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[发明专利]一种等离子减薄装置与方法-CN201710849920.4在审
发明人：邓辉 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2017-09-20 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及半导体晶片加工领域，公开了一种等离子减薄装置与方法，其中等离子减薄装置包括第一电极、第二电极、惰性气体供给装置与刻蚀气体供给装置，其中，第一电极与第二电极平行设置，二者之间具有间隙，惰性气体供给装置用于向间隙内通入惰性气体，以在间隙内形成等离子体，等离子体向间隙外喷出形成等离子体火焰，刻蚀气体供给装置用于向等离子体火焰中通入刻蚀气体。本发明可以增加待加工工件与电极之间的距离，保证大尺寸晶片加工时的均匀性；同时，本发明的刻蚀气体在电极外的等离子体火焰中通入，不会产生电弧放电，故可以保证等离子体的稳定性，进而能够适应大尺寸晶片的加工。
一种等离子装置方法

[发明专利]一种气体放电螺旋等离子体灯-CN202210872669.4在审
发明人：邹丹旦;涂忱胜;蔡智超;项成恩 -专利权人：华东交通大学
申请日： 2022-07-24 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： H01J65/04 文献下载
摘要：一种气体放电螺旋等离子体灯，所述装置是利用毫米波发生器辅助下在石英管中激发驻波模式的技术，使得直流脉冲电源驱动气体放电产生的螺旋等离子体羽流，产生的螺旋等离子体羽流有很好的稳定性、温度可以安全触摸并向外发出可见光辐射装置包括由驱动放电的电源与金属底座构成螺旋等离子体灯的底部，放电电极和充有放电气体的电介质管与外围支柱构成螺旋等离子体灯的中部以及顶端的毫米波发生器作为螺旋等离子体灯的顶部。
一种气体放电螺旋等离子体

[发明专利]一种等离子体灭菌指示剂-CN201811005190.0有效
发明人：汤百灿 -专利权人：广州市默孚材料科技有限公司
申请日： 2018-08-30 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： A61L2/28 文献下载
摘要：本专利涉及等离子体灭菌指示领域，公开了一种等离子体灭菌指示剂，至少包括一种以上能在过氧化氢等离子体作用下产生颜色转变的染料，和一种在指示剂系统起固色作用的吡啶衍生物。本发明所述等离子体灭菌指示剂在过氧化氢等离子体灭菌前后发生明显的颜色变化，且经过灭菌后的颜色不会恢复到原来的颜色，色彩稳定性优异，能够可靠地判别灭菌目标物是否经过灭菌工序；吡啶衍生物的引入能够控制染料在过氧化氢等离子体中变色的速度
一种等离子体灭菌指示剂

[发明专利]等离子体加工设备及其工作方法-CN201110095456.7有效
发明人：张彦召 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2011-04-15 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体加工设备及其工作方法，涉及等离子体加工技术领域，能够清除等离子体加工设备内的残余电荷，提高等离子体加工设备工作的稳定性。本发明提供的等离子体加工设备包括反应腔室，分别位于所述反应腔室的顶部和底部上且相对设置的上电极和下电极，以及位于所述反应腔室外部的射频电源，还包括设置于所述反应腔室外部的开关，所述开关与所述上电极相连接本发明可用于等离子体加工技术中。
等离子体加工设备及其工作方法

[发明专利]低温等离子体原子荧光光谱仪-CN200610076451.9无效
发明人：刘霁欣;那星;陈志新;裴晓华 -专利权人：北京吉天仪器有限公司
申请日： 2006-04-25 - 公布日： 2006-09-13 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本发明涉及一种低温等离子体原子荧光仪，包括蒸气发生进样系统和与其连接的低温等离子体原子化系统，所述低温等离子体原子化系统包括形成低温等离子体区和自由原子区的放电装置，在自由原子区侧面设置有光源系统和光学检测系统该低温等离子体原子荧光仪器采用蒸气发生进样方式，基于低温等离子体的原子化系统的原子荧光仪器，实现进样系统、原子化系统和光学检测系统的最佳匹配，来提高原子荧光仪器的灵敏度和扩大其检测元素的种类。具有低能耗、高灵敏度和高稳定性的特点，而且可以扩充现有原子荧光仪器的检测范围。
低温等离子体原子荧光光谱仪

