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[实用新型]用于红外焦平面晶片的处理装置-CN202221441284.4有效
发明人：龚君挺;关智勇;姚元江;庄春泉;刘大福 -专利权人：无锡中科德芯感知科技有限公司
申请日： 2022-06-09 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于红外焦平面晶片的处理装置，包括真空吸盘、抛光装置和测量装置，真空吸盘用于真空吸附贴附有研磨胶膜层的红外焦平面晶片；抛光装置用于对红外焦平面晶片进行减薄抛光处理；测量装置用于测量红外焦平面晶片的平面度；并在判断出平面度大于预设平面度时，调整减薄抛光参数以使得晶片的平面度小于等于预设平面度。本实用新型通过抛光装置对吸附在真空吸盘上的红外焦平面晶片进行减薄抛光处理，通过测量装置在线测量红外焦平面晶片的平面度，通过调整减薄抛光参数直至红外焦平面晶片的平面度小于等于预设平面度，有效地评价后续倒装焊接时红外焦平面晶片的平面度，也有效衔接了倒装焊接过程中红外焦平面晶片的平面度控制。
用于红外平面晶片处理装置

[发明专利]红外焦平面组件的敏感参数监测方法和装置-CN201811256122.1有效
发明人：赖灿雄;肖庆中;杨少华;俞鹏飞;恩云飞;黄云;路国光 -专利权人：中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））
申请日： 2018-10-26 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G01J5/90 文献下载
摘要：本申请涉及一种红外焦平面组件的敏感参数监测方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括：当红外焦平面组件获取到的辐照输入符合稳定条件时，指示红外焦平面组件对提供辐照输入的辐射源进行预设帧数的探测；当红外焦平面组件的上级系统监测到红外焦平面组件通过探测得到的探测数据后，从上级系统获取探测数据；根据探测数据计算红外焦平面组件的敏感参数；保存敏感参数，继续执行当红外焦平面组件获取到的辐照输入符合稳定条件时，指示红外焦平面组件对提供辐照输入的辐射源进行预设帧数的探测的步骤。采用本申请的方案能够实现对红外焦平面组件进行在线的健康状态监测，实用性强。
红外平面组件敏感参数监测方法装置

[发明专利]一种红外焦平面探测器-CN202110713217.7有效
发明人：翟光杰;潘辉;武佩;翟光强 -专利权人：北京北方高业科技有限公司
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： G01J5/24 文献下载
摘要：本公开涉及一种红外焦平面探测器，红外焦平面探测器中CMOS测量电路系统和CMOS红外传感结构均使用CMOS工艺制备，红外焦平面探测器中，第一柱状结构位于反射层与梁结构之间，第二柱状结构位于吸收板与梁结构之间，第一柱状结构和第二柱状结构均为实心柱状结构，红外焦平面探测器还包括超材料结构和/或偏振结构。通过本公开的技术方案，解决了传统MEMS工艺红外焦平面探测器的性能低，像素规模低，良率低以及一致性差的问题，有利于提高红外焦平面探测器的结构稳定性，增加吸收板的面积，提升红外焦平面探测器的红外探测灵敏度，且有利于提高红外焦平面探测器对入射红外电磁波的吸收率，优化红外焦平面探测器的性能，降低红外焦平面探测器光学设计的难度。
一种红外平面探测器

[发明专利]用于SF6气体泄漏的长波红外双色成像监测系统-CN201911028638.5在审
发明人：冯斌;赵永强 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2019-10-28 - 公布日： 2020-02-25 - 主分类号： G01N21/3504 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于SF6气体泄漏的长波红外双色成像监测系统，其通过在长波红外焦平面探测器的焦平面上集成封装与SF6光谱匹配的微滤光片阵列以及红外双色图像差分处理，使得整体结构紧凑，定位快捷准确，灵敏度提升本发明包括长波红外光学镜头、长波红外双色焦平面探测器和红外双色图像处理模块；沿入射光路方向依次为长波红外光学镜头、长波红外双色焦平面探测器、红外双色图像处理模块；所述长波红外双色焦平面探测器的焦平面上为集成封装的微滤光片阵列，所述长波红外双色焦平面探测器为制冷型或非制冷型长波红外焦平面探测器。
用于 sf6 气体泄漏长波红外成像监测系统

[发明专利]用于VOC气体泄漏的中波红外双色成像监测系统-CN201910997089.6有效
发明人：冯斌;赵永强;潘泉 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2019-10-28 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于VOC气体泄漏的中波红外双色成像监测系统，其通过在中波红外焦平面探测器的焦平面上集成封装与VOC光谱匹配的微滤光片阵列以及红外双色图像差分处理，使得整体结构紧凑，定位快捷准确，灵敏度提升本发明包括中波红外光学镜头、中波红外双色焦平面探测器和中波红外双色图像处理模块；沿入射光路方向依次为中波红外光学镜头、中波红外双色焦平面探测器、中波红外双色图像处理模块；所述中波红外双色焦平面探测器的焦平面上为集成封装的微滤光片阵列，所述中波红外双色焦平面探测器为制冷型或非制冷型中波双色红外焦平面探测器。
用于 voc 气体泄漏中波红外成像监测系统

