“等离子体羽”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果5039001个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]晶圆键合设备-CN202121204761.0有效
发明人：赵志远;袁绅豪;刘武;刘淼;锁志勇 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆键合设备，包括用于对待键合晶圆的表面进行激活处理的等离子体处理装置，所述等离子体处理装置包括：等离子体腔；等离子体生成气体管道，与所述等离子体腔连接；水汽管道，与所述等离子体腔连接；位于所述等离子体腔内的电极，所述电极用于使等离子体生成气体生成等离子体以对待键合的晶圆的表面进行激活处理；设置在所述水汽管道上的第一阀门；所述第一阀门被配置为在所述电极通电之前开启以在所述生成等离子体之前通过所述水汽管道向所述等离子体腔中引入水汽；或者所述第一阀门被配置为在所述电极通电过程中开启以在所述生成等离子体的同时通过所述水汽管道向所述等离子体腔中引入水汽。
晶圆键合设备

[发明专利]一种等离子体推力器羽流参数多点测量装置及测量方法-CN202111465016.6在审
发明人：柴昊;贾军伟;张书锋;刘展;郎昊;武宇婧 -专利权人：北京东方计量测试研究所
申请日： 2021-12-03 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种等离子体推力器羽流参数多点测量装置及测量方法，多点测量装置，包括：真空舱；与所述真空舱相连接的真空泵单元；与所述真空泵单元相连接的工控单元，用于提供并维持所述真空舱的真空环境；以及测量单元本发明可以提高等离子体测量效率、能够连续测量羽流多点对称性，打破朗缪尔探针使用的局限性、屏蔽探针电路中的误差干扰，同时，本发明的多点测量装置结构简单、稳定可靠，实用性强。
一种等离子体推力器羽流参数多点测量装置测量方法

[发明专利]云母薄膜的制备方法及晶体管-CN201510684066.1有效
发明人：高雪;刘建平;孙钱;张书明;杨辉 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2015-10-20 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： H01L21/314 文献下载
摘要：本发明公开了一种云母薄膜的制备方法，其包括：将衬底放置于真空的脉冲激光沉积设备中；利用脉冲激光熔蚀云母靶材，使云母靶材的表面产生等离子体羽辉，所述等离子体羽辉沉积在所述衬底上生长形成均匀的云母薄膜。
云母薄膜制备方法晶体管

[发明专利]使用RF等离子体熔融玻璃材料-CN201480066235.9在审
发明人：丹尼尔·罗伯特·鲍顿;艾琳·莫娜·彼得森 -专利权人：康宁公司
申请日： 2014-09-29 - 公布日： 2016-07-20 - 主分类号： C03C3/089 文献下载
摘要：本公开案涉及用于形成预熔和/或熔融玻璃配料的方法，所述方法包括使玻璃配料与等离子体羽流接触达足以形成实质上均质的球形玻璃中间颗粒的滞留时间。所述玻璃配料可以旋流模型在所述等离子体羽流中流动，以便增加滞留时间。所述玻璃中间颗粒可用切向气流冷却，以便在收集容器内产生旋流。
使用 rf 等离子体熔融玻璃材料

[发明专利]平面射流等离子体产生装置-CN201210245290.7有效
发明人：刘彦明;谢楷;李小平;赵良;艾伟;付强新 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2012-07-17 - 公布日： 2012-11-14 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种平面射流等离子体产生装置，主要解决目前射流等离子产生装置中等离子体稳定性差、温度高、面积小、密度和流速分布不均匀的问题。整个装置包括等离子体产生腔体（2）、电源装置（3）和气压调节装置（5），等离子体产生腔体（2）的左侧和右侧分别与导流装置（1）和等离子体射流腔体（4）连接；导流装置（1）的进气端和等离子体射流腔体（4）的出气端气压调节装置（5）连接，等离子体射流腔体（4）上开有电极通孔和观察窗，用于施加正交电磁二维场；电源装置（3）为等离子产生腔体（2）提供电源。本发明延长了等离子体持续时间，降低了等离子体温度，扩大了均匀等离子体的面积，可用于研究电磁场对射流等离子体的影响。
平面射流等离子体产生装置

