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[发明专利]翘曲片的预对准装置及方法-CN201811614342.7有效
发明人：王刚;付红艳;黄栋梁;陈文枢;夏海 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种翘曲片的预对准装置及方法，该装置包括气嘴组件和滚轮组件，气嘴组件用于对翘曲片的边缘表面吹气，对翘曲片的边缘表面施加压力，以使翘曲片的边缘区域平整化；滚轮组件与气嘴组件沿竖直方向对应设置，滚轮组件用于在气嘴组件对翘曲片吹气时在翘曲片的另一侧支撑翘曲片的边缘。上述的翘曲片的预对准装置实现了对大翘曲片进行吸附定位及平整化处理，提高了大翘曲片预对准精度。相应地，本发明还提供一种翘曲片的预对准方法。
翘曲片对准装置方法

[发明专利]一种翘曲片检测方法、装置及设备-CN202010478530.2有效
发明人：韩强;张俊 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2020-05-29 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G01B13/24 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种翘曲片检测方法、装置及设备，其中翘曲片检测方法应用于翘曲片检测装置进行检测，其中翘曲片检测装置包括弹性材质的检测头，以及与检测头连通的流量传感器；翘曲片检测方法包括：控制将检测头安装于预对准台上的待检测位置；控制将待检测片放置于预对准台表面，待检测片覆盖检测头；通过流量传感器测量待检测位置的气体流量值；根据气体流量值与翘曲高度值的预设对应关系确定翘曲高度值。本发明实施例提供的技术方案简化了翘曲片检测方法，能够快速准确的获得待检测片的翘曲度，提高了检测装置布局的灵活性，并且降低了检测装置的成本和所占空间。
一种翘曲片检测方法装置设备

[发明专利]一种改善翘曲的VCSEL的制备方法-CN202211375724.5在审
发明人：王田瑞;黄晓蕊;雷彪;王凤玲;程丽 -专利权人：威科赛乐微电子股份有限公司
申请日： 2022-11-04 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01S5/183 文献下载
摘要：本发明公开了一种改善翘曲的VCSEL的制备方法，涉及垂直腔面发射激光器技术领域。本发明的一种改善翘曲的VCSEL的制备方法，包括外延片制备、电极制备、氧化、金属互联步骤，在所述外延片制备和电极制备步骤之间还包括翘曲调整步骤，所述翘曲调整步骤具体包括：A1：取制备完成的外延片，测量外延片的翘曲值，然后根据翘曲值计算得到刻蚀深度；A2：在外延片的正面利用干法刻蚀，向下刻蚀形成若干应力释放槽，所述应力释放槽的深度为计算得到的刻蚀深度。本发明的一种改善翘曲的VCSEL的制备方法，在外延片制备完成后以翘曲调整步骤替换传统的沉积应力层步骤，能够更好的释放后续制备过程中产生的应力，改善翘曲情况。
一种改善 vcsel 制备方法

[发明专利]高清LED显示屏防漏光反射片-CN201811387660.4在审
发明人：毕四明 -专利权人：广州市拓宝电子科技有限公司
申请日： 2018-11-21 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： G02F1/13357 文献下载
摘要：本发明提供了一种高清LED显示屏防漏光反射片，包括：平面部和翘曲部，所述翘曲部位于平面部左右两个端侧，所述翘曲部顶端距离平面部的高度为2‑4mm，所述翘曲部顶端距离平面部端边的长度为2‑4mm，所述翘曲部弯曲的弧度为本发明提供的高清LED显示屏防漏光反射片，通过在平直的反射片左右两个侧端设置翘曲部，可以有效防止反射片左右两个侧端发生漏光现象。
led 显示屏漏光反射

[实用新型]一种LED显示屏防漏光反射片-CN201620563317.0有效
发明人：毕四明;商伟 -专利权人：广州市拓宝电子科技有限公司
申请日： 2016-06-08 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： G02F1/13357 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种LED显示屏防漏光反射片，包括：平面部和翘曲部，所述翘曲部位于平面部左右两个端侧，所述翘曲部顶端距离平面部的高度为2‑4mm，所述翘曲部顶端距离平面部端边的长度为2‑4mm，所述翘曲部弯曲的弧度为本实用新型提供的LED显示屏防漏光反射片，通过在平直的反射片左右两个侧端设置翘曲部，可以有效防止反射片左右两个侧端发生漏光现象。
一种 led 显示屏漏光反射

