“离子分布”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果1838000个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]控制开关模式离子能量分布系统的方法-CN201380056070.2有效
发明人： V·布劳克;D·J·霍夫曼;D·卡特 -专利权人：先进能源工业公司
申请日： 2013-08-26 - 公布日： 2018-12-25 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：公开了用于调节等离子体室内的离子能量并且将衬底夹紧到衬底支撑部的系统、方法和设备。示范性方法包括：在等离子体室内放置衬底；在所述等离子体室内形成等离子体；对所述衬底可控地开关电能，以便向所述衬底施加周期电压函数；以及在所述周期电压函数的多个周期期间，响应于所述衬底的表面的定义的离子能量分布来调制所述周期电压函数，以便在时间平均的基础上实现所述定义的离子能量分布。
控制开关模式离子能量分布系统方法

[发明专利]控制开关模式离子能量分布系统的方法-CN201380056068.5有效
发明人： V·布劳克;D·J·霍夫曼;D·卡特 -专利权人：先进能源工业公司
申请日： 2013-08-26 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：公开了用于调节等离子体室内的离子能量并且将衬底夹紧到衬底支撑部的系统、方法和设备。示范性方法包括在等离子体室内放置衬底；在所述等离子体室内形成等离子体；对所述衬底可控地开关电能，以便向所述衬底施加周期电压函数；以及在所述周期电压函数的多个周期期间，响应于所述衬底的表面的定义的离子能量分布来调制所述周期电压函数，以便在时间平均的基础上实现所述定义的离子能量分布。
控制开关模式离子能量分布系统方法

[发明专利]一种等离子体中粒子瞬态分布的成像方法-CN202210653942.4在审
发明人：王俊霄;张雷;张帅;苏永刚;尹王保;肖连团;贾锁堂 -专利权人：山西大学;山西格盟中美清洁能源研发中心有限公司
申请日： 2022-06-09 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： G06F30/23 文献下载
摘要：本发明属于等离子体物理领域，针对目前等离子体物理学研究中等离子体中粒子的瞬态分布成像方法存在的问题，公开了一种等离子体中粒子瞬态分布的成像方法。该方法属于理论方法，相比于传统各种实验成像的方法更便捷、更灵活、更全面，适应面更广，可以研究所有粒子种类以及所有波段，可以同时得到等离子体中多种粒子的分布，可以选择合适的步长以满足分辨率要求，并且不会受到不可避免因素的干扰，利于对等离子体动力学演化的深入研究，提高LIBS的定量分析精度及PLD的镀膜质量。
一种等离子体粒子瞬态分布成像方法

[实用新型]用于等离子体增强化学气相沉积的装置-CN201520526997.4有效
发明人：栗田真一;R·L·蒂纳;S·安瓦尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-07-20 - 公布日： 2016-03-16 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本公开案的各实施方式提供一种用于等离子体增强化学气相沉积的装置。该装置包括：腔室主体；气体分布板，所述气体分布板设置在所述腔室主体中；背板，所述背板设置在所述腔室主体中，并且与所述气体分布板分隔；区隔板组件，所述区隔板组件设置在所述腔室主体内，介于所述气体分布板与所述背板之间；以及远程等离子体清洁源，所述远程等离子体清洁源耦接至所述腔室主体，其中所述远程等离子体清洁源具有在所述腔室主体中的至少一个出口，并且其中所述至少一个出口设置在所述气体分布板与所述区隔板组件之间。
用于等离子体增强化学沉积装置

[发明专利]一种基于等离子体吸收增强的激光与物质作用加强方法-CN202110845949.1在审
发明人：袁孝;张翔;高帆;熊宝星 -专利权人：苏州大学
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： G02F1/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于等离子体吸收增强的激光与物质作用加强方法，包括：利用包含脉冲基底和脉冲尖峰的组合式重频脉冲激光辐照物质表面，通过脉冲尖峰激发等离子体；通过脉冲基底向等离子体注入能量，等离子体作为二次热源改变物质表面的温度分布和应力分布，增大物质表面的温度梯度分布和热应力，进而加强激光对物质的损伤作用。本发明基于等离子体吸收增强的激光与物质作用加强方法通过组合式重频脉冲激光作用于物质表面，可激发特定量的等离子体并引起等离子体吸收加强效应，增大物质表面的温度梯度分布和热应力，实现激光与物质高效作用，达到物质表面快速损伤的效果
一种基于等离子体吸收增强激光物质作用加强方法

