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[发明专利]一种真空溅镀时防止尖端放电产生的加工工艺-CN202011412846.8在审
发明人：王仁义;胡智清 -专利权人：海珀（滁州）材料科技有限公司
申请日： 2020-12-04 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及刀片真空溅镀领域，具体是一种真空溅镀时防止尖端放电产生的加工工艺，包括刀片表面处理、真空溅镀设备检测和刀片真空溅镀加工，刀片真空溅镀包括以下步骤：S1.放置：打开真空溅镀设备门，将表面处理好的刀片放置到真空溅镀设备的内部，通过真空溅镀设备内的夹角进行对刀片进行夹持固定，之后关闭真空溅镀设备门；S2.启动真空泵：启动真空泵，将真空溅镀设备内的空气进行抽出，降低真空溅镀设备内的压强；S3.启动真空溅镀设备：当达到指定压强时本发明的有益效果在刀片真空溅镀时防止尖端放电，不仅提高刀片在真空溅镀的质量，同时提高刀片在真空溅镀加工时的安全性，能避免刀片上出现毛刺现象在真空溅镀时发生尖端放电现象。
一种真空溅镀时防止尖端放电产生加工工艺

[发明专利]真空蒸镀系统及真空蒸镀方法-CN201310046198.2无效
发明人：若林雅;加藤升;石泽泰明 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-02-05 - 公布日： 2013-08-21 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供能够在串联地配置真空搬运腔体与真空蒸镀腔体的真空蒸镀系统中降低材料损失的经济性好的真空蒸镀系统及真空蒸镀方法。本发明是一种真空蒸镀系统，其交替且串联地配置水平搬运工件的真空搬运腔体与对上述工件蒸镀蒸镀材料的真空蒸镀腔体，由具有多个上述真空蒸镀腔体的线构成，互相并列地设置N条上述线，其中N为2以上，上述真空蒸镀腔体是横跨各个上述N条线而设置的N条线真空蒸镀腔体，上述N条线真空蒸镀腔体在每条线上具有对工件进行蒸镀的蒸镀位置，当在上述N条线中的第一线对第一上述工件进行蒸镀期间，在与上述第一线不同的另一线上将第二工件搬出到下游侧的上述真空搬运腔体，并从上游侧的上述真空搬运腔体搬入第三工件。
真空系统方法

[实用新型]一种真空镀钛装置-CN202021863698.7有效
发明人：刘自然;刘慧丹;彭霞霖;陈元;钟日新 -专利权人：肇庆宏旺金属实业有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： C23C14/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀钛装置，包括镀钛主机，镀钛主机内设有镀钛腔，镀钛腔内设有旋转安装架，旋转安装架上设有驱动其在镀钛腔内升降的升降结构，升降结构上连接有液压管，液压管贯穿镀钛腔与外部液压站连接；镀钛主机外部设有与镀钛腔连通的抽真空装置，抽真空装置包括根据镀钛腔内的真空度依次启动的第一真空泵、第二真空泵、第三真空泵、抽真空管道，第一真空泵和第二真空泵设置在镀钛主机外部，第三真空泵设置在镀钛主机的外壁周侧上，第一真空泵、第二真空泵、第三真空泵通过抽真空管道与镀钛腔连通本实用新型具有空间占用率低、取料便捷的优点，解决现有不锈钢板镀钛装置取料困难，空间占用率高，不便于中小企业的投入使用的问题。
一种真空装置

[实用新型]一种薄膜生产线和薄膜真空蒸镀机构-CN202123440023.9有效
发明人：臧世伟 -专利权人：重庆金美新材料科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种薄膜生产线和薄膜真空蒸镀机构，包括真空蒸镀机构、搬运机构以及水电镀机构，通过真空蒸镀机构对待蒸镀的薄膜进行蒸镀，通过搬运机构用于对真空蒸镀机构蒸镀后的薄膜搬运至水电镀机构，水电镀机构用于对蒸镀后的薄膜进行水电镀；本实施例提供的薄膜生产系统不仅可以对薄膜进行蒸镀，还可以对蒸镀后的薄膜进行水电镀。另外，真空蒸镀机构包括真空腔室，以及设置在所述真空腔室中的蒸镀装置，该蒸镀装置采用立体设置，能够减少占地空间，提高空间的利用率。
一种薄膜生产线真空机构

[发明专利]真空监控器及蒸镀设备-CN202111249713.8在审
发明人：姬磊;罗楠;李靖;刘金彪;加新星;李元星;刘文豪;胡斌;党博谭;李端瑞;周杰;祁泽宙;兰代江;刘飞 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2021-10-26 - 公布日： 2022-01-21 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明公开一种真空监控器及蒸镀设备，涉及蒸镀技术领域，以减小更换真空监控器所造成的蒸镀空间内的真空度波动，减少不良品产出，提高良品率。该真空监控器包括真空监控组件和抽真空组件。其中，真空监控组件内设有真空腔，且真空监控组件上设有连通真空腔的进样口和出气口。进样口用于连接蒸镀设备的蒸镀机；抽真空组件与出气口连接，用于对真空腔进行抽真空。本发明用于监控蒸镀机的蒸镀空间内的真空度。
真空监控器设备

