[发明专利]微机电系统(MEMS)可变电容器装置及相关方法有效

专利信息
申请号: 201810168509.5 申请日: 2013-09-20
公开(公告)号: CN108281286B 公开(公告)日: 2020-04-07
发明(设计)人: 亚瑟·S·莫里斯;达娜·德雷乌斯;诺里托·巴伊坦 申请(专利权)人: 维斯普瑞公司
主分类号: H01G5/16 分类号: H01G5/16
代理公司: 北京金信知识产权代理有限公司 11225 代理人: 黄威;邓玉婷
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 用于微机电系统(MEMS)可调电容器的系统,设备和方法,所述电容器包括附着到基底的固定驱动电极,附着到所述基底的固定电容电极;以及定位在所述基底上方并相对于所述固定驱动电极和所述固定电容电极移动的活动部件。所述活动部件包括:定位在所述固定驱动电极上方的可动驱动电极和定位在所述固定电容电极上方的可动电容电极。所述可动电容电极的至少一部分以第一间隙与所述固定电容电极间隔开,以及所述可动驱动电极以大于所述第一间隙的第二间隙与所述固定驱动电极间隔开。
搜索关键词: 微机 系统 mems 可变电容器 装置 相关 方法
【主权项】:
1.一种微机电系统可变电容器,包括:附着到基底的固定驱动电极;附着到所述基底的固定电容电极;以及定位在所述基底上方并相对于所述固定驱动电极和所述固定电容电极能在“打开”状态和“闭合”状态之间移动的活动部件,在所述“打开”状态下所述活动部件与基底间隔开,在所述“闭合”状态下所述活动部件向基底移动,所述活动部件包括:定位在所述固定驱动电极上方的可动驱动电极;定位在所述固定电容电极上方的可动电容电极;以及其中,当所述活动部件处于所述“打开”状态时,所述可动电容电极的至少一部分以第一间隙与所述固定电容电极间隔开;其中,当所述活动部件处于所述“打开”状态时,所述可动驱动电极以大于所述第一间隙的第二间隙与所述固定驱动电极间隔开;以及其中,所述第一间隙和所述第二间隙的尺寸之间的差小于或者等于所述第二间隙的尺寸的四分之一。
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  • 本主题涉及用于对MEMS装置中的静电致动的隔离以减少或最小化介电充电的装置、系统和方法。一种可调谐部件可以包括固定致动电极,其定位在基板上;可动致动电极,其承载在悬置于基板上方的可动部件上;一个或多个隔离凸起,所述一个或多个隔离凸起定位在固定致动电极与可动致动电极之间;以及固定隔离着落部,其被隔离在固定致动电极的在一个或多个隔离凸起中的每一个隔离凸起处、在每一个隔离凸起附近、和/或与每一个隔离凸起大致对齐的部分内。在该布置中,可动致动电极可以选择性地朝向固定致动电极移动,但一个或多个隔离凸起可以防止固定致动电极与可动致动电极之间的接触,且固定隔离着落部可以抑制在隔离凸起中产生电场。
  • 一种薄膜电容器-201620888063.X
  • 吴飞;黄丽;吴翔 - 吴飞
  • 2016-08-10 - 2017-05-31 - H01G5/16
  • 本实用新型公开了一种薄膜电容器,包括箱体(1)和设置在箱体上的进水管(8)和排水管(5);箱体内设有2块电极基板(2);分别为上基板和下基板;电极基板与外部的调压电路相连;薄膜电容器还包括基板间隙调节机构;基板间隙调节机构包括推板(9)、螺杆(11)和蝶形螺帽(12);上基板固定在箱体内腔的顶侧;下基板为活动式基板,下基板固定在推板上,推板设置在箱体内腔的底侧;推板与箱体的底板之间设有拉簧(10);螺杆的下端与蝶形螺帽相连;螺杆的上端穿过箱体底板上的螺孔与推板相接触;该薄膜电容器能灵活调节基板间隙以改变电容大小,灵活性好,且采用交换膜实现重离子的滤除,净化效率高。
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