料制成的罐体，红外加热器起加热作用，罐体不使用金属材料可以防止气体中带有金属成分，提高气体的纯度。玻璃纤维布起到了保护石英材料制成的罐体，还可以防止红外加热器发出的红外加热光线泄漏。红外加热器具有加热速度快，能够顺利通过石英材料制成的第一容纳管，同时红外加热的方式也不会对气体产生杂质。
一种流体加热器

[实用新型]一种晶圆干燥槽体槽盖结构-CN202321093548.6有效
发明人：钱诚;李刚;周志勇;刘川 -专利权人：无锡亚电智能装备有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： F26B25/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆干燥槽体槽盖结构，盖体的两侧分别具有驱动机构和滚轮，使得盖体的两侧均有支撑部件，使得盖体的运动更加平稳，盖体的结构设置，使得喷气管与喷气块均能够被很好地隐藏在顶板与底板之间形成安装腔内。
一种干燥槽体槽盖结构

[发明专利]干燥清洗设备-CN202310549644.5在审
发明人：钱诚;童建;段彬彬 -专利权人：江苏亚电科技有限公司
申请日： 2023-05-16 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及一种干燥清洗设备，其中包括晶圆升降机构，晶圆升降机构的喷气口设置于晶圆支撑座上，当晶圆支撑座升高到最顶端而将晶圆置于盖体内时，喷气口处于能够离盖体内的晶圆较近的位置，干燥气体能够直接喷吹到晶圆上，提高晶圆的干燥效率和相同时间下的干燥效果。
干燥清洗设备

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