[实用新型]一种用于镀钛机的抽真空装置-CN202021862864.1有效
发明人：刘自然;刘慧丹;彭霞霖;陈元;钟日新 -专利权人：肇庆宏旺金属实业有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于镀钛机的抽真空装置，用于镀钛机本体内的镀钛腔进行抽真空处理，包括抽真空管道、第一真空泵、第二真空泵以及第三真空泵，抽真空管道与镀钛腔相连通，第一真空泵、第二真空泵以及第三真空泵分别连通抽真空管道；镀钛机本体上设有控制终端，控制终端分别与第一真空泵、第二真空泵以及第三真空泵电性连接；当对镀钛腔进行抽真空处理时，控制终端控制第一真空泵、第二真空泵以及第三真空泵根据镀钛腔内的真空度依次启动对镀钛腔进行抽真空处理本实用新型解决现有的不锈钢镀钛机的抽真空装置无法调节不同的抽真空需求，以适应不同的镀钛环境，需要更换不同的抽真空装置以达到需求，费时费力，造成高昂成本的问题。
一种用于镀钛机真空装置

[实用新型]一种贴片保险丝真空溅镀机-CN201921661733.4有效
发明人：刘金刚 -专利权人：东莞市诚润电子科技有限公司
申请日： 2019-10-08 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种贴片保险丝真空溅镀机,包括真空室，真空室右端成型有进料口，真空室左端成型有出料口；真空室中设有传送装置，传送装置两端分别向真空室的进料口和出料口延伸；真空室顶部安装有真空泵，真空泵一端设有吸气口，吸气口向真空内伸入；真空泵另一端设有排气口，并通过真空泵将真空室的气体循环排出；真空室内设有溅镀装置，溅镀装置包括溅镀安装板和溅镀口，溅镀安装板内侧壁安装有调节板，调节板的数量为两个，并通过螺钉调节溅镀口的安装位置；本实用新型采用真空溅镀室和可调节的溅镀装置对贴片保险丝进行溅镀，大大提升了溅镀工艺的质量和提高了该设备的实用性和功能性。
一种保险丝真空溅镀机

[发明专利]一种立式真空蒸镀机-CN202310690685.6在审
发明人：李同裕 -专利权人：扬州吉山津田光电科技有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种立式真空蒸镀机，属于真空蒸镀技术领域，包括真空室、蒸镀端和顶盖，顶盖设置在蒸镀端上，顶盖与真空室上端相卡接，所述真空室内底壁中心设置有基片架，真空室内设置有挡片，蒸镀端设于换向单元上端，换向单元下端设置有内清单元，内清单元与蒸镀端相对设置且二者均位于真空室的正上方，换向单元设置在升降单元上。本发明通过侧清理件、上清理件相配合的连贯清理作业，达到清洁真空室内壁、基片架表面附着的残余蒸镀料的目的，避免残余蒸镀料在后续基片真空蒸镀期间于真空环境下蒸发，而直接影响基片表面镀膜层的纯度和结合力，保证基片架、真空室内壁在下一次真空蒸镀作业前保持洁净状态。
一种立式真空蒸镀机

[发明专利]一种复合集流体的制备设备和制备方法-CN202111629075.2在审
发明人：贾孟 -专利权人：昆山鑫美源电子科技有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种复合集流体的制备设备和制备方法，所述复合集流体的制备设备，包括真空蒸镀设备，在所述真空蒸镀设备的后方设置有水镀设备，所述真空蒸镀设备包括真空腔体，所述真空腔体内部设置有第一蒸镀架和第二蒸镀架，基材经过所述第一蒸镀架和第二蒸镀架进行真空蒸镀后，再进入所述水镀设备进行水电镀，得到复合集流体。
一种复合流体制备设备方法

[实用新型]一种薄膜生产系统和真空蒸镀机构-CN202123112538.6有效
发明人：臧世伟 -专利权人：重庆金美新材料科技有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种薄膜生产系统和真空蒸镀机构，该系统包括真空蒸镀机构、搬运机构以及水电镀机构，通过真空蒸镀机构对待蒸镀的薄膜进行蒸镀，通过搬运机构用于对真空蒸镀机构蒸镀后的薄膜搬运至所述水电镀机构，水电镀机构用于对蒸镀后的薄膜进行水电镀；本实施例提供的薄膜生产系统不仅可以快速对薄膜上的金属进行增厚，也能够减少成本。另外，真空蒸镀机构包括真空腔室，以及设置在所述真空腔室中的蒸镀装置，该蒸镀装置包含了两组薄膜蒸镀部件，可以同时对两卷薄膜的双面进行蒸镀，提高了薄膜生产效率且极大的减少成本。
一种薄膜生产系统真空机构

