“电容动电极”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果1372569个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]电容式压力传感器及压力测量电路-CN201710428611.X在审
发明人：霍红颖;湛邵斌;胡涛;卢鑫;陈三风 -专利权人：深圳信息职业技术学院;湛邵斌
申请日： 2017-06-08 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明适用于传感器技术领域，提供了一种电容式压力传感器及压力测量电路，电容式压力传感器包括：设有一空腔的衬底、可动薄膜和叉指电容；可动薄膜设置在衬底的空腔的上部，可动薄膜与衬底固定连接；叉指电容包括固定电极和可动电极，固定电极设置在衬底上，可动电极设置可动薄膜上，固定电极与可动电极交叉且位于同一平面上。由于叉指电容的可动电极直接设置在可动薄膜上，当可动薄膜受到外界压力发生形变时，会使得可动电极的发生较大的形变量，造成可动电极相对于固定电极发生较大的位移，导致叉指电容的电容值发生较大变化，能够有效提高电容式压力传感器的测量灵敏度
可动电极可动薄膜电容式压力传感器叉指电容固定电极衬底压力测量电路传感器技术领域外界压力直接设置灵敏度电容形变大变化形变量一空腔空腔测量

[实用新型]电容式压力传感器及压力测量电路-CN201720666871.6有效
发明人：霍红颖;湛邵斌;胡涛;卢鑫;陈三风 -专利权人：深圳信息职业技术学院;湛邵斌
申请日： 2017-06-08 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本实用新型适用于传感器技术领域，提供了一种电容式压力传感器及压力测量电路，电容式压力传感器包括设有一空腔的衬底、可动薄膜和叉指电容；可动薄膜设置在衬底的空腔的上部，可动薄膜与衬底固定连接；叉指电容包括固定电极和可动电极，固定电极设置在衬底上，可动电极设置可动薄膜上，固定电极与可动电极交叉且位于同一平面上。由于叉指电容的可动电极直接设置在可动薄膜上，当可动薄膜受到外界压力发生形变时，会使得可动电极的发生较大的形变量，造成可动电极相对于固定电极发生较大的位移，导致叉指电容的电容值发生较大变化，能够有效提高电容式压力传感器的测量灵敏度
电容压力传感器压力测量电路

[发明专利]一种真空电容器-CN201811321474.0有效
发明人：江庆洋;江宜哲 -专利权人：广州金立电子有限公司
申请日： 2018-11-07 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： H01G5/011 文献下载
摘要：本发明涉及真空电容领域，提供一种真空电容器，用于提高电容的使用寿命问题。本发明提供的一种真空电容器，包括固定电极、可动电极、可动电极轴和外壳；所述的可动电极同可动电极轴连接，所述的可动电极轴同外壳内部的顶部和底部连接，所述的固定电极设置在外壳内部。采用新式的固定电极，电极的温度可以得到有效的控制，电容的能量效率有了一定的提高，可以显著增加电容的使用寿命。
一种真空电容器

[发明专利]一种电容式微机械器件及其操作方法-CN201811303385.3在审
发明人：张剑锋 -专利权人：杨荣彬
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2019-01-25 - 主分类号： G01D5/241 文献下载
摘要：本发明公开了一种电容式微机械器件及其操作方法，包括固定于锚点的机械结构，通过可动电极弹簧固定于可动电极锚点的第一可动电极、第二可动电极，和固定的用于改变第一可动电极、第二可动电极状态的可动电极驱动电极。其中，可动电极弹簧的初始状态中，直量与水平方向呈一个夹角，第一可动电极、第二可动电极与机械结构之间构成了第一检测电容、第二检测电容，二者在机械结构形变的过程中会发生变化，当第一检测电容增大时第二检测电容减小本发明还公开了一种电容式微机械器件的操作方法。本发明通过可动电极结构在相同工艺条件下实现更小的检测电容间隙，从而提高检测电容的变化量。
可动电极机械结构检测电容电容机械器件第二检测形变锚点差分检测弹簧固定电容减小工艺条件驱动电极变化量固定的弹簧

[发明专利]用于单轴精密加速度计的差分微电容及其制备方法-CN201110298158.8有效
发明人：汪红;何明轩;刘瑞鸿;冯建智;陈欣;丁桂甫;赵小林 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2011-09-28 - 公布日： 2012-05-02 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：一种用于单轴精密加速度计的差分微电容及其制备方法，所述微电容包括上电极、可动电极、下电极，上电极和可动电极通过柱子与下电极保持悬空，上下电极均采用等位环保护，可动电极通过柱子悬空且采用弹簧作为柔性支撑，上下电极和可动电极均采用圆形电极，每个电极均有信号引出接入到信号电路中，可动电极和上下电极分别组成两个差分电容。差分微电容采用标准的MEMS工艺中的光刻、溅射、电镀、腐蚀等技术来实现的。上电极和可动电极的悬空采用牺牲层技术来实现的。本发明中，三个电极构成差分电容，工作时，一个电容值增大，另一个电容值等值减小，通过信号处理，输出值直接反映了检测量的大小，达到检测加速度的目的。
用于精密加速度计差分微电容及其制备方法