[实用新型]一种等离子加工系统-CN201921441190.5有效
发明人：杨京华;王晓;潘宇锋;涂有波;钱俊华 -专利权人：常州九圣焊割设备股份有限公司
申请日： 2019-09-02 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： H01J37/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种等离子加工系统，包括电源主机、等离子体炬控制箱和等离子体炬，等离子体炬控制箱包括电源主机控制模块、气体控制模块、冷却系统接入模块、高压引弧系统、数控机床信号连接模块、等离子体炬的电流、气体、冷却液的汇总接入接口模块和控制电路板；电源主机由等离子体炬控制箱控制；等离子体炬控制箱通过控制信号电缆与电源主机进行连接，等离子体炬通过离子体炬电缆与等离子体炬控制箱连接。本实用新型简化了电源主机与等离子体炬控制箱的电缆连接，大电流的电缆只需要负极电缆和引弧电缆接入等离子体炬控制箱，连接工件的阳极电缆无需接入等离子体炬控制箱，提高了连接可靠性。
一种等离子加工系统

[发明专利]在等离子体室中对衬底进行等离子体处理的方法和等离子体处理系统-CN202080066867.0在审
发明人： W·加耶夫斯基;K·鲁达;J·斯维亚特尼基 -专利权人：通快许廷格有限公司
申请日： 2020-09-23 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种在等离子体室中对衬底进行等离子体处理的方法，包括以下步骤：a.向等离子体室供应电源信号，以便在等离子体室中形成等离子体；b.监测与等离子体处理相关的至少一个参数；c.确定与所监测的所述至少一个参数相关的特征；d.在等离子体处理期间调整电源信号以修改特征。
等离子体衬底进行处理方法系统

[发明专利]具有防着管的等离子体处理装置-CN200310124676.3无效
发明人：本城文兼;长谷川和纪;奥西广树 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2003-12-17 - 公布日： 2004-07-14 - 主分类号： C23C14/46 文献下载
摘要：一种等离子体处理装置，具有由电子回旋加速器共振生成等离子体的等离子体室和保持由上述等离子体进行处理的试料的试料室，防着管防止上述等离子体的生成物附着在上述等离子体室的内壁上，根据上述等离子体发生时的温度分布
具有防着等离子体处理装置

[实用新型]乘用车空气净化装置-CN201320251413.8有效
发明人：林成渊 -专利权人：苏州市昆士莱照明科技有限公司
申请日： 2013-05-10 - 公布日： 2013-10-09 - 主分类号： B60H3/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种乘用车空气净化装置，其包括具有风口的壳体、集成设置于壳体内的音响装置和等离子体净化器。所述等离子体净化器包括设置于风口内侧的等离子体模块、连接等离子体模块的等离子体电源，与等离子体电源连接的风机、控制等离子体模块工作状态的控制装置以及连接线路。
乘用车空气净化装置

[发明专利]一种等离子体鞋-CN202310603080.9在审
发明人：杨润功;路遥;苏祥正;李倩坤;陈静;续琴 -专利权人：中国人民解放军总医院第一医学中心
申请日： 2023-05-25 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： A43B3/38 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种等离子体鞋，包括：等离子体放电网、供电电源和绝缘导线；所述等离子体放电网设置在所述等离子体鞋的内部的至少一面；所述供电电源设置在所述等离子体鞋的底部；所述等离子体放电网通过所述绝缘导线与所述供电电源连接；所述供电电源，用于通过所述绝缘导线给所述等离子体放电网提供电源，使所述等离子体放电网进行放电。该等离子体鞋，可以在穿着过程中实现灭菌，不影响其他正常活动，方便便捷。
一种等离子体

[发明专利]用于减少等离子体处理系统中的副产品沉积的方法和装置-CN200580047552.7有效
发明人：什里坎特·P·洛霍卡雷;安德鲁·D·贝利三世 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2005-12-16 - 公布日： 2009-04-29 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种在等离子体处理系统中用于减少等离子体处理室的一组等离子体室表面上的副产品沉积的方法。该方法包括：在等离子体处理室中设置沉积屏障，该沉积屏障被配置为置于等离子体处理室的等离子体生成区中，从而使得等离子体在等离子体处理室内被撞击时所生成的至少一些工艺副产品能粘附在该沉积屏障上，并减少了一组等离子体处理室表面上的副产品沉积
用于减少等离子体处理系统中的副产品沉积方法装置