[发明专利]一种红外焦平面探测器及其制备方法-CN201710825905.6有效
发明人：白谢晖 -专利权人：浙江英孚莱德光电科技有限公司
申请日： 2017-09-14 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本申请公开了一种红外焦平面探测器的制造方法，包括：提供形成有包含红外焦平面探测器芯片的锑化铟晶片，所述红外焦平面探测器芯片包含有复数个红外探测单元；在所述锑化铟晶片上，且所述红外焦平面探测器芯片有源区与相邻红外焦平面探测器芯片划片区之间区域形成隔离槽；在所述红外焦平面探测器芯片的红外探测单元上形成倒装连接结构；通过划片工艺将所述锑化铟晶片上的红外焦平面探测器芯片切割分离；将通过所述划片工艺获得的红外焦平面探测器芯片通过倒装连接结构与读出电路倒装互连本申请还提供一种半导体结构及红外焦平面探测器。
一种红外平面探测器及其制备方法

[发明专利]一种双黑体的红外偏振焦平面反射光消除方法-CN202010710906.8在审
发明人：赵永强;汪德棠 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2020-07-22 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： G01J4/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种双黑体的红外偏振焦平面反射光消除方法，相机的焦平面发射的红外光，经偏振片反射至第二黑体，并被第二黑体吸收；第一黑体发射红外光，并经偏振片调制为偏振光，再进入相机后，被其焦平面所测量，完成偏振实验解决了现有非制冷式分焦平面红外偏振相机使用过程中，焦平面产生的红外光对红外偏振焦平面测量造成干扰的问题。
一种黑体红外偏振平面反射光消除方法

[发明专利]红外焦平面探测器的减薄方法及探测器-CN201810614526.7在审
发明人：肖钰;韦书领;程雨;曹凌霞 -专利权人：中国电子科技集团公司第十一研究所
申请日： 2018-06-14 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明公开了一种红外焦平面探测器的减薄方法及探测器，所述减薄方法，包括：采用减薄装置按预定厚度多次对红外焦平面探测器进行减薄加工；其中，每次对所述红外焦平面探测器进行减薄加工后，将所述红外焦平面探测器从所述减薄装置上取下根据本发明提出的减薄方法，逐渐减小红外焦平面探测器的芯片和硅电路相互拉伸的作用力，有效解决了现有技术中对红外焦平面探测器进行背面减薄时经常裂片的问题，适用于超大尺寸红外焦平面探测器。
红外焦平面探测器减薄减薄装置探测器背面减薄有效解决逐渐减小硅电路拉伸裂片取下预设加工芯片

[发明专利]紫外红外双色焦平面探测器阵列及其性能设计和制备方法-CN201610406753.1有效
发明人：胡伟达;白杰;陈效双;陆卫 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2016-06-12 - 公布日： 2017-06-27 - 主分类号： H01L31/103 文献下载
摘要：本发明公开了一种紫外红外双色焦平面探测器阵列及其性能设计和制备方法。该结构单片集成了Pt/CdS紫外焦平面和InSb红外焦平面，Pt/CdS紫外焦平面受到正面入射，由于红外辐射可以透过CdS到达InSb吸收层，从而可以实现紫外辐射和红外辐射的同时探测。Pt/CdS紫外与InSb红外双色焦平面阵列的工作波段为300～550nm和2.9～5.7μm。本发明的优点在于，Pt/CdS紫外与InSb红外双色焦平面阵列结构中紫外焦平面与红外焦平面距离很近从而共焦，并且紫外红外光敏元上下对齐有利于光学系统的设计。
紫外红外双色焦平面探测器阵列及其性能设计制备方法

[实用新型]一种紫外和红外双色焦平面探测器阵列-CN201620559122.9有效
发明人：胡伟达;白杰;陈效双;陆卫 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2016-06-12 - 公布日： 2016-12-14 - 主分类号： H01L31/103 文献下载
摘要：本专利公开了一种紫外和红外双色焦平面探测器阵列。该结构单片集成了Pt/CdS紫外焦平面和InSb红外焦平面，Pt/CdS紫外焦平面受到正面入射，由于红外辐射可以透过CdS到达InSb吸收层，从而可以实现紫外辐射和红外辐射的同时探测。Pt/CdS紫外与InSb红外双色焦平面阵列的工作波段为300～550nm和2.9～5.7μm。本专利的优点在于，Pt/CdS紫外与InSb红外双色焦平面阵列结构中紫外焦平面与红外焦平面距离很近从而共焦，并且紫外红外光敏元上下对齐有利于光学系统的设计。
一种紫外红外双色焦平面探测器阵列

