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[发明专利]激光晶化装置-CN201510111851.8有效
发明人：秋秉权;安尚薰;郑炳昊;赵珠完 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2015-03-13 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：根据本发明的一个实施例的激光晶化装置包括：激光发生器，发生入射激光光束；光学系统，对所述入射激光光束进行光转换而制造射出激光光束；以及工作台，搭载有对象基板，该对象基板形成有被所述射出激光光束照射而被激光晶化的对象薄膜，所述光学系统包括：脉冲扩展及上下翻转模块，增加所述入射激光光束的脉冲持续时间的同时上下翻转入射激光光束的脉冲形状。
激光化装

[发明专利]晶片的加工方法-CN201511004991.1在审
发明人：植木笃 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2015-12-29 - 公布日： 2016-07-20 - 主分类号： H01L21/78 文献下载
摘要：其具有如下步骤：波长设定步骤，将对于晶片具有透过性的脉冲激光束的波长设定为1300nm～1400nm范围；改质层形成步骤，在实施波长设定步骤后，将脉冲激光束的聚光点定位在晶片的内部，从晶片的背面对与分割预定线对应的区域照射脉冲激光束并对保持机构与激光束照射机构进行加工进给而在晶片内部形成改质层在改质层形成步骤中，照射每1脉冲能量较小的第一脉冲激光束而形成第一改质层，追随第一改质层照射每1脉冲能量较大的第二脉冲激光束而与第一改质层重叠地形成第二改质层。
晶片加工方法

[发明专利]一种提升光纤激光脉冲幅值稳定性的装置及稳定方法-CN202011444081.6在审
发明人：田小程;康民强;许党朋;周丹丹;张锐;朱娜;夏汉定;宗兆玉;范孟秋;郑奎兴;彭志涛 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2020-12-08 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： H01S3/13 文献下载
摘要：本发明公开了一种提升光纤激光脉冲幅值稳定性的装置及稳定方法，该装置包括沿着激光光路依次连接的光纤分束器、延时器及幅度调制器，光纤分束器将激光分为主激光束和取样激光束，主激光束经延时器延时后进入幅度调制器；还包括光电转换模块和运算模块，光电转换模块经运算模块与幅度调制器相连，取样激光束经过光电转换模块将脉冲幅值转换为光电流信号并输入运算模块，根据光电流信号设定输出激光脉冲的幅值为标准幅值，运算模块根据标准幅值运算出取样激光束中各激光脉冲对应的限幅调制电压并输出电信号施加至幅度调制器，幅度调制器根据电信号调制主激光束的脉冲幅值以得到稳定幅值的输出激光脉冲。本发明有效提升了光纤激光脉冲的幅值稳定性。
一种提升光纤激光脉冲稳定性装置稳定方法

[发明专利]脉宽和功率可调谐的纳秒脉冲激光光源结构-CN201910130897.2在审
发明人：周保充 -专利权人：四川沃飞光电科技有限公司
申请日： 2019-02-22 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： H01S3/067 文献下载
摘要：本发明公开了一种脉宽和功率可调谐的纳秒脉冲激光光源结构，包括：用于将固定功率、脉宽的主激光束进行同步触发和分束，以得到多个分光束脉冲激光的纳秒种子光源系统；分别设置在分光束输出链路上，以对各分光束激光进行增益放大的多个放大系统；用于对各放大后的各分光束激光信号输出进行延迟调整的纳秒延迟系统；用于将经放大延迟后的各分光束激光信号进行合束处理的信号合束器。本发明提供一种脉宽和功率可调谐的纳秒脉冲激光光源结构，其采用调节各分束激光脉冲的功率和相互延时的方式，实现平均功率200‑5000W、脉宽30‑2000ns可调谐纳秒脉冲激光输出，从而提升纳秒脉冲激光光源在工业和国防领域的通用性
纳秒脉冲激光分光束可调谐光源结构激光信号脉宽放大激光分束激光脉冲分光束脉冲信号合束器输出放大系统固定功率国防领域平均功率同步触发延迟调整延迟系统增益放大种子光源主激光束输出链分束合束延时光源延迟