[发明专利]等离子体绕流场体分布模型的构建方法及装置-CN202211188818.1在审
发明人：满良;邓浩川;冯雪健 -专利权人：北京环境特性研究所
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G06F30/23 文献下载
摘要：本发明实施涉及等离子体技术领域，特别涉及等离子体绕流场体分布模型的构建方法及装置。方法包括：基于待分析等离子体绕流场的各数据点的位置坐标，确定等离子体绕流场的包围体空间；将包围体空间划分为多个立体网格；基于各数据点的位置坐标，将包围体空间划分为若干个元胞；每个元胞均由预设个数的数据点组成；根据每个立体网格与元胞的位置关系，对当前立体网格进行赋值，以得到等离子体绕流场的体分布模型。本申请方法每个立体网格的参数值代表该立体网格内等离子体的参数值，因此，当每个立体网格均被赋值后，就可以得到均匀分布的等离子体绕流场的体分布模型，该方法计算效率高且适用范围广。
等离子体绕流场体分布模型构建方法装置

[发明专利]一种半绝缘GaAs、SiC中痕量杂质浓度分布的SIMS优化检测方法-CN201811563964.1有效
发明人：齐俊杰;李志超;卫喆;胡超胜;许磊 -专利权人：北京科技大学
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： G01N27/64 文献下载
摘要：本发明提供一种用于半绝缘GaAs、SiC中痕量杂质浓度分布的SIMS优化检测方法,所述方法包括：步骤S1、在试样表面蒸镀石墨烯；步骤S2、将试样放置于二次离子深度剖析仪的进样室内，并抽真空；步骤S3、向进样室内通入氧气；步骤S4、使用氩气团簇离子和氧离子共同轰击试样；步骤S5、调节提取电压的脉冲宽度以及每个循环周期的分析帧数；步骤S6、通过质量分析器收集二次离子；步骤S7、对二次离子进行分析获得深度剖析图和二次离子质量分布图像；步骤S8、根据深度剖析图和二次离子质量分布图像获得试样中痕量杂质元素的检测结果。本发明的技术方案能够对半绝缘GaAs、SiC中痕量杂质元素的浓度及分布进行优化检测。
一种绝缘 gaas sic 痕量杂质浓度分布 sims 优化检测方法

[发明专利]基于速度影像的纳米颗粒表面等离激元场分布探测方法-CN202011045775.2有效
发明人：张庆斌;符祥龙;韩旭;黄湘;曹伟;陆培祥 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： G01N21/66 文献下载
摘要：本发明属于微纳光学领域，具体公开一种基于速度影像的纳米颗粒表面等离激元场分布探测方法，包括：将线偏振的飞秒激光通过第一λ/2波片以矫准其偏振方向，经第二λ/2波片后通过透镜聚焦与纳米颗粒束流作用，使纳米颗粒电离出离子；控制离子经加速聚焦后进入微通道探测器以生成倍增电子信号，并使该信号在荧光屏上呈现影像以获得离子动量信息；以固定步长角度旋转第二λ/2波片，获得在激光偏振平面内各不同角度上对应的离子动量信息，对所有离子动量信息层析重构处理，得到发射离子的三维动量分布并对其做以中心为原点的径向积分，得到纳米颗粒表面电离率空间分布作为等离激元场分布。本发明采用纳米颗粒在电离后产生的离子作为探测对象，测量过程简单。
基于速度影像纳米颗粒表面离激元场分布探测方法

[发明专利]一种锂离子电池内部反应离子通量和电势的估计方法-CN202110725759.6有效
发明人：陈启鑫;顾宇轩;郭鸿业;郑可迪;康重庆;夏清;陈远博 -专利权人：清华大学
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种锂离子电池内部反应离子通量和电势的估计方法，该方法包括：获得计算所需的电池端口和内部待分析点位处状态及参数；计算电池内部待分析点处反应参数；计算电池内部反应离子通量的空间分布函数；计算电池内部电解质电势空间分布函数本方法考虑锂离子电池仿真技术实用化所要求的快速、准确、简便等特点，通过对锂离子电池电化学机理的合理简化，得到电池内部反应离子通量的空间分布函数的近似解析表达式，并进一步得到电池电解质电势的近似空间分布，利用本方法，能够降低传统锂离子电池电化学模型的复杂度，推动其应用于实际工程。
一种锂离子电池内部反应离子通量电势估计方法

[实用新型]一种高效混合离子交换器-CN202020968843.1有效
发明人：杨霞;张凯;郭晓彬;吕树梅 -专利权人：上海万唐工程技术有限公司
申请日： 2020-06-01 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： C02F1/42 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高效混合离子交换器，包括：混合离子交换处理装置，所述混合离子交换处理装置内安装有第一、第二进水分布装置，进水通过所述进水分布装置的支管筛管缝隙进入阴树脂层及阳树脂层；所述混合离子交换处理装置内安装有第一、第二出水装置，出水通过所述出水装置的支管筛管的缝隙汇入母管后排入其他设备；所述混合离子交换处理装置内安装有第一、第二碱分布装置，碱液通过所述碱分布装置的支管筛管的缝隙进入阴树脂层；所述混合离子交换处理装置内安装有第一本实用新型的高效混合离子交换器的脱盐率高，且设备占地面积小。
一种高效混合离子交换

