专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]激光晶化装置-CN201510111851.8有效
  • 秋秉权;安尚薰;郑炳昊;赵珠完 - 三星显示有限公司
  • 2015-03-13 - 2020-06-12 - H01L21/67
  • 根据本发明的一个实施例的激光晶化装置包括:激光发生器,发生入射激光光束;光学系统,对所述入射激光光束进行光转换而制造射出激光光束;以及工作台,搭载有对象基板,该对象基板形成有被所述射出激光光束照射而被激光晶化的对象薄膜,所述光学系统包括:脉冲扩展及上下翻转模块,增加所述入射激光光束脉冲持续时间的同时上下翻转入射激光光束脉冲形状。
  • 激光化装
  • [发明专利]晶片的加工方法-CN201511004991.1在审
  • 植木笃 - 株式会社迪思科
  • 2015-12-29 - 2016-07-20 - H01L21/78
  • 其具有如下步骤:波长设定步骤,将对于晶片具有透过性的脉冲光束的波长设定为1300nm~1400nm范围;改质层形成步骤,在实施波长设定步骤后,将脉冲光束的聚光点定位在晶片的内部,从晶片的背面对与分割预定线对应的区域照射脉冲光束并对保持机构与激光束照射机构进行加工进给而在晶片内部形成改质层在改质层形成步骤中,照射每1脉冲能量较小的第一脉冲光束而形成第一改质层,追随第一改质层照射每1脉冲能量较大的第二脉冲光束而与第一改质层重叠地形成第二改质层。
  • 晶片加工方法
  • [发明专利]一种超短脉冲激光测量仪和测量方法-CN202010032816.8在审
  • 虞华康;伦逸鹏 - 华南理工大学
  • 2020-01-13 - 2020-05-22 - G01J11/00
  • 本发明涉及一种超短脉冲激光测量仪,包括沿超短脉冲激光光路依次设置的分束器、换向装置、耦合装置和非线性光波导,分束器用于将超短脉冲激光分成反射光束和透射光束,换向装置用于将反射光束和透射光束调整至共线相向传播,耦合装置用于将共线相向传播的反射光束和透射光束耦合于非线性光波导,非线性光波导不同空间位置产生有横向倍频信号,信号采集装置用于采集非线性光波导不同空间位置产生的横向倍频信号。通过对非线性光波导不同空间位置产生的横向倍频信号的频谱强度信息采用反演算法多次迭代,可以确定超短脉冲激光复电场的完整表达式,能够获得超短脉冲激光完整的参数信息。本发明还涉及一种超短脉冲激光测量方法。
  • 一种超短脉冲激光测量仪测量方法
  • [发明专利]一种脉冲激光烧蚀聚合物冲量产生装置及方法-CN201410706435.8有效
  • 李小康;程谋森;李干 - 中国人民解放军国防科学技术大学
  • 2014-11-27 - 2015-03-25 - B29C67/00
  • 本发明公开了一种脉冲激光烧蚀聚合物冲量产生装置及方法。脉冲激光烧蚀聚合物冲量产生装置,包括用于发生脉冲光束脉冲光束发生装置、用于放置待烧蚀聚合物并接受烧蚀过程中所产生的冲量的冲量接收面板、用于导出烧蚀产物的筒状排气段以及覆盖在待烧蚀聚合物上部并用于在烧蚀过程中诱导等离子体产生的金属网状结构;冲量接收面板设于筒状排气段的底部,金属网状结构安装在筒状排气段和/或冲量接收面板上并覆盖于冲量接收面板上的待烧蚀聚合物上部,金属网状结构与待烧蚀聚合物之间留有间隙,脉冲光束发生装置的脉冲光束发生端朝向冲量接收面板布置,脉冲光束发生装置所发射的脉冲光束穿过金属网状结构并作用于冲量接收面板上的待烧蚀聚合物上。
  • 一种脉冲激光聚合物冲量产生装置方法
  • [发明专利]脉冲激光系统及其驱动方法-CN201310656731.7无效
  • 赵成殷;千世炅;崔相焕 - 三星电机株式会社
  • 2013-12-06 - 2014-07-02 - H01S3/102
  • 本发明公开一种脉冲激光系统及其驱动方法。其中,该方法包括:由控制器根据从数据服务器提供的工件的加工条件信息确定将要照射到工件上的合适激光束脉冲能量和曝光时间;由控制器确定从光束监测装置发出的光束的平均输出功率和能量是否处于设定光束的平均输出功率和能量范围内;由控制器基于确定的信息设定适于加工工件的脉冲能量和光束平均输出功率;以及计算空载时间,从而使测量的平均功率中的变化最小化,以使测量的光束平均功率遵循设定的光束平均输出功率并且将计算出的空载时间提供给触发脉冲生成器,其中,空载时间是光束未曝光在工件上时的时段。
  • 脉冲激光系统及其驱动方法
  • [发明专利]激光加工装置以及激光加工方法-CN201510141679.0有效
  • 石原裕;山口友之 - 住友重机械工业株式会社
  • 2015-03-27 - 2017-06-27 - B23K26/00
  • 本发明提供一种即使频率发生变动,也能够准确地判定激光脉冲的良好及不良的激光加工装置及激光加工方法。光束扫描器使脉冲光束入射到加工对象物,并且使表面的入射位置移动。光检测器检测各激光脉冲的依赖于脉冲能量的物理量。路径切换器将脉冲光束的路径在入射到加工对象物的第1路径与不入射到加工对象物的第2路径之间进行切换。控制装置控制光束扫描器,以使脉冲光束按照加工顺序入射到被加工点的位置,同时检测依赖于脉冲能量的物理量,根据物理量的分布来确定物理量的容许范围。在加工过程中,控制装置使通过光检测器检测出的物理量在容许范围内的激光脉冲的至少一部分沿着第1路径传播,使超出容许范围的激光脉冲沿着第2路径传播。
  • 激光加工装置以及方法
  • [发明专利]重复率根据扫描速度可调的高功率飞秒激光器-CN201180010855.7有效
  • M·卡瓦维蒂斯 - 爱尔康手术激光股份有限公司
  • 2011-02-24 - 2017-04-05 - H01S3/10
  • 提供了用于构造和操作飞秒脉冲激光器的设计和技术。激光引擎的一个例子包括生成和输出飞秒种子脉冲光束的振荡器;展宽种子脉冲的持续时间的展宽器‑压缩器;以及接收展宽种子脉冲、放大所选的展宽种子脉冲的幅度以创建放大的展宽脉冲、并且输出放大的展宽脉冲光束以返回至展宽器‑压缩器的放大器,展宽器‑压缩器压缩返回的激光束的持续时间并输出飞秒脉冲光束。放大器包括色散控制器,其补偿放大的展宽脉冲的色散,使得激光器的重复率在手术程序之间或者根据扫描速度可调。激光引擎可以是紧凑的,其总光路小于500米,并且具有小数量的光学元件,例如少于50个。
  • 重复根据扫描速度可调功率激光器

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