[发明专利]微机电系统(MEMS)可变电容器装置及相关方法-CN201810168509.5有效
发明人：亚瑟·S·莫里斯;达娜·德雷乌斯;诺里托·巴伊坦 -专利权人：维斯普瑞公司
申请日： 2013-09-20 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： H01G5/16 文献下载
摘要：用于微机电系统(MEMS)可调电容器的系统，设备和方法，所述电容器包括附着到基底的固定驱动电极，附着到所述基底的固定电容电极；以及定位在所述基底上方并相对于所述固定驱动电极和所述固定电容电极移动的活动部件所述活动部件包括：定位在所述固定驱动电极上方的可动驱动电极和定位在所述固定电容电极上方的可动电容电极。所述可动电容电极的至少一部分以第一间隙与所述固定电容电极间隔开，以及所述可动驱动电极以大于所述第一间隙的第二间隙与所述固定驱动电极间隔开。
微机系统 mems 可变电容器装置相关方法

[发明专利]微机电系统(MEMS)可变电容器装置及相关方法-CN201380060719.8有效
发明人：亚瑟·S·莫里斯;达娜·德雷乌斯;诺里托·巴伊坦 -专利权人：维斯普瑞公司
申请日： 2013-09-20 - 公布日： 2018-04-03 - 主分类号： H01G5/16 文献下载
摘要：用于微机电系统(MEMS)可调电容器的系统，设备和方法，所述电容器包括附着到基底的固定驱动电极，附着到所述基底的固定电容电极；以及定位在所述基底上方并相对于所述固定驱动电极和所述固定电容电极移动的活动部件所述活动部件包括定位在所述固定驱动电极上方的可动驱动电极和定位在所述固定电容电极上方的可动电容电极。所述可动电容电极的至少一部分以第一间隙与所述固定电容电极间隔开，以及所述可动驱动电极以大于所述第一间隙的第二间隙与所述固定驱动电极间隔开。
微机系统 mems 可变电容器装置相关方法

[实用新型]一种变面积电容式压力传感器-CN202221800214.3有效
发明人：周浩楠;王飞龙;李宋;张亚婷 -专利权人：北京智芯传感科技有限公司
申请日： 2022-07-13 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种变面积电容式压力传感器，电容式压力传感器包括：衬底、可动薄膜、叉指电容固定电极、叉指电容可动电极、柱形连接体、方形可动梁。衬底上设置有空腔；可动薄膜设置在衬底的空腔的上部，可动薄膜与衬底固定连接。叉值电容固定电极设置在空腔底部，叉指电容可动电极设置在方形可动梁下部，叉指电容固定电极与叉指电容可动电极交叉且位于同一平面上，可动薄膜中心位置处柱形连接体上部与可动薄膜固定连接，柱形连接体下部与方形可动梁连接本实用新型能够有效提高电容式压力传感器的测量线性度，为压力计等消费电子领域及多种工业的压力检测提供新的压力传感器解决方案。
一种面积电容压力传感器

[发明专利]可变电容器及其制造方法-CN200480042925.7有效
发明人：岛内岳明;今井雅彦;中谷忠司 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2004-05-31 - 公布日： 2007-04-11 - 主分类号： H01G5/011 文献下载
摘要：将具有两端侧的线路部(35a、35a)和中央侧的电容器部(35b)的下部可动电极(35)以及具有两端侧的线路部(37a、37a)和中央侧的电容器部(37b)的上部可动电极(37)配置成使电容器部(35b、37b)对置，与下部可动电极(35)和上部可动电极(37)电隔离地设置驱动下部可动电极(35)的下部可动电极用致动器(27a、27b、27c、27d)和驱动上部可动电极(37)的上部可动电极用致动器(29a、29b、29c、29d)的驱动电极。利用这些致动器(27a～27d和/或29a～29d)使下部可动电极(35)和/或上部可动电极(37)移动，调整两电容器部(35b、37b)间的距离来控制静电电容。
可变电容器及其制造方法

[发明专利]一种薄膜式电容传感器-CN201911212861.5有效
发明人：郜晨希;王迪;林琳;刘瑞琪;郑旭;远雁;李超波 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：一种薄膜式电容传感器，包括陶瓷定电极、定电极连接环、外壳、外壳上盖、压紧环、调节环和膜片动电极，其中：陶瓷定电极作为电容极板，与膜片动电极组成可变电容，用于检测和输出被测环境压力变化；定电极连接环用于连接陶瓷定电极和薄膜式电容传感器的外壳；外壳位于传感器的最外侧，起到支持作用；外壳上盖焊接到外壳上，用于密封薄膜式电容传感器和压紧定电极连接环；压紧环用于压紧定电极连接环，防止陶瓷定电极滑动；调节环用于作为膜片动电极与陶瓷定电极之间的电容间距；膜片动电极作为电容极板，和陶瓷定电极组成可变电容，当外界压力变化时，膜片受力变形，导致其于陶瓷定电极间距发生变化，从而产生电容变化。
一种薄膜电容传感器