[实用新型]蒸镀设备-CN201821722248.9有效
发明人：李嘉宸 -专利权人：陕西坤同半导体科技有限公司
申请日： 2018-10-23 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蒸镀设备，可在真空环境自动填充有机材料，并对玻璃基板进行蒸镀，其中蒸镀设备包括：蒸镀腔体；蒸镀装置，设置于蒸镀腔体内，蒸镀装置用于蒸镀有机材料；填料腔体，与蒸镀腔体衔接，填料腔体用于存放有机材料；真空阀门，设置于蒸镀腔体与填料腔体之间，真空阀门用于蒸镀腔体与填料腔体的连通或隔离；送料装置，设置于填料腔体内，送料装置用于在真空阀门打开时将填料腔体内的有机材料输送至蒸镀装置内；以及传感器，设置于蒸镀腔体内，传感器用于控制真空阀门的开启和关闭及送料装置送料。本实用新型可完全做到真空状态下进行填料，使蒸镀设备持续保持在真空状态进行连续蒸镀，提高生产效率。
填料腔有机材料真空阀门蒸镀腔体蒸镀设备送料装置蒸镀装置体内蒸镀本实用新型真空状态蒸镀腔传感器玻璃基板生产效率真空环境自动填充送料连通隔离衔接

[发明专利]一种蒸镀装置-CN201510169608.1有效
发明人：裴凤巍;赵子仪;崔富毅;张金中 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2015-04-10 - 公布日： 2017-07-25 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀装置，用于解决现有技术的蒸镀装置需要单独设立传送腔室，并且每次蒸镀需要重新对各蒸发腔室进行抽真空、设备复杂、传送和抽真空时间长等问题。本发明提供的蒸镀装置包括多个蒸镀子腔室，将待蒸镀基板在多个蒸镀子腔室移动完成各层镀蒸，节省待蒸镀基板的传送时间，且将蒸镀腔室维持在同一真空环境下，各蒸镀子腔室不用重新抽真空，节省抽真空时间。
一种装置

[实用新型]一种真空镀钛机-CN202021863700.0有效
发明人：刘自然;刘慧丹;彭霞霖;陈元;钟日新 -专利权人：肇庆宏旺金属实业有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀钛机，包括镀钛机本体，镀钛机本体包括相互铰接的固定部和活动部，形成用于镀钛的镀钛腔，镀钛腔内设有安装架，安装架上连接有驱动装置，镀钛腔的内部上设有若干组第一镀钛源和第二镀钛源；固定部上连接有与镀钛腔连通的抽真空装置，镀钛机本体上还设有控制终端，控制终端分别与驱动装置、第一镀钛源、第二镀钛源以及抽真空装置电性连接；当抽真空处理后，待镀钛的板材安装在安装架上时，驱动装置驱动安装架旋转，第一镀钛源和第二镀钛源运作产生游离的钛离子均匀地附着在待镀钛的板材上。本实用新型解决了现有真空镀钛机的抽真空装置无法调节、上下料需要借助设备实现，复杂繁琐、以及镀钛效果差的问题。
一种真空镀钛机

[发明专利]微晶硅薄膜太阳能电池的真空热退火处理背电极技术-CN201110287896.2无效
发明人：陈宏昌;刘幼海;刘吉人 -专利权人：吉富新能源科技(上海)有限公司
申请日： 2011-09-26 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明关于一种微晶硅薄膜太阳能电池的真空热退火处理背电极技术，此技术包括玻璃、真空溅镀沉积第一透明导电层薄膜、真空溅镀沉积第一金属层薄膜、真空溅镀沉积第二金属层薄膜、真空热退火处理、与真空溅镀沉积第二透明导电层薄膜先在玻璃上依序真空溅镀沉积第一透明导电层薄膜、真空溅镀沉积第一金属层薄膜、真空溅镀沉积第二金属层薄膜、以真空热退火处理第二金属层薄膜表面平整化后、最后真空溅镀沉积第二透明导电层薄膜。
微晶硅薄膜太阳能电池真空退火处理电极技术

[实用新型]真空蒸镀异常排除装置及真空蒸镀装置-CN202121977417.5有效
发明人：章丰帆 -专利权人：合肥视涯显示科技有限公司
申请日： 2021-08-20 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请提供了一种真空蒸镀异常排除装置及真空蒸镀装置，蒸镀异常排除装置，应用于真空蒸镀装置，所述蒸镀异常排除装置包括本体；所述本体包括第一表面，所述第一表面设有粘性部，所述本体通过所述粘性部吸附异常基板，从而将所述异常基板输送到所述真空蒸镀室外。本申请可以快速排除真空蒸镀装置内的异常基板，降低生产成本。
真空异常排除装置

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