[实用新型]低温等离子体原子荧光光谱仪-CN200620113115.2无效
发明人：刘霁欣;那星;陈志新;裴晓华 -专利权人：北京吉天仪器有限公司
申请日： 2006-04-25 - 公布日： 2007-08-29 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种低温等离子体原子荧光光谱仪，包括蒸气发生进样系统和与其连接的低温等离子体原子化系统，所述低温等离子体原子化系统包括形成低温等离子体区和自由原子区的放电装置，在自由原子区侧面设置有光源系统和光学检测系统该低温等离子体原子荧光仪器采用蒸气发生进样方式，基于低温等离子体的原子化系统的原子荧光仪器，实现进样系统、原子化系统和光学检测系统的最佳匹配，来提高原子荧光仪器的灵敏度和扩大其检测元素的种类。具有低能耗、高灵敏度和高稳定性的特点，而且可以扩充现有原子荧光仪器的检测范围。
低温等离子体原子荧光光谱仪

[发明专利]电感耦合等离子体源的改进-CN202310233275.9在审
发明人： J·罗杰斯;J·普洛斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-07-10 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本文公开一种用于使用电感耦合等离子体源来处理基板的设备。电感耦合等离子体源利用功率源、屏蔽构件以及耦合到功率源的线圈。在某些实施例中，线圈与水平螺旋群组以及垂直延伸的螺旋群组布置在一起。本文的实施例减少了由基板处理系统中的电感耦合等离子体所产生的等离子体中的寄生损失以及不稳定性。
电感耦合等离子体改进

[发明专利]电感耦合等离子体源的改进-CN201880055802.9有效
发明人： J·罗杰斯;J·普洛斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-07-10 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本文公开一种用于使用电感耦合等离子体源来处理基板的设备。电感耦合等离子体源利用功率源、屏蔽构件以及耦合到功率源的线圈。在某些实施例中，线圈与水平螺旋群组以及垂直延伸的螺旋群组布置在一起。本文的实施例减少了由基板处理系统中的电感耦合等离子体所产生的等离子体中的寄生损失以及不稳定性。
电感耦合等离子体改进

[发明专利]用于基于UV抑制等离子体不稳定性的系统和方法-CN202011189122.1在审
发明人：尚卡·斯瓦米纳森 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2017-09-11 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及用于基于UV抑制等离子体不稳定性的系统和方法。将衬底定位成暴露于等离子体处理室内的等离子体产生区域。在所述等离子体产生区域内产生第一等离子体。所述第一等离子体被配置为致使膜沉积在所述衬底上直到沉积在所述衬底上的所述膜达到阈值膜厚度。然后所述衬底暴露于紫外辐射以消除沉积在所述衬底上的所述膜内的缺陷。可以使用构造成产生紫外线辐射的第二等离子体或者使用设置成暴露于等离子体产生区域中的紫外辐射设备来原位提供紫外线辐射。也可以通过将衬底移动到与等离子体处理室分离的紫外辐射设备来非原位地提供紫外辐射。
用于基于 uv 抑制等离子体不稳定性系统方法

[发明专利]用于基于UV抑制等离子体不稳定性的系统和方法-CN201710811367.5有效
发明人：尚卡·斯瓦米纳森 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2017-09-11 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： H01L21/48 文献下载
摘要：本发明涉及用于基于UV抑制等离子体不稳定性的系统和方法。将衬底定位成暴露于等离子体处理室内的等离子体产生区域。在所述等离子体产生区域内产生第一等离子体。所述第一等离子体被配置为致使膜沉积在所述衬底上直到沉积在所述衬底上的所述膜达到阈值膜厚度。然后所述衬底暴露于紫外辐射以消除沉积在所述衬底上的所述膜内的缺陷。可以使用构造成产生紫外线辐射的第二等离子体或者使用设置成暴露于等离子体产生区域中的紫外辐射设备来原位提供紫外线辐射。也可以通过将衬底移动到与等离子体处理室分离的紫外辐射设备来非原位地提供紫外辐射。
用于基于 uv 抑制等离子体不稳定性系统方法

[发明专利]一种提高金属板材表面涂层激光去除稳定性和效率的方法-CN202211020434.9在审
发明人：沈一洲;何兆儒;陶杰;熊卫彪;沈智聪 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2022-08-24 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种提高激光去除金属板材涂层效率和稳定性的方法；包括：1)将样件固定于工作台上，带有涂层的一面对准激光清洗头；2)打开磁场发生装置，通过向线圈中通入电流，在样件周围会产生相应的磁场；3)打开脉冲激光器本发明通过外加磁场，其与等离子体之间的相互作用，进而控制等离子体的聚集与扩散，减弱等离子体对激光的屏蔽效应；还能减弱等离子体的喷发周期和强度，使激光能量分布更均匀，有效地提高激光去除金属板材涂层的稳定性
一种提高金属板材表面涂层激光去除稳定性效率方法

