专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]双面光刻方法-CN201410036230.3有效
  • 荆二荣 - 无锡华润上华半导体有限公司
  • 2014-01-24 - 2017-08-08 - G03F9/00
  • 本发明公开一种双面光刻方法,包括如下步骤在待光刻的衬底(100)上的一面或两面制作第一对位标(101);利用所述第一对位标(101)对齐第一次光刻所用的光刻版和衬底(100),并在所述衬底(100)上制作图形和第二对位标(103);利用所述第二对位标(103)对齐后续光刻所用的光刻版和衬底(100),并在所述衬底(100)上制作后续图形;所述第一对位标(101)的精度高于所述第二对位标(103
  • 双面光刻方法
  • [实用新型]一种薄膜晶体管基板及对位标-CN201620279054.0有效
  • 黄舒宁 - 昆山龙腾光电有限公司
  • 2016-04-06 - 2016-09-28 - H01L23/544
  • 本实用新型涉及一种薄膜晶体管基板及对位标,所述对位标用于薄膜晶体管的光刻工序中的对位,所述对位标包括两层,分别为金属膜层和掺杂半导体层,所述金属膜层位于所述掺杂半导体层上方。本实用新型提供的薄膜晶体管上的对位标,在形成时利用一灰阶光掩膜,使对位标只包括金属膜层和掺杂半导体,使后续的光刻工序能够利用对位标实现在线对位并能保证精确对位,既提高了生产效率,又保证了较高的良品率
  • 一种薄膜晶体管对位标记
  • [发明专利]显示装置-CN201810002520.4有效
  • 席克瑞;崔婷婷 - 上海中航光电子有限公司
  • 2018-01-02 - 2020-09-25 - G02F1/1333
  • 包括:相对设置的显示面板和对置基板;显示面板包括显示区和围绕显示区的非显示区;显示区包括至少一段曲线边缘;对置基板包括透光区和遮光区,在垂直于显示面板的方向上,透光区覆盖显示区;显示装置包括至少一个对位标组,对位标组用于使显示面板和对置基板进行位置对准;对位标组包括对应设置的第一对位标和第二对位标;第一对位标设置在显示面板的非显示区,第二对位标设置在对置基板的遮光区。
  • 显示装置
  • [发明专利]一种彩膜基板及其制作方法和显示面板-CN202110159682.0有效
  • 柯姝宇;郑浩旋 - 惠科股份有限公司
  • 2021-02-05 - 2021-11-09 - G02F1/1335
  • 本申请公开了一种彩膜基板及其制作方法和显示面板,包括衬底、黑矩阵层、第一填充物和定位标,所述衬底包括显示区和非显示区,所述非显示区围绕所述显示区设置;所述黑矩阵层设置在所述衬底上,黑矩阵层上设有凹槽,所述凹槽围绕显示区设置;所述第一填充物设置于所述凹槽内部;以及所述定位标,设置于所述凹槽内部,所述定位标与所述第一填充物的颜色不同,所述定位标用于彩膜基板的制作工艺定位,通过在黑矩阵层上的凹槽内设置定位标,定位标设置在凹槽内并非设置在非显示区上,且定位标与凹槽配合使用,实现工序定位的同时缩小了彩膜基板的非显示区,实现窄边框的效果。
  • 一种彩膜基板及其制作方法显示面板
  • [发明专利]曝光机的对位系统及其对位方法-CN202010405527.8有效
  • 刘巍巍 - TCL华星光电技术有限公司
  • 2020-05-14 - 2023-01-10 - G03F9/00
  • 一种曝光机的对位系统,包括承载基板的承载机台、光罩、第一摄像模块、第二摄像模块、以及图像处理模块,基板和光罩上均设置有定位标,所述第一摄像模块获取基板上的定位标图像,所述第二摄像模块获取光罩上的定位标图像,图像处理模块接收第一摄像模块获取的图像以及第二摄像模块获取的图像,并判断第一定位标与第二定位标的对位情况,通过在基板下方设置用以接收基板上对位标画面的摄像模块,在光罩上方设置用以接收光罩上对位标画面的摄像模块
  • 曝光对位系统及其方法
  • [发明专利]显示装置-CN202010823635.7有效
  • 席克瑞;崔婷婷 - 上海中航光电子有限公司
  • 2018-01-02 - 2023-07-04 - G02F1/1333
  • 包括:相对设置的显示面板和对置基板;显示面板包括显示区和围绕显示区的非显示区;显示区包括至少一段曲线边缘;对置基板包括透光区和遮光区,在垂直于显示面板的方向上,透光区覆盖显示区;显示装置包括至少一个对位标组,对位标组用于使显示面板和对置基板进行位置对准;对位标组包括对应设置的第一对位标和第二对位标;第一对位标设置在显示面板的非显示区,第二对位标设置在对置基板的遮光区。
  • 显示装置
  • [实用新型]一种液晶显示面板-CN201520820465.1有效
  • 马铁军;陈静;李红侠 - 昆山龙腾光电有限公司
  • 2015-10-21 - 2016-02-10 - G02F1/1333
  • 本实用新型公开了一种液晶显示面板,包括第一基板和第二基板,所述第一基板上设置有多个沿第一方向平行排布的第一对位标,所述第二基板上设置有多个沿第一方向平行排布的,且与所述第一对位标一一对应的第二对位标,所述第一对位标与所述第二对位标相对的端部设置为尖端结构。本实用新型提供的技术方案,通过将第一对位标和第二对位标相对的顶部设置为尖端结构,使得在液晶显示面板的第一基板和第二基板的对位过程中,能够供工作人员快速准确地读取第一基板和第二基板的对位精度。
  • 一种液晶显示面板
  • [实用新型]一种光罩-CN202020368355.7有效
  • 杜雷;魏姣阳 - 合肥晶合集成电路有限公司
  • 2020-03-23 - 2020-10-02 - G03F1/42
  • 本实用新型公开一种光罩,所述光罩包括版图,所述版图用于曝光到晶圆上,所述光罩包括:至少一对位标版图、切割道版图以及虚拟图形版图,所述对位标版图设置于所述切割道版图中,所述对位标版图包括对应于晶圆上半导体制程的所有膜层的对位标,所述虚拟图形版图设置于切割道版图中除所述对位标版图以外的位置;本实用新型提供的光罩,在切割道版图中摆放包括对应于晶圆上半导体制程的所有膜层的对位标,如果后段需要新增膜层,会有其对应的对位标用于对位
  • 一种

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