[发明专利]一种超短脉冲激光测量仪和测量方法-CN202010032816.8在审
发明人：虞华康;伦逸鹏 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2020-01-13 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： G01J11/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种超短脉冲激光测量仪，包括沿超短脉冲激光光路依次设置的分束器、换向装置、耦合装置和非线性光波导，分束器用于将超短脉冲激光分成反射光束和透射光束，换向装置用于将反射光束和透射光束调整至共线相向传播，耦合装置用于将共线相向传播的反射光束和透射光束耦合于非线性光波导，非线性光波导不同空间位置产生有横向倍频信号，信号采集装置用于采集非线性光波导不同空间位置产生的横向倍频信号。通过对非线性光波导不同空间位置产生的横向倍频信号的频谱强度信息采用反演算法多次迭代，可以确定超短脉冲激光复电场的完整表达式，能够获得超短脉冲激光完整的参数信息。本发明还涉及一种超短脉冲激光测量方法。
一种超短脉冲激光测量仪测量方法

[发明专利]一种发光二极管芯片的制备方法和光转换装置-CN201710347873.3有效
发明人：兰叶;顾小云;黄龙杰;杨春艳;吴志浩;王江波 -专利权人：华灿光电(浙江)有限公司
申请日： 2017-05-17 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：方法包括：提供一待划裂的芯片；沿垂直于芯片的层叠方向的直线方向移动芯片，并提供第一脉冲光束，控制第一脉冲光束沿芯片的层叠方向穿过蓝宝石衬底，以使第一脉冲光束在每次照射蓝宝石衬底时形成面状划痕，第一脉冲光束在平行于蓝宝石衬底的设有N型半导体层的表面的截面的面积，沿第一脉冲光束的照射方向先减小再增大，截面在面积为最小值时为一条与直线方向平行的线段，线段的长度大于芯片第一脉冲光束相邻两次照射所述蓝宝石衬底之间时移动的距离；沿面状划痕劈裂蓝宝石衬底
一种发光二极管芯片制备方法转换装置

[发明专利]激光加工层压工件堆叠体的方法-CN201780081572.9有效
发明人： A·R·尼伯;K·A·维兰德 -专利权人：康宁股份有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：形成轮廓线包括：将脉冲激光束(152)聚焦成脉冲激光束焦线，其被引导到第一透明工件(112a)中以在第一透明工件(112a)中产生诱导吸收，以及沿着第一工件分离线平移脉冲激光束焦线，由此激光形成具有多个缺陷的轮廓线所述方法还包括沿着树脂分离线分离树脂层(120)，这通过以下步骤进行：将脉冲激光束(152)聚焦成引导到树脂层(120)中的脉冲激光束焦线；以及沿着树脂分离线平移脉冲激光束焦线，由此激光烧蚀树脂层(120
激光加工层压工件堆叠方法

[实用新型]脉宽和功率可调谐的纳秒脉冲激光光源结构-CN201920239835.0有效
发明人：周保充 -专利权人：江苏沃飞激光技术有限公司
申请日： 2019-02-22 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： H01S3/067 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种脉宽和功率可调谐的纳秒脉冲激光光源结构，包括：用于将固定功率、脉宽的主激光束进行同步触发和分束，以得到多个分光束脉冲激光的纳秒种子光源系统；分别设置在分光束输出链路上，以对各分光束激光进行增益放大的多个放大系统；用于对各放大后的各分光束激光信号输出进行延迟调整的纳秒延迟系统；用于将经放大延迟后的各分光束激光信号进行合束处理的信号合束器。本实用新型提供一种脉宽和功率可调谐的纳秒脉冲激光光源结构，其采用调节各分束激光脉冲的功率和相互延时的方式，实现平均功率200‑5000W、脉宽30‑2000ns可调谐纳秒脉冲激光输出，从而提升纳秒脉冲激光光源在工业和国防领域的通用性
纳秒脉冲激光分光束可调谐光源结构本实用新型激光信号脉宽放大激光分束激光脉冲分光束脉冲信号合束器输出放大系统固定功率国防领域平均功率同步触发延迟调整延迟系统增益放大种子光源主激光束输出链分束合束延时光源延迟

