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- [实用新型]曝光系统和曝光机-CN202220988421.X有效
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吴春晓;杨宇航;胡刚;卫国
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合肥芯碁微电子装备股份有限公司
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2022-04-25
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2022-09-23
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G03F7/20
- 本实用新型公开了一种曝光系统和曝光机，曝光系统包括：底座；曝光主体，所述曝光主体设置于所述底座的上方；紫外曝光镜头，所述紫外曝光镜头穿设所述底座且和所述曝光主体间隔设置，所述紫外曝光镜头和所述曝光主体电连接；红外曝光镜头，所述红外曝光镜头位于所述底座的下方且和所述紫外曝光镜头连接，所述红外曝光镜头和所述曝光主体电连接，所述红外曝光镜头相对所述紫外曝光镜头倾斜设置。通过在紫外曝光镜头的一侧设置相互倾斜的红外曝光镜头，使得曝光扫描过程中紫外光斑经过的地方首先瞬间被红外光斑加热，因此完成光固化所需的紫外光剂量降低，使扫描速度得以提升，最终缩短了曝光时间，提升效率。
- 曝光系统
- [实用新型]一种膜加工用曝光机-CN202123033861.4有效
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张骁威;谢新锋;朱云雯;薛燕
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无锡天博电器制造有限公司
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2021-12-06
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2022-08-02
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G03F7/20
- 本实用新型公开了一种膜加工用曝光机，包括曝光装置壳体；所述曝光装置壳体的正面设有紫外线阻挡板，曝光装置壳体的正面靠近紫外线阻挡板一侧设有固定杆，所述曝光装置壳体的顶端一侧设有抽风机，所述曝光装置壳体的正面顶端和低端设有支撑杆，所述紫外线阻挡板的正面一侧中央位置设有阻挡板把手，紫外线阻挡板的顶端和底端设有连接块；本实用新型设置了紫外线阻挡板以及挤压凸块结构，实现了将曝光机内部的紫外线进行有效的阻挡，同时通过挤压凸块结构控制曝光机在紫外线阻挡板关闭后进行曝光工作，因此避免了曝光机在紫外线阻挡板打开时任然进行曝光工作，从而有效的对紫外线进行阻挡，使得人员免受紫外线的伤害。
- 一种工用曝光
- [实用新型]紫外LED曝光机-CN201320560814.1有效
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张方德;王玉璋;贺兴志;李小明
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浙江欧视达科技有限公司
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2013-09-11
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2014-01-29
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G03F7/20
- 本实用新型提供一种紫外LED曝光机，其包括光源安装台面和曝光台面，光源安装台面与曝光台面构成平移配合，光源安装台面上设有紫外LED曝光机光学曝光照明系统，紫外LED曝光机光学曝光照明系统包括至少一个光源安装板、准直透镜以及曝光照明矩阵排布器，光源安装板上依次排列多行等距排列的紫外LED光源，相邻两行同一列的紫外LED光源的中心距离为B等于每行相邻两颗紫外LED光源的中心之间的距离A/行数，相邻两颗紫外LED光源之间等距排列，本实用新型以提高曝光均匀度及降低光源发散角度为前提，避免由于光学曝光照明系统辐照度不均匀,导致线条粗细不均匀,整块板上的分辨力不一致,或有断线等现象的发生。
- 紫外led曝光
- [发明专利]一种接近式曝光光源及曝光方法-CN202110458931.6在审
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张顺平;李文豪
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华中科技大学
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2021-04-27
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2021-07-23
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G03F7/20
- 本发明属于半导体制程技术领域，并具体公开了一种接近式曝光光源及曝光方法，其包括紫外线激光器和光学透镜，其中：紫外线激光器安装在光学透镜的光心连线上，位于光学透镜焦深范围内；紫外线激光器和光学透镜间安装有狭缝曝光时：S1接近式曝光光源与待曝光样品相对移动，光源发出的紫外线光区扫描通过整个待曝光样品表面；S2判断是否曝光结束，若未结束，使接近式曝光光源与样品均反向，再次相对移动，使紫外线光区扫描通过整个样品表面；若结束，完成曝光；S3重复S2，直至完成样品曝光。本发明利用紫外线激光器作为光源，配合狭缝和光学透镜得到高度平行线光源，简化了曝光光源结构，且体积小、集成性好，可实现面区域扫描式曝光。
- 一种接近曝光光源方法
- [发明专利]一种印刷丝网印版线形流动曝光装置-CN202010308272.3在审
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杨林
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杨林
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2020-04-18
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2020-07-10
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B41C1/14
- 本发明涉及一种印刷丝网印版线形流动曝光装置，包括曝光机架，曝光机架上设有曝光台，曝光机架的一侧设有从动滚筒，曝光机架的另一侧设有主动滚筒，主动滚筒与从动滚筒之间设有输送铝带，输送铝带安装在曝光台的上方；曝光机架的侧部位置设有步进电机，步进电机的前部设有驱动轴，驱动轴安装在主动滚筒的轴向位置；输送铝带的下部设有移动板，移动板安装在曝光台的上方，移动板的底面设有紫外灯曝光机构与电热熔融机构；曝光机架的顶部设有电源与温控器，紫外灯曝光机构包括灯壳，灯壳内安装有紫外灯管，紫外灯管与电源通过第一电缆线连接。本发明对印刷丝网上的待曝光部位进行集中曝光，大大提高了曝光的效率。
- 一种印刷丝网线形流动曝光装置
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