[发明专利]具有轴向磁场的辐射源-CN200780049879.7无效
发明人： V·V·伊凡诺夫;V·Y·班尼恩;K·N·柯什烈夫 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2007-12-14 - 公布日： 2009-12-16 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体辐射源、形成等离子体辐射的方法、用于将图案从图案形成装置投影到衬底上的设备和器件制造方法。将图案化的辐射束投射到衬底上。反射光学元件被用来帮助将从等离子体源的等离子体区域发射的辐射形成为辐射束。在等离子体源内，在等离子体区域内产生等离子体电流。为了减小对反射光学元件的损坏，在等离子体区域内提供具有至少一个沿等离子体电流的方向取向的分量的磁场。该轴向磁场有助于限制等离子体的Z箍缩区域的破坏。通过限制这种破坏，发射的快速离子的数量可以被减少。
具有轴向磁场辐射源

[发明专利]基于低温等离子体的皮下给药装置-CN201911076368.5在审
发明人：吴征威;王琨 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2019-11-06 - 公布日： 2020-02-04 - 主分类号： A61N1/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于低温等离子体的皮下给药装置，由等离子体给药电极、等离子体击穿电极、药物舱、多频脉冲等离子体电源组成。其中等离子体给药电极用于击穿皮肤的表皮层和真皮层将皮肤的注射通道打开，等离子体击穿电极用于在等离子体给药电极中打开的通道中注入药物，药物舱用于存储注入的药物，多频脉冲等离子体电源用于控制等离子体击穿电极在不同的应用场景下产生不同的电压及等离子体从而控制对皮肤的击穿情况通过使用本发明公开的一种基于低温等离子体的皮下给药装置，可以减缓人体对皮下注入给药的疼痛感，同时提高药物在人体内的有效吸收。
等离子体电极击穿给药低温等离子体脉冲等离子体皮下给药皮肤多频电源应用场景有效吸收注入药物注射通道表皮层疼痛感真皮层皮下存储体内

[发明专利]一种磁场增强等离子体射流的发生装置-CN202210580533.6在审
发明人：卢新培;晋绍珲;聂兰兰 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H05H7/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁场增强等离子体射流的发生装置，属于低温等离子体领域，包括：等离子体射流发生单元，用于产生等离子体射流，并通过其气体输出管道输出等离子体射流；环形磁铁，环绕设置在气体输出管道的外侧，用于在气体输出管道内产生磁场，且磁场为等离子体射流提供的洛伦兹力的方向与等离子体射流的流动方向一致，以加快等离子体射流的流动速度。解决现有等离子体射流长度偏短、放电不均匀、活性成分浓度不高的问题，保证等离子体的弥散、空间分布的均匀性，增强等离子体中活性氧化物的浓度，提高这些产物在应用中与被处理物品的接触效率，进而提高整个装置的工作效率
一种磁场增强等离子体射流发生装置

[发明专利]等离子体处理装置和等离子体处理方法-CN201010524985.X有效
发明人：山泽阳平;舆水地盐;传宝一树;山涌纯;齐藤昌司 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2010-10-27 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体处理装置和等离子体处理方法。在感应耦合型等离子体处理中，使用处于电浮动状态的线圈，自由且精细地控制等离子体密度分布。该感应耦合型等离子体处理装置在接近RF天线(54)的电介质窗(52)之下呈环形地生成感应耦合的等离子体，使该环形等离子体在宽阔的处理空间内分散，在基座(12)附近(即，半导体晶片(W)上)使等离子体的密度变得均匀为了沿着径向任意地控制基座(12)附近的等离子体密度分布，带电容器的浮动线圈(70)对RF天线(54)产生的RF磁场以及在腔室(10)内生成的环形等离子体的等离子体密度分布发挥消极或者积极的作用。
等离子体处理装置方法