[发明专利]用于使材料图案化的微加工方法和系统及使用该微加工系统的方法-CN201580040123.0有效
发明人：塞巴斯蒂安·兰德勒;约安·迪马尤;本杰明·杜塞尔 -专利权人：奇欧瓦公司
申请日： 2015-07-01 - 公布日： 2018-07-13 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：所述方法包括以下步骤：‑发射空间和时间相干脉冲光束；‑在动态光学调制设备的调制平面内，通过应用至少一个相位调制使所述空间和时间相干脉冲光束动态成型，以根据形成图案的多个点使所述光束成型；以及，‑借助于聚焦设备将由此成型的光束聚焦在放置于相对于调制平面处于傅里叶配置的工作平面内的材料的一个表面上在所述方法中，采用包含所述光束的有限数量的脉冲的脉冲串来对材料图案化，该有限数量严格小于形成图案的点的数量，以及控制光束的发射以使每个脉冲具有介于10ps到100ns之间的预定脉冲持续时间。
材料图案化成型微加工系统相干脉冲微加工脉冲图案调制调制设备动态光学工作平面光束聚焦聚焦设备控制光束所述空间相位调制预定脉冲发射傅里叶脉冲串配置的应用

[发明专利]一种脉冲激光烧蚀聚合物冲量产生装置及方法-CN201410706435.8有效
发明人：李小康;程谋森;李干 -专利权人：中国人民解放军国防科学技术大学
申请日： 2014-11-27 - 公布日： 2015-03-25 - 主分类号： B29C67/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种脉冲激光烧蚀聚合物冲量产生装置及方法。脉冲激光烧蚀聚合物冲量产生装置，包括用于发生脉冲激光束的脉冲激光束发生装置、用于放置待烧蚀聚合物并接受烧蚀过程中所产生的冲量的冲量接收面板、用于导出烧蚀产物的筒状排气段以及覆盖在待烧蚀聚合物上部并用于在烧蚀过程中诱导等离子体产生的金属网状结构；冲量接收面板设于筒状排气段的底部，金属网状结构安装在筒状排气段和/或冲量接收面板上并覆盖于冲量接收面板上的待烧蚀聚合物上部，金属网状结构与待烧蚀聚合物之间留有间隙，脉冲激光束发生装置的脉冲激光束发生端朝向冲量接收面板布置，脉冲激光束发生装置所发射的脉冲激光束穿过金属网状结构并作用于冲量接收面板上的待烧蚀聚合物上。
一种脉冲激光聚合物冲量产生装置方法

[发明专利]脉冲激光系统及其驱动方法-CN201310656731.7无效
发明人：赵成殷;千世炅;崔相焕 -专利权人：三星电机株式会社
申请日： 2013-12-06 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： H01S3/102 文献下载
摘要：本发明公开一种脉冲激光系统及其驱动方法。其中，该方法包括：由控制器根据从数据服务器提供的工件的加工条件信息确定将要照射到工件上的合适激光束的脉冲能量和曝光时间；由控制器确定从光束监测装置发出的光束的平均输出功率和能量是否处于设定光束的平均输出功率和能量范围内；由控制器基于确定的信息设定适于加工工件的脉冲能量和光束平均输出功率；以及计算空载时间，从而使测量的平均功率中的变化最小化，以使测量的光束平均功率遵循设定的光束平均输出功率并且将计算出的空载时间提供给触发脉冲生成器，其中，空载时间是光束未曝光在工件上时的时段。
脉冲激光系统及其驱动方法

