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[发明专利]化学机械平坦化终点检测方法-CN200610029920.1有效
发明人：邓永平 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2006-08-10 - 公布日： 2008-02-13 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：一种化学机械平坦化终点检测方法，包括：利用样片，以单一平坦化速率进行基础终点检测；根据基础终点检测结果将实际终点检测过程分为第一步骤及第二步骤；在实际终点检测过程中设定第一平坦化速率及第二平坦化速率；以所述第一平坦化速率进行第一步骤；以所述第二平坦化速率进行第二步骤；顺序进行第一步骤及第二步骤，完成实际终点检测。应用此终点检测方法，既可保证终点检测的可靠性，又能缩短终点检测耗用时间，同时具有广泛的适用范围。
化学机械平坦终点检测方法

[实用新型]跑步检测仪-CN200420071104.3无效
发明人：张家祥;张文翔 -专利权人：深圳市好家庭实业有限公司
申请日： 2004-06-28 - 公布日： 2005-11-02 - 主分类号： G07C1/24 文献下载
摘要：一种跑步检测仪，包括终点检测传感器、终点无线传输装置、无线接收器和计算机处理设备；终点检测传感器架设于跑道终点线上，检测人跑步到终点的信号，终点检测传感器与终点无线传输装置连接，由无线传输装置将终点检测信号进行无线传输；无线接收器和计算机处理设备相连，无线接收器接收终点检测信号，并传送到计算机处理设备；计算机处理设备内设有计时器，计时器上连接有计时触发开关，计时器由触发开关触发计时，接收到终点检测信号时停止计时，并将计时结果对应终点检测信号的编码或频率保存在计算机处理设备中
跑步检测

[发明专利]对终点检测状态的监控方法-CN200610029247.1有效
发明人：王海军;王贝易;程晓华;赵正元 -专利权人：上海华虹NEC电子有限公司
申请日： 2006-07-21 - 公布日： 2008-01-23 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种对终点检测状态的监控方法，通过预先生成与需要生产的产品有相同结构的光片作为测试片，在生产需要终点检测的研磨工艺产品之前，利用与产品一样的终点检测程序来检知该光片的终点，从而达到监控终点检测是否处于正常状态的目的本发明可以正确的检知到研磨终点，保证产品的合格率。本发明不仅可以用于监控利用光学原理的终点检测方法，还可以用于监控利用温度变化、电流强度变化的终点检测方法。
终点检测状态监控方法

[发明专利]研磨垫-CN202280015016.2在审
发明人：立野哲平;糸山光纪;関谷仁志;小池坚一;高见沢大和 -专利权人：富士纺控股株式会社
申请日： 2022-02-18 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B24B37/26 文献下载
摘要：本发明可抑制对研磨性能的影响，并且防止由终点检测用窗所得的终点检测精度的降低。研磨垫3包括检查光L1可透过的终点检测用窗12，在研磨垫3的研磨面3A形成有多个同心圆状的环状槽11。所述终点检测用窗12的表面形成于与所述研磨面3A相同的高度，所述环状槽11中，形成于与形成有所述终点检测用窗12的位置相同的半径位置的多个环状槽11A在所述终点检测用窗12的表面未形成有槽，而在所述终点检测用窗进而，通过连结槽13将形成于与所述终点检测用窗12相同的半径位置的多个环状槽11A的端部11a与端部11a连接。
研磨

[发明专利]终点检测系统及其运行状态监测方法-CN201410231985.9有效
发明人：陈国动 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2014-05-28 - 公布日： 2019-03-12 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种终点检测系统及其运行状态监测方法，其中方法包括如下步骤：读取参照样本中的第一工艺信号曲线，并实时监测设置有终点检测系统的工艺机台进行工艺时的第二工艺信号曲线；比对第一工艺信号曲线和第二工艺信号曲线，判断终点检测系统运行状态；当终点检测系统运行状态正常时，控制工艺机台继续进行工艺；当终点检测系统运行状态异常时，控制工艺机台停止当前工艺。其通过实时监测到的第二工艺信号曲线与参照样本的第一工艺信号曲线进行对比，判断终点检测系统运行状态，有效解决了现有终点检测系统工作状态判断方法不能实时体现当前终点检测系统运行状态，导致对工艺机台状态的判断滞后或错误的问题
终点检测系统及其运行状态监测方法