[发明专利]玻璃生产方法、镀膜装置及浮法玻璃生产线-CN201811504355.9有效
发明人：魏猛;周翔磊;王琰;刘红刚;龚锋杰;赵仁民 -专利权人：清远南玻节能新材料有限公司;中国南玻集团股份有限公司
申请日： 2018-12-10 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： C03C21/00 文献下载
摘要：该玻璃生产方法，包括如下步骤：提供玻璃原片；对玻璃原片的翘曲凸面进行2.5D弧边加工或3D弧面加工；对玻璃原片的弧边或弧面扫光；对经扫光后的玻璃原片进行化学强化。在上述玻璃生产方法中，在玻璃原片翘曲值和翘曲形状相同的情况下，对玻璃原片翘曲凸面进行弧面加工，有利于减小玻璃化学强化翘曲。
玻璃生产方法镀膜装置生产线

[实用新型]一种极片翘曲高度检测装置-CN202320548933.9有效
发明人：姚玮煜;项罗毅;李晓坡 -专利权人：中创新航科技集团股份有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G01B5/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及电池技术领域，公开了一种极片翘曲高度检测装置，用以解决现有技术中存在的在极片翘曲过高的情况下，由于压刀的抬升高度不足，造成极片翻折的问题。该极片翘曲高度检测装置包括底座、吸附机构和高度检测机构；吸附机构嵌设于底座，用于将极片吸附于底座的表面；高度检测机构用于检测极片的翘曲高度。
一种极片翘曲高度检测装置

[发明专利]翘曲片工装、使用方法及其交接片装置-CN201110416820.5有效
发明人：张俊;陈勇辉 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-12-14 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种翘曲片工装，包括：载片衬底，用以承载翘曲片基底；紧固件，间隔设置在所述载片衬底外围边沿处，所述紧固件朝向所述载片衬底中心方向的一侧连接有一紧固扣，所述紧固扣与所述载片衬底表面具有间隙，用以容置所述翘曲片本发明通过翘曲片工装新型的结构设计，解决了传输过程和工作台真空吸附的问题，保证了翘曲片在光刻机上连续正常的生产，同时，增强了现有光刻机的实用性、提高了生产效率，使生产良率大幅提高。
翘曲片工装使用方法及其交接装置

[发明专利]一种超薄锗片翘曲形貌的控制方法-CN202110880195.3在审
发明人：杨静;韩焕鹏;张伟才;王雄龙;于妍;杨洪星;陈晨;李聪;索开南 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十六研究所
申请日： 2021-08-02 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种超薄锗片翘曲形貌的控制方法，第一步、将锗切割片进行机械研磨，通过锗片研磨加工去除切割损伤的同时对锗片的翘曲方向进行初步控制；第二步、采用酸腐蚀机对锗研磨片进行酸腐蚀，通过酸腐蚀过程去除锗片的研磨损伤，优化锗片翘曲形貌；第三步、采用磨削机对锗片背表面进行单面去除，通过小去除量的单面磨削，进一步控制锗片的翘曲形貌；第四步、采用碱性腐蚀液对锗磨削片进行弱碱腐蚀，最后通过锗片碱液弱腐蚀，去除应力，改善锗片表面质量和机械强度本方法实现了对超薄锗片减薄加工过程中的翘曲形貌控制，本方法加工效率高，能很好的控制锗片翘曲形貌。通过本方法制备的超薄锗片在后续外延过程中碎片率低。
一种超薄锗片翘曲形貌控制方法

[发明专利]一种边缘翘曲的结构超滑部件及其制作方法、组件-CN202211586865.1在审
发明人：聂锦辉;庄树强;黄轩宇;郑泉水 -专利权人：深圳清华大学研究院;清华大学
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： F16S1/00 文献下载
摘要：本申请涉及结构超滑领域，公开了一种边缘翘曲的结构超滑部件及其制作方法、组件，包括在超滑岛的上表面形成金属层；超滑岛内具有超滑界面，金属层具有用于使超滑片的边缘向远离超滑界面的方向翘曲的内应力；沿着超滑界面分离超滑岛，超滑片位于超滑界面上方，超滑片和金属层的边缘向远离超滑界面的方向翘曲，得到边缘翘曲的结构超滑部件。本申请中通过制备具有内应力的金属层以及分离超滑岛的方式使得边缘翘曲的结构超滑部件可以实现大规模制备，使得边缘翘曲的结构超滑部件更容易得到，同时，由于边缘翘曲的结构超滑部件包括金属层，具有优良的导电性能，可以拓宽边缘翘曲的结构超滑部件的应用领域。
一种边缘结构部件及其制作方法组件