[发明专利]激光加工装置以及激光加工方法-CN201510141679.0有效
发明人：石原裕;山口友之 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2015-03-27 - 公布日： 2017-06-27 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明提供一种即使频率发生变动，也能够准确地判定激光脉冲的良好及不良的激光加工装置及激光加工方法。光束扫描器使脉冲激光束入射到加工对象物，并且使表面的入射位置移动。光检测器检测各激光脉冲的依赖于脉冲能量的物理量。路径切换器将脉冲激光束的路径在入射到加工对象物的第1路径与不入射到加工对象物的第2路径之间进行切换。控制装置控制光束扫描器，以使脉冲激光束按照加工顺序入射到被加工点的位置，同时检测依赖于脉冲能量的物理量，根据物理量的分布来确定物理量的容许范围。在加工过程中，控制装置使通过光检测器检测出的物理量在容许范围内的激光脉冲的至少一部分沿着第1路径传播，使超出容许范围的激光脉冲沿着第2路径传播。
激光加工装置以及方法

[发明专利]一种基于贝塞尔光束加工微孔结构的方法-CN202011175111.8在审
发明人：姜澜;吴梦楠;李晓炜;韩伟娜 -专利权人：北京理工大学重庆创新中心;北京理工大学
申请日： 2020-10-28 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： B23K26/382 文献下载
摘要：本发明提供一种基于贝塞尔光束加工微孔结构的方法，包括采用第一脉冲能量的贝塞尔光束对待加工样品进行第一次加工形成初始孔；采用第二脉冲能量的贝塞尔光束对初始孔进行第二次加工，去除初始孔内的堵塞，形成通透孔；其中第一脉冲能量与第二脉冲能量指的是入射至初始孔所在加工区域处对应的实际脉冲能量，第二脉冲能量低于第一脉冲能量，且高于初始孔内堵塞区域的烧蚀阈值。通过强脉冲打孔、弱脉冲疏通的方式，同时兼顾了微孔深度和通透性，提升了贝塞尔光束加工更高深径比通透微孔的能力，对于贝塞尔应用在玻璃等硬质介质材料微孔加工中有着重要意义。
一种基于贝塞尔光束加工微孔结构方法

[发明专利]重复率根据扫描速度可调的高功率飞秒激光器-CN201180010855.7有效
发明人： M·卡瓦维蒂斯 -专利权人：爱尔康手术激光股份有限公司
申请日： 2011-02-24 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：提供了用于构造和操作飞秒脉冲激光器的设计和技术。激光引擎的一个例子包括生成和输出飞秒种子脉冲光束的振荡器；展宽种子脉冲的持续时间的展宽器‑压缩器；以及接收展宽种子脉冲、放大所选的展宽种子脉冲的幅度以创建放大的展宽脉冲、并且输出放大的展宽脉冲激光束以返回至展宽器‑压缩器的放大器，展宽器‑压缩器压缩返回的激光束的持续时间并输出飞秒脉冲激光束。放大器包括色散控制器，其补偿放大的展宽脉冲的色散，使得激光器的重复率在手术程序之间或者根据扫描速度可调。激光引擎可以是紧凑的，其总光路小于500米，并且具有小数量的光学元件，例如少于50个。
重复根据扫描速度可调功率激光器

[发明专利]减少准分子光源中的散斑-CN201780083474.9有效
发明人： T·P·达菲;F·埃弗茨;B·E·金;J·J·索内斯;W·P·E·M·奥普特鲁特;H·P·戈德弗里德 -专利权人：西默有限公司;ASML荷兰有限公司
申请日： 2017-12-04 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种方法包括：产生由具有深紫外范围中的波长的脉冲构成的光束，每个脉冲具有由第一时间相干长度定义的第一时间相干性，并且每个脉冲由脉冲持续时间定义；对于一个或多个脉冲，在脉冲的脉冲持续时间上调制光学相位以产生具有由第二时间相干长度定义的第二时间相干性的修改的脉冲，该第二时间相干长度小于脉冲的第一时间相干长度；至少从修改的脉冲形成脉冲光束；并且将形成的脉冲光束朝向光刻曝光设备内的衬底引导。
减少分子光源中的