[发明专利]红外焦平面探测器像元失效检测方法-CN201810620059.9有效
发明人：肖钰;范博文 -专利权人：中国电子科技集团公司第十一研究所
申请日： 2018-06-15 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： G01J5/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种红外焦平面探测器像元失效检测方法，所述检测方法包括：将待测红外焦平面探测器倒置在测试杜瓦中，使所述待测红外焦平面探测器的芯片与测试杜瓦的冷头相对。根据本发明提出的检测方法，能够在红外焦平面探测器各个工艺步骤对红外焦平面探测器进行像元失效分析。
红外平面探测器失效检测方法

[发明专利]一种红外焦平面阵列与数字存储控制芯片的三维集成方案-CN201210238431.2在审
发明人：鲁文高;陈蒙;王冠男;朱韫晖;孙新;孟祥云;陈晓璐;张雅聪;缪旻;陈中建 -专利权人：北京大学
申请日： 2012-07-11 - 公布日： 2014-01-29 - 主分类号： H01L25/16 文献下载
摘要：本发明提供一种红外焦平面与实现非均匀性校准数据存储及数字算法的数字芯片的三维集成方案，属光电子技术及微电子技术领域。该方案包括：红外焦平面；实现非均匀性校准数据存储及数字算法的数字芯片；数字存储控制芯片与红外焦平面完成三维集成，并封装在同一封装内；数字存储控制芯片以三维集成方式与红外焦平面实现电连接；数字存储控制芯片与红外焦平面的互连通信可采用现有任意三维互连技术实现；数字存储控制芯片与红外焦平面的相对位置可任意，但处在不同平面上。与现有技术相比，本发明提供一种全新的数字存储控制芯片与红外焦平面的通信集成方案，解决现有校准信息存储方案低速低效、高成本高损耗的问题，提高了红外焦平面的整体性能。
一种红外平面阵列数字存储控制芯片三维集成方案

[发明专利]一种红外焦平面探测器的量子效率测试方法及系统-CN202310510434.5在审
发明人：杜宇;熊伟钉;李克俊;安美;陈天晴;谭必松;毛剑宏 -专利权人：浙江珏芯微电子有限公司
申请日： 2023-05-05 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01J5/90 文献下载
摘要：本发明提供一种红外焦平面探测器的量子效率测试方法及系统，包括红外焦平面探测器以及与红外焦平面探测器对准且相隔一预设距离设置的面源黑体，使得黑体辐射均匀照射在红外焦平面探测器像元上，面源黑体工作在一预设温度下；并包括以下步骤：步骤S1，获取红外焦平面探测器的像元在不同积分时间下的像元电压数据；步骤S2，对红外焦平面探测器的像元电压数据随积分时间进行线性拟合，确定拟合直线的斜率；步骤S3，获取红外焦平面探测器的光学F数、红外焦平面探测器上读出电路的积分电容、像元面积以及普朗克光子发射率，并结合确定的拟合直线的斜率计算得到量子效率。
一种红外平面探测器量子效率测试方法系统

[发明专利]红外热像轴温探测装置-CN201911229283.6有效
发明人：张运刚 -专利权人：张运刚
申请日： 2019-12-04 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： B61K9/06 文献下载
摘要：本发明涉及红外辐射测量技术领域，提供了一种红外热像轴温探测装置，用以探测列车的轴承端盖的温度，包括与所述轴承端盖等高设置的红外探头，所述红外探头包括滤光组件、红外焦平面元件和数据采集组件，所述滤光组件设置于所述红外焦平面元件的红外光发射端，所述红外焦平面元件与所述数据采集组件连接。通过在红外焦平面元件的红外光发射端设置滤光组件有效将可见光滤除，保证红外波长的灵敏度；通过设置红外焦平面元件和数据采集组件，实现对轴承端盖的面多点测温，增加数据采集信息量，提高探测的准确度。
红外热像轴温探测装置

[发明专利]面向VOC气体泄漏的分光型红外成像监测装置及方法-CN202010029746.0在审
发明人：冯斌;赵永强 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2020-01-13 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： G01N21/3504 文献下载
摘要：本发明公开一种面向VOC气体泄漏的分光型红外成像监测装置，包括：红外镜头、红外分光元件、长波通红外滤光片、第一个红外焦平面探测器、第二个红外焦平面探测器、红外图像处理模块和显示模块；红外镜头接收场景红外辐射并输出至红外分光元件；红外分光元件输出第一路红外辐射和第二路红外辐射，第一路红外辐射经长波通红外滤光片输出至第一个红外焦平面探测器，第二路红外辐射输出至第二个红外焦平面探测器；第一个红外焦平面探测器和第二个红外焦平面探测器的输出端连接至红外图像处理模块；长波通红外滤光片的截止边在3.3‑3.7μm。本发明还提供一种面向VOC气体泄漏的分光型红外成像监测方法，本发明监测VOC气体泄漏的灵敏度高、可快速定位泄漏位置。
面向 voc 气体泄漏分光红外成像监测装置方法

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