[实用新型]一种安装可靠的钩型换向器-CN201420837991.4有效
发明人：丁明荣 -专利权人：瑞安市百德机车部件有限公司
申请日： 2014-12-25 - 公布日： 2015-04-01 - 主分类号： H01R39/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种安装可靠的钩型换向器，包括有成型填料基体，成型填料基体的中心孔内嵌有铜衬套，铜衬套具有中心安装孔，成型填料基体外圆周上均匀间隔分布换向片，所述换向片包括有换向片本体，嵌入成型填料基体内固定的固定脚，以及一端反向弯曲形成的弯钩，铜衬套轴向两端部分均设有翘曲锁紧片，翘曲锁紧片一端伸入向中心安装孔内，且沿着轴向朝向与弯钩相对一端翘曲，相应铜衬套对应翘曲锁紧片位置上形成镂空孔，在铜衬套轴向两端部分均设有一圈等间隔分布的若干翘曲锁紧片
一种安装可靠换向器

[发明专利]湿式多片离合器摩擦副翘曲变形评价方法-CN202210059646.1在审
发明人：赵钦;马彪;于亮;董懿;刘宇键;李岩 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2022-01-19 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： G06F30/23 文献下载
摘要：本发明公开了摩擦副性能评价领域中的一种湿式多片离合器摩擦副翘曲变形评价方法，通过将摩擦副的扫描件与理想件进行对比，获取扫描件的翘曲高度值；利用翘曲高度值获得摩擦副的翘曲角度和标准差数据，建立摩擦副的翘曲变形等级分类体系；根据该翘曲变形等级分类体系绘制多个翘曲角度的摩擦副作为有限元分析模型。本发明解决了湿式多片离合器摩擦元件理论计算和有限元分析均难以获得翘曲变形量，因而建模与实际情况脱节的问题，其通过选取少量可获得的测量量，通过“使用扫描仪‑使用3D模型后处理软件‑数据后输出”简单的操作流程，对摩擦元件进行翘曲程度的分类，建立起摩擦元件翘曲变形数据库，从而使得以有限元模拟为主的数值分析有理可据。
湿式多片离合器摩擦副翘曲变形评价方法

[发明专利]一种光伏电池片在PECVD石墨舟中存在翘曲片的检测方法-CN202210718110.6在审
发明人：李翠华 -专利权人：镇江苏仪德科技有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种光伏电池片在PECVD石墨舟中存在翘曲片的检测方法，主要包括以下步骤：S1、基于多相机的图像采集拼接；S2、特征区域提取及定位编号；S3、电池片区域提取；S4、翘曲片区域提取；S5、翘曲片区域定位区别于传统的对翘曲片的存在进行人工统计检测，本发明采用机器视觉系统，采用一个或多个摄像机对不同角度的目标物体进行成像，采集的图像信息更丰富，基于数字图像处理和机器视觉不仅可以灵活的运用相关算法及技术对图像进行各种运算达到提取定位石墨舟中的翘曲电池片的目的
一种电池 pecvd 石墨存在翘曲片检测方法

[发明专利]一种基于激光加热的SiC晶圆片翘曲修复方法-CN202211325626.0在审
发明人：黎磊;詹祖日 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： C30B33/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于激光加热的SiC晶圆片翘曲修复方法，涉及SiC器件制造技术领域。该SiC晶圆片翘曲修复方法包括：将待修复的SiC晶圆片在激光退火装置中固定；获取该待修复的SiC晶圆片的翘曲度；根据所述翘曲度，确定该待修复的SiC晶圆片内部的加热面积和加热位置；根据所述加热面积和加热位置，确定所述激光退火装置的加热参数，根据所述加热参数对所述待修复的SiC晶圆片进行加热。本发明的SiC晶圆片翘曲修复方法，耗时短，能够有效提高生产效率，可以在保留膜层，且不影响膜层的前提下，达到修复翘曲的目的。
一种基于激光加热 sic 晶圆片翘曲修复方法

[发明专利]纸片类堆集装置-CN200810126965.X有效
发明人：小林悟 -专利权人：冲电气工业株式会社
申请日： 2008-06-20 - 公布日： 2009-02-25 - 主分类号： B65H29/00 文献下载
摘要：在与分离辊轴(8)几乎平行的位置上，设置有可改变舌片(11a)到(11d)的翘曲程度的翘曲产生轴(9)，在向纸片类(P)的堆集方向的前方弯曲而形成的舌片(11a)到(11d)进行旋转时，舌片(11a)到(11d)与翘曲产生轴(9)发生冲撞，从而使舌片(11a)到(11d)的翘曲产生量变化。
纸片堆集装置

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