[发明专利]激光泵浦等离子体光源以及产生光的方法-CN202180056803.7在审
发明人：亚历山大·安德烈耶维奇·拉什;罗伯特·拉菲列维奇·加亚索夫;丹尼斯·亚历山大罗维奇·格鲁什科夫;尤里·鲍里索维奇·基柳欣;弗拉基米尔·米哈伊洛维奇·克里夫松 -专利权人： ISTEQ 私人有限公司;ISTEQ 集团控股有限公司
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01J61/12 文献下载
摘要：本发明涉及具有连续光放电(COD)的等离子体光源。该光源包含带有辐射等离子体的区域的气体填充隔室，该辐射等离子体的区域通过CW激光器的聚焦束维持。本发明的技术结果在于提供COD维持条件，该COD维持条件对于实现辐射等离子体的高度稳定性和高亮度是最佳的，在此基础上产生亮度和稳定性超高的宽带光源。
激光等离子体光源以及生光方法

[发明专利]一种基于冷等离子体提高小麦储藏稳定性的方法-CN202211101155.5在审
发明人：李淼;刘婷;何鑫;王若兰;王向阳;齐先科 -专利权人：河南工业大学
申请日： 2022-09-09 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： A23B9/06 文献下载
摘要：本申请公开了一种基于冷等离子体提高小麦储藏稳定性的方法，其中，方法包括以下步骤：获取N份不同含水量的小麦样品，所述小麦样品含水量为N种；对所述小麦样品进行预处理，单独设置小麦样品对照组；对预处理后的小麦样品和对照组进行模拟储藏本发明通过合适处理时长的冷等离子体对小麦处理，从根本上一定程度地延缓小麦品质劣变，提高其储藏稳定性。冷等离子体处理小麦的过程中，不污染环境，不会对未使用粮食造成影响，绿色环保。冷等离子体处理后小麦的品质有保证，可紧密结合小麦制粉工艺与设备、易于实现连续化生产。
一种基于等离子体提高小麦储藏稳定性方法

[发明专利]大面积均匀等离子体电子密度控制系统-CN201210006362.2无效
发明人：李小平;谢楷;刘彦明;刘东林;石磊;杨敏;高平 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2012-01-11 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种大面积均匀等离子体电子密度控制系统，主要解决目前等离子体电磁波传播实验装置中电子密度不可连续调节、长时间稳定性差和控制精度低的问题。整个系统包括等离子体产生腔体(1)、诊断装置(2)、电源装置(3)、真空装置(4)和控制装置(5)，控制装置(5)通过读取诊断装置(2)测得的电子密度值，与预设的电子密度值比较，并根据比较的差值输出电压或气压控制信号，调节电源装置(3)的输出功率或真空装置(4)的设定气压值，使等离子体电子密度稳定在预设值范围内。本发明利用反馈控制原理，实现了对大面积均匀等离子体中电子密度的调节与稳定，可用于进行电磁波在不同电子密度等离子体中的传播实验。
大面积均匀等离子体电子密度控制系统

[发明专利]镍-碳化物催化剂、介孔氧化铝负载镍-碳化物催化剂的制备方法及应用-CN202211223158.6有效
发明人：石川;刁亚南;张晓 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2022-10-08 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B01J27/22 文献下载
摘要：本发明提供了一种等离子体原位制备高分散的镍‑碳化物催化剂，并与等离子体耦合用于低温甲烷干重整反应以提高催化剂稳定性，显著提高能量效率和降低能耗的方法。所述方法为：以甲烷和二氧化碳为反应气，以等离子体原位制备具有高比表面积的介孔氧化铝负载镍‑碳化物催化剂，用于制取低氢碳比的合成气(H2/CO＝1.07)；碳化物为碳化钼上述催化剂原位制备在反应过程中最大限度利用了催化剂上的双活性位金属Ni和碳化物(碳化钼、碳化钨)，通过精准调变金属Ni和碳化物在催化剂上的位置，显著提高了等离子体的有效电容和能量效率，获得优异的等离子体催化稳定性
碳化物催化剂氧化铝负载制备方法应用