[发明专利]传感器及其制造方法-CN201510518658.6有效
发明人：池桥民雄 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2015-08-21 - 公布日： 2018-11-30 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：所述传感器包括：基板；第一固定电极，其被布置在所述基板上；可动电极，其被布置在所述第一固定电极之上并且能非平行地移动；第二固定电极，其被布置在所述可动电极之上。所述传感器还包括检测器，所述检测器用以检测第一电容与第二电容之间的差，其中，所述第一电容是所述第一固定电极与所述可动电极之间的电容，所述第二电容是所述可动电极与所述第二固定电极之间的电容。
传感器及其制造方法

[实用新型]一种基于电容边缘效应的力矩传感器-CN201720635055.9有效
发明人：潘海鸿;罗国树;陈琳 -专利权人：广西安博特智能科技有限公司
申请日： 2017-06-02 - 公布日： 2018-04-03 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于电容边缘效应的力矩传感器，它由传感器外圈、梯形梁、传感器内圈、感应电容的动电极、感应电容的静电极和基板组成。其中，感应电容的静电极与基板连接并垂直感应电容的动电极，位于感应电容的动电极最外端，且感应电容的静电极沿传感器轴向放置即垂直基板，构成基于电容边缘效应的电容器。基板与传感器外圈连接，可调节其相对位置改变感应电容的动电极和感应电容的静电极间的初始间距，实现传感器量程和灵敏度的可调节。本实用新型提供了一种基于电容边缘效应的力矩传感器，感应电容的静电极垂直分布在感应电容的动电极最大变形处，该设计具有高灵敏度、高线性度和可调节量程、灵敏度等特点，能够快速准确实现力矩检测。
一种基于电容边缘效应力矩传感器

[发明专利]微重力加速度级电容式加速度传感器-CN200310106002.0无效
发明人：周再发;黄庆安;茅盘松 -专利权人：东南大学
申请日： 2003-10-08 - 公布日： 2004-09-15 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于微电子机械的微重力加速度级电容式加速度传感器，由支撑边缘，由电容动极板及电容定极板构成的电容器和质量块组成，在支撑边缘和电容器上均设在锚区，设在支撑边缘上的锚区通过悬臂梁与设在电容器上的锚区相连，电容器动极板由浓硼重掺杂可动下电极和多晶硅可动上电极组成，在浓硼重掺杂可动下电极和多晶硅可动上电极之间设有可动极板锚区，电容定极板固定与支撑边缘上并位于浓硼重掺杂可动下电极和多晶硅可动上电极之间，质量块为多晶硅质量块并设在浓硼重掺杂可动电极上本发明减小质量块的质量，但不改变敏感电容的大小，采用简单的加工工艺，多晶硅固定电极刚度就能满足传感器闭环控制的需要。
重力加速度电容加速度传感器

[发明专利]一种适用于力矩检测的差动式电容传感器-CN201710415670.3在审
发明人：陈琳;罗年景;潘海鸿;罗国树;莫超亮 -专利权人：广西大学
申请日： 2017-06-05 - 公布日： 2017-12-01 - 主分类号： G01L3/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于力矩检测的差动式电容传感器，至少包括力矩输入盘、力矩输出盘、若干梯形梁、一对感应电容的动电极、一对感应电容的静电极和基板。一对感应电容的动电极分别位于力矩输入盘的外环和力矩输出盘的内环之间且与力矩输入盘的外环固连为一体；一对感应电容的静电极分别位于对应感应电容的动电极同一侧，且与对应感应电容的动电极保留有一定间隙；感应电容的动电极与感应电容的静电极组成差动式结构垂直电极型电容器本发明提出的差动式电容传感器具有较好的灵敏度、较小的线性误差以及较好的抗干扰能力，此外大大提高了传感器的线性度；本发明可采用常规机械加工来实现，制造简单，适用于检测串联型机器人关节传递的力矩。
一种适用于力矩检测差动电容传感器

[实用新型]一种适用于力矩检测的差动式电容传感器-CN201720643311.9有效
发明人：陈琳;罗年景;潘海鸿;罗国树;莫超亮 -专利权人：广西大学
申请日： 2017-06-05 - 公布日： 2018-04-27 - 主分类号： G01L3/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于力矩检测的差动式电容传感器，至少包括力矩输入盘、力矩输出盘、若干梯形梁、一对感应电容的动电极、一对感应电容的静电极和基板。一对感应电容的动电极分别位于力矩输入盘的外环和力矩输出盘的内环之间且与力矩输入盘的外环固连为一体；一对感应电容的静电极分别位于对应感应电容的动电极同一侧，且与对应感应电容的动电极保留有一定间隙；感应电容的动电极与感应电容的静电极组成差动式结构垂直电极型电容器本实用新型提出的差动式电容传感器具有较好的灵敏度、较小的线性误差以及较好的抗干扰能力，此外大大提高了传感器的线性度；本实用新型可采用常规机械加工来实现，制造简单，适用于检测串联型机器人关节传递的力矩。
一种适用于力矩检测差动电容传感器

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条