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- [实用新型]一种硅片分片装置及系统-CN202023282554.5有效
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詹月琴;杨松
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曲靖隆基硅材料有限公司
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2020-12-30
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2021-10-26
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H01L21/67
- 本实用新型公开一种硅片分片装置及系统，涉及半导体制造技术领域，用于在将硅片由硅片叠层上逐片传送的过程中，避免相邻两片硅片的棱边由于相互碰撞而产生破损。该传送机构传送机构、顶升机构及吸附板。吸附板具有吸附面，吸附面用于提供向上吸附硅片的吸附力。传送机构设在吸附板上，传送机构具有用于传送硅片的传送面，传送面与吸附面沿硅片堆叠方向上间隔排列，且传送面位于靠近所述硅片一侧。顶升机构，用于调整传送面与硅片叠层之间的距离，使传送面以预设频率传送硅片。在传送面与硅片叠层之间的距离减小的情况下，传送面传送硅片。在传送面与硅片叠层之间的距离增大的情况下，传送面与硅片分离。上述硅片分片系统包括该硅片分片装置。
- 一种硅片分片装置系统
- [实用新型]一种硅片制绒传送装置-CN201420720690.3有效
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朱东
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浙江尚源实业有限公司
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2014-11-27
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2015-03-11
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H01L21/677
- 本实用新型公开了一种硅片制绒传送装置，属于光伏元件加工设备领域。该实用新型包括主支架和硅片传送机构，硅片传送机构包括硅片传送辊、硅片固定辊和传送电机，多根硅片传送辊沿硅片传送方向依次水平转动连接于主支架，硅片固定辊设置在硅片传送辊上侧，硅片固定辊两端分别设置有硅片压紧机构，硅片固定辊一侧设置有上驱动齿轮，硅片传送辊一侧设置有下驱动齿轮，传送电机输出端水平设置有旋转轴，旋转轴上依次均匀设置有多个主伞齿轮，硅片传送辊一端竖直设置有辅伞齿轮，硅片传送辊和硅片固定辊上分别对称设置有多个限位卡环和多根防滑橡胶条本实用新型结构简单，能够快速高效且准确的将硅片进行传送，满足生产的需要。
- 一种硅片传送装置
- [实用新型]一种硅片传送翻转装置-CN201520007155.8有效
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刘宏亮
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浙江尚源实业有限公司
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2015-01-07
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2015-06-10
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B65G47/248
- 本实用新型公开了一种硅片传送翻转装置，属于光伏元件加工设备领域。该实用新型包括主支架、硅片传送机构和硅片翻转机构，硅片翻转机构设置在硅片传送机构上侧，硅片传送机构包括传送支架、传送皮带和传送电机，两个传送支架水平对称设置在主支架上侧，传送支架两侧分别水平转动连接有旋转轴，旋转轴两侧分别对称设置有皮带轮，传送皮带水平设置在皮带轮上，传送电机驱动旋转轴，硅片翻转机构包括步进电机、硅片翻转板、连接轴和硅片位置检测器，硅片翻转板水平转动连接于传送支架，步进电机驱动硅片翻转板，硅片位置检测器设置在感应支架下侧。本实用新型结构简单，能够快速高效的将硅片进行传送翻转，满足生产的需要。
- 一种硅片传送翻转装置
- [实用新型]全自动硅片插片机-CN201420327991.X有效
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陈德榜
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温州海旭科技有限公司
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2014-06-19
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2014-10-29
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H01L31/18
- 本实用新型公开了一种全自动硅片插片机，包括机体，所述的机体上设有硅片输出装置、硅片传送装置和装片盒，所述的硅片输出装置通过吸盘与硅片传送装置的硅片进入端连接，所述硅片传送装置的硅片送出端与装片盒相接，所述的装片盒上连接有驱动其相对机体上下升降的装片盒气缸，其中所述的硅片输出装置包括有硅片输出架、硅片输出气缸，所述的硅片传送装置包括有主动轴、主动轴座、主动轮、从动轴、从动轴座、从动轮、传送皮管、传送电机，且所述的传送皮管在其传送方向的两侧各装有一护板，因此采用上述结构可实现硅片的全自动化插装操作，相比现有技术的手工操作，不仅大幅提高了硅片的插装效率，而且还能有效确保硅片传送时的安全可靠。
- 全自动硅片插片机
- [发明专利]硅片分片传送装置及硅片传送方法-CN201510051096.9有效
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顾韻;凌兆贵
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无锡市南亚科技有限公司
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2015-02-02
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2017-05-17
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B65G47/06
- 本发明涉及一种传送装置和方法，具体为硅片分片传送装置，包括硅片组传送装置、竖向传送装置和水平过渡传送装置，竖向传送装置与水平过渡传送装置共用同一传送带，竖向传送装置与水平过渡传送装置的连接处有压轮；传送带上有通孔，竖向传送装置还有硅片吸盘，硅片吸盘安装在传送带的背面，硅片吸盘上有气孔，气孔与传送带上的通孔对应，气孔与抽气装置连接；硅片组传送装置末端还安装有推送喷头，推送喷头喷射方向朝向竖向传送装置。分片后的单片硅片由推送喷头推送到传送带上，传送带上的通孔通过负压将单片硅片吸附住，通过传送带完成全部传送，简化了传送装置的结构，并且定位精确，吸附负压力小，传送过程稳定。
- 硅片分片传送装置方法
- [发明专利]一种MAiA自动化上下料设备-CN201710668041.1在审
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聂文杰;李跃平
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上海客辉自动化设备有限公司
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2017-08-07
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2018-01-16
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H01L21/677
- 本发明涉及一种MAiA自动化上下料设备，包括自动上料模块、石墨框传送模块、自动下料模块、花篮传送模块、硅片移载模块、石墨框升降模块，所述石墨框传送模块与硅片背钝化镀膜主设备连接，用于将满载未镀膜硅片的石墨框送入硅片背钝化镀膜主设备中，并将满载已镀膜硅片的石墨框送出；所述硅片移载模块设置于石墨框传送模块的后方，用于未镀膜硅片和已镀膜硅片转移以及石墨框的传送；所述石墨框升降模块设置于硅片移载模块的后方，用于石墨框的升降和传送，所述自动上料模块和自动下料模块分别置于硅片移载模块的两侧，用于未镀膜硅片的上料和已镀膜硅片的下料，所述花篮传送模块连接在自动上料模块和自动下料模块的上料端和下料端，用于花篮传送。
- 一种maia自动化上下设备
- [实用新型]一种硅片插片设备-CN202122511998.X有效
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鲁战锋;任新刚;张珊;迪大明;成路
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隆基绿能科技股份有限公司
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2021-10-18
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2022-05-10
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B65G15/30
- 本申请公开了一种硅片插片设备，涉及太阳能光伏技术领域。硅片插片设备具体可以包括：分片装置、花篮和传送机构；分片装置具有水槽，以及设置于水槽内的料托，料托用于承载堆叠的硅片；花篮设置于水槽外，用于承载经分片装置分离后的硅片；传送机构包括：设置于料托和花篮之间的多个传送组件，沿料托至花篮的方向，多个传送组件依次首尾相接，以将料托上的硅片传送至花篮；其中，多个传送组件中的至少一个传送组件倾斜设置。本申请实施例中，硅片插片设备可以使硅片表面附着的水沿倾斜方向加速流出，从而减小硅片的弯曲变形程度，使硅片在传送组件传送以及入篮时可以更容易，也更精准，最终减少硅片碎片率，提高硅片的分片质量和效率。
- 一种硅片设备
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