[发明专利]语音终点检测装置、系统和方法-CN201711162710.4有效
发明人：李京澈;赵在珉 -专利权人：现代自动车株式会社;起亚自动车株式会社
申请日： 2017-11-21 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G10L25/78 文献下载
摘要：本发明提供一种语音终点检测装置、系统和方法。该语音终点检测系统包括：处理器，被配置成确定用于检测针对每个用户和针对每个域不同的用户讲话的终点的终点检测时间。语音终点检测系统被配置成执行语音识别，并且数据库(DB)被配置成存储用于由处理器进行的语音识别的数据。
语音终点检测装置系统方法

[发明专利]终点检测窗及刻蚀反应腔体-CN202211398430.4在审
发明人：王威;金江奕;陈浩淼;孙阳阳 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2022-11-07 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开是关于一种终点检测窗及刻蚀反应腔体，应用于终点检测窗的安装中，所述终点检测窗包括：主体，所述主体包括透光部；安装于所述主体上的弹性形变体，所述弹性形变体暴露出所述透光部，且所述弹性形变体至少一处轮廓的边缘位于所述主体的轮廓的边缘外部本公开通过弹性形变体增强了终点检测窗的安装稳定性，弹性形变体能够起到减震缓冲的作用，减小了终点检测窗由于受到震动而从安装位置掉落的可能，同时弹性形变体在终点检测窗安装位置受损扩大时能够产生形变，减小了终点检测窗掉落的可能
终点检测刻蚀反应

[发明专利]心电图T波终点检测方法和装置-CN201810214428.4在审
发明人：胡静;赵巍 -专利权人：广州视源电子科技股份有限公司
申请日： 2018-03-15 - 公布日： 2018-07-24 - 主分类号： A61B5/0452 文献下载
摘要：本发明涉及一种心电图T波终点检测方法和装置，包括以下步骤：获取T波终点检测模型；T波终点检测模型为基于MLP神经网络模型对历史T波离散数据进行学习训练而得到的；其中，历史T波离散数据是对从QT数据库中历史心电信号提取出的T波、进行降维处理得到的；将待检测的心电信号输入T波终点检测模型，得到待检测的心电信号的T波终点坐标。上述的心电图T波终点检测方法中在得到T波终点检测模式时，有效地将图像降维方法与MPL神经网络模型结合起来，使得得到的T波检测模型计算量较小，在使用T波检测模型识别T波终点时计算量小，大大提高了计算的效率
终点检测心电图T波心电信号神经网络模型方法和装置检测离散数据降维处理模型计算模型识别学习训练终点坐标计算量有效地降维数据库图像

[发明专利]抛光垫及其制备方法、半导体器件的制造方法-CN202111054747.1在审
发明人：郑恩先;尹钟旭;徐章源 -专利权人： SKC索密思株式会社
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： B24B37/013 文献下载
摘要：本发明作为一种在抛光工艺中使用的抛光垫的终点检测用窗口，在进行抛光工艺终点检测时，防止因抛光装置的激光的不同而导致的终点检测性能的偏差，从而可以防止终点检测发生错误。
抛光及其制备方法半导体器件制造

[实用新型]一种汽车扶手箱开盖计时装置-CN202220798956.0有效
发明人：朱登;黄庆 -专利权人：上海曲姜汽车科技有限公司
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： G01M17/007 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种汽车扶手箱开盖计时装置，包括固定机构和计时机构，所述计时机构包括中心处理器、显示模块、电源模块、起点检测模块和终点检测模块，所述电源模块用于对所述显示模块和中心处理器进行供电，所述起点检测模块包括用于检测起点信号的起点传感器，所述终点检测模块包括用于检测终点信号的终点传感器，所述起点检测模块、终点检测模块以及显示模块均与所述中心处理器电连接，所述中心处理器将终点传感器和起点传感器之间的信号差转换为时间数据展示在显示模块上，
一种汽车扶手箱开盖计时装置