[发明专利]离子束流密度和能量的同步测量装置-CN200710046649.7无效
发明人：王聪娟;晋云霞;邵建达 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2007-09-29 - 公布日： 2008-02-27 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：一种用于离子源的离子束流密度和能量的同步测量装置，通过磁场偏转进行阳离子和电子的分离：电子通过电子接收器进行采集，采集的电流与该装置对应捕获面积的比值即反映了束流密度，而阳离子通过阳离子接收器进行采集，通过对阳离子运行轨迹的分析，获得离子能量的分布情况。本发明装置能够同时对离子能量和束流密度进行测量。可以同时获得离子束流密度和能量的分布规律。本发明装置使用简单，操作方便，实用性强。
离子束密度能量同步测量装置

[发明专利]等离子体反应器线圈磁体系统-CN02816257.9无效
发明人：安德列·S·米特洛维奇 -专利权人：东京电子株式会社
申请日： 2002-09-04 - 公布日： 2004-11-10 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种用于处理工件的方法，利用等离子体处理操作期间得自于存在于等离子体处置装置等离子体室内的处理气体的等离子体执行。该装置包括周向围绕等离子体室安装的电磁体阵列。该方法包括由室内的处理气体产生等离子体并使等离子体粒子撞击工件，为电磁体选择电流信号分布，和将每个所选择的分布提供给电磁体从而在等离子体处理操作期间在等离子体上施加多于一种的磁场布局。
等离子体反应器线圈磁体系统

[发明专利]离子注入机台的注入均匀性的调整方法-CN202111547680.5在审
发明人：庞宏庄;王呈辰;国子明;张凌越 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：本发明提供了一种离子注入机台的注入均匀性的调整方法，包括：步骤S1：提供测试晶圆，将所述测试晶圆放置于所述靶盘上，所述靶盘的表面与参考面重合；步骤S2：根据预设的离子注入工艺参数对所述测试晶圆进行离子注入，并在离子注入完成后，扫描所述测试晶圆得到热波值分布图，获得所述采样点的热波值及位置，利用二次函数拟合出热波值分布曲线；步骤S3：判断所述热波值分布曲线的对称轴与所述热波值分布曲线的Y轴的距离是否小于设定值；步骤S4：根据所述采样点的热波值，判断所述测试晶圆的离子注入均匀性是否满足控制要求；本发明提高了离子注入机台的注入均匀性。
离子注入机台均匀调整方法

[发明专利]测量桥梁墩柱混凝土构件中氯离子含量分布的方法及装置-CN202210938046.2在审
发明人：赵家琦;范志宏;杨海成;熊建波;王胜年 -专利权人：中交四航工程研究院有限公司
申请日： 2022-08-05 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01N31/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种测量桥梁墩柱混凝土构件中氯离子含量分布的方法和装置，其中该方法包括：获取第一墩柱混凝土进行预处理得到第二墩柱混凝土；设计第二墩柱混凝土上的取样点；根据选用的粗骨料最大粒径确定取样体积；根据磨头外径确定取样宽度；根据第一墩柱混凝土高度确定取样长度；根据取样体积、取样高度、取样长度计算得到取样深度；根据取样参数在取样点上径向磨粉得到混凝土样本；测量样本氯离子含量；根据取样参数和取样点计算得到样本坐标；对样本坐标和样本氯离子含量处理得到第一墩柱混凝土中氯离子含量分布图以提高对墩柱混凝土中氯离子分布含量测量的可靠性。本发明可广泛应用于墩柱混凝土构件中氯离子分布含量测量领域。
测量桥梁混凝土构件氯离子含量分布方法装置

[发明专利]测量桥梁承台混凝土构件中氯离子含量分布的方法及装置-CN202210942774.0在审
发明人：赵家琦;范志宏;杨海成;熊建波;王胜年 -专利权人：中交四航工程研究院有限公司
申请日： 2022-08-08 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01N33/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种测量桥梁承台混凝土构件中氯离子含量分布的方法及装置，该方法包括：获取第一承台混凝土并进行预处理得到第二承台混凝土；根据第一承台混凝土中的粗骨料的最大粒径进行计算确定取样体积；根据取样参数对第二承台混凝土进行径向切分、周向切分、竖向切分得到取样单元；对取样单元进行磨粉取样得到目标样本；测定目标样本的样本氯离子含量；根据第一承台混凝土的半径和取样参数进行计算得到目标样本在第一承台混凝土中的样本坐标；根据等值面对样本氯离子含量和样本坐标进行处理得到氯离子含量分布图,以提高对承台混凝土中氯离子分布含量测量的可靠性。本发明可广泛应用于承台混凝土构件中氯离子分布含量测量领域。
测量桥梁混凝土构件氯离子含量分布方法装置

首页
«上一页
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
下一页»
尾页
共 100000 条