[发明专利]操作构件的操作量检测装置以及具备该操作构件的操作量检测装置的电子驻车制动控制单元-CN201580005905.0有效
发明人：土屋直记 -专利权人：本田技研工业株式会社
申请日： 2015-01-19 - 公布日： 2017-07-04 - 主分类号： G05G1/30 文献下载
摘要：在起点检测值向操作方向侧偏离的情况下，也与驾驶员的踩下操作区别地修正起点检测值。操作构件的操作量检测装置具备存储部(24)，其将操作构件(2)位于起点位置以及终点位置时的位置检测装置(15)的检测值分别存储为起点检测值(Vmin)以及终点检测值(Vmax)；操作量计算部(23)，其基于位置检测装置的检测值与起点检测值之差(ΔV)而计算操作构件的操作量(Sp)；以及起点检测值修正部(25)，其在位置检测装置的检测值低于起点检测值的情况(步骤ST3)下，加上检测值距起点检测值的偏差值(Vd)而修正起点检测值(步骤ST5)，在位置检测装置的检测值超出终点检测值的情况(步骤ST6是)下，加上检测值距终点检测值的偏差值(Vd)而修正起点检测值(步骤ST9)。
操作构件检测装置以及具备电子制动控制单元

[发明专利]终点检测装置及终点检测方法-CN201210290651.X有效
发明人：王坚;贾照伟;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)有限公司
申请日： 2012-08-15 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明揭示了一种用于检测二氟化氙气相刻蚀工艺终点的终点检测装置，包括：工艺腔，开设有进气口及排气口；气体浓度检测装置，设置在工艺腔的排气口处，检测从工艺腔中排出的二氟化氙气体的浓度；终点控制装置，与气体浓度检测装置相连，根据气体浓度检测装置的检测结果计算排出的二氟化氙气体的浓度，并将该浓度与预设浓度值比较，若排出的二氟化氙气体的浓度等于或高于预设浓度值，终点控制装置产生并发送控制信号；及进气控制装置，与工艺腔的进气口相连，并通过工艺腔的进气口向工艺腔通入恒定量的二氟化氙气体，进气控制装置接收终点控制装置发送的控制信号后停止向工艺腔通入二氟化氙气体。本发明还揭示了一种终点检测方法。
工艺腔二氟化氙进气口气体浓度检测装置终点控制装置进气控制装置终点检测装置终点检测排出预设并发送控制信号刻蚀工艺终点检测结果控制信号排气口处恒定量排气口检测氟化氙气发送

[发明专利]终点检测方法及终点检测装置-CN200410059250.9无效
发明人：山下武志;山口峰生 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2004-06-14 - 公布日： 2005-02-02 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：提供一种终点检测方法，通过在硅氧化膜(105A)及多晶硅膜(104)上照射光，测定由来自这些膜的反射光所形成的干涉光。最后，根据所算出的干涉光波形求出多晶硅膜(104)的残留厚度，通过对该残留厚度与所需厚度进行比较，检测加工多晶硅膜(104)时的加工终点。这样，利用在被处理层上形成的掩模层能准确检测加工被处理层时的终点。
终点检测方法装置

[实用新型]终点检测装置和终点检测系统-CN202020137122.6有效
发明人：刘昕;董伯辉;孙启磊;王玉;王立 -专利权人：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2020-01-21 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开了一种终点检测装置和终点检测系统，用于检测刻蚀腔内的全光谱信号，终点检测装置包括传输组件、信号收集器和光谱收集器，传输组件与刻蚀腔连接，所述传输组件具有传输通道，信号收集器设置于传输通道内，光谱收集器与信号收集器连接
终点检测装置系统

[发明专利]一种可提高检测精准度的抛光终点检测方法-CN200810033816.9有效
发明人：李健 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2008-02-22 - 公布日： 2009-08-26 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种可提高检测精准度的抛光终点检测方法，用于检测氧化物的化学机械抛光工艺的抛光终点。现有技术在进行氧化物的抛光终点检测时并未对所检测到波峰的扭矩进行检测而判定其为抛光终点，易在抛光速度过慢时出现抛光终点的误检测现象。本发明不仅在进行一预设时段的抛光后再进行抛光终点检测，还判断所检测到波峰对应的扭矩是否在正常终止扭矩范围，且在是时才判定所检测到波峰为抛光终点。采用本发明可避免在抛光速度过慢时出现的抛光终点误检测事件发生，如此可大大提高抛光终点检测的精准度和可靠性，进而大大提高氧化物化学机械抛光工艺的抛光质量。
一种提高检测精准抛光终点方法

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