“北京智芯传感科技有限公司”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果28个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种防止金属淀积短路的MEMS工艺结构-CN202321246086.7有效
发明人：周浩楠;李宋;张亚婷 -专利权人： 北京智芯传感科技有限公司
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种防止金属淀积短路的MEMS工艺结构，所述结构包括顶层结构、键合锚点、阻挡半墙和衬底；所述顶层结构在衬底上方，通过键合锚点键合加工，所述衬底上包含键合锚点和阻挡半墙，所述衬底、键合锚点和阻挡半墙为同一块材料刻蚀形成，所述顶层结构与衬底在电学上结构上不导通。阻挡半墙的存在可防止金属淀积过程中，金属粒子反弹粘附于顶层结构和键合锚点的结合处，造成顶层结构与衬底间的短路，极大提升产品良率。
一种防止金属短路 mems 工艺结构

[发明专利]一种高瞬发度可反应复合薄膜换能元-CN202210798559.8有效
发明人：周浩楠;张良;李宋;张亚婷 -专利权人： 北京智芯传感科技有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： F42B3/13 文献下载
摘要：本发明提供了一种高瞬发度可反应复合薄膜换能元。本发明的高瞬发度可反应复合薄膜换能元，由下向上依次包括基底、绝缘层、单晶硅桥、粘附层、金属焊盘、隔离层、可反应复合薄膜，所述基底的上表面有绝缘层，绝缘层上表面为单晶硅层，单晶硅层的中间部分刻蚀形成单晶硅桥，单晶硅桥两侧的金属硅层上表面均设置粘附层和金属焊盘，金属焊盘、单晶硅桥的上方覆盖隔离层，隔离层上方沉积可变调制周期的可反应复合薄膜。本发明通过控制可反应复合薄膜的调制周期的厚度变化实现可反应复合薄膜的能量逐级释放，通过隔离层的厚度设计可以使单晶硅桥的热转换积聚，最终提升可反应复合薄膜的化学反应速率，实现点火功能的高瞬发度特性。
一种高瞬发度可反应复合薄膜换能元

[发明专利]一种MEMS表压传感器及其制备方法-CN202310344749.7在审
发明人：周浩楠;王齐;陈广忠;张亚婷 -专利权人： 北京智芯传感科技有限公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01L9/04 文献下载
摘要：本发明的提供了一种MEMS表压传感器及其制备方法，包括硅片、压敏电阻、应变膜、金属引线；所述硅片含有顶硅层、底硅层、空腔及气路通孔，空腔位于硅片下方位置，即顶硅层内部；气路通孔贯穿硅片正反面，空腔是上方是应变膜；在应变膜上共有四个压敏电阻，四个压敏电阻构成惠斯通电桥，用金属导线引出。通过在传感器芯片上制造与大气相通的气路孔，改善传感器的应力变形，粘片困难等问题，同时无需通过封装结构实现双气嘴朝上，减少封装成本，从而达到表压传感器测量更准确的效果。
一种 mems 传感器及其制备方法

[发明专利]一种基于热瞬态测试的MEMS换能元性能检测方法-CN202310827348.7有效
发明人：周浩楠;李宋;张亚婷 -专利权人： 北京智芯传感科技有限公司
申请日： 2023-07-07 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G01R27/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于热瞬态测试的MEMS换能元性能检测方法。步骤如下：测试MEMS换能元电阻率随温度的变化；常温下测试MEMS换能元的热瞬态检测；基线漂移的纠正；电信号时域处理；装配做功对象热瞬态检测B；差值C的分布正态性检验；升降法确认MEMS换能元敏感度；贝叶斯估计‑后验分布；热瞬态贝叶斯模型验证，确定正确性。区别于传统的火工品检测办法，该方法考虑了MEMS换能元的自身电热特性和桥药界面的热阻，从系统体系上完善了MEMS火工品的电热特征变化，此外，引入了贝叶斯估计完善了热瞬态与点火结果的概率模型，可以表征热瞬态对实际点火时间的影响概率。
一种基于瞬态测试 mems 换能元性能检测方法

[发明专利]一种挡板自切换式流量计-CN202310523740.2在审
发明人：周浩楠;赵晓东;陈广忠;张亚婷 -专利权人： 北京智芯传感科技有限公司
申请日： 2023-05-10 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G01F1/42 文献下载
摘要：本发明提供了一种挡板自切换式流量计，包括切换挡板、分流管、流量模组Ⅰ和流量模组Ⅱ；切换挡板由活动件、固定件、轴承组成，活动件与固定件通过轴承连接，分流管是口径相同的三通管，切换挡板内置于分流管其中一个口径内，分流管与主管路、流量模组Ⅰ和流量模组Ⅱ相连接；流量模组Ⅰ流量模组Ⅱ与由管道、节流件、MEMS压力传感器和信号接口构成。MEMS压力传感器分别置于节流件的中心位置，感应管道内的压力变化，并将压力差信号转换为流量信号；两个节流件上分布孔径大小不同的通孔，防止压损过大，提升MEMS压力传感器的分辨力。与现有的流量计相比，具有压损小、功耗低、精度高和体积小的优势。
一种挡板切换流量计

[发明专利]一种高精度超低压传感器-CN202310350168.4在审
发明人：周浩楠;赵晓东;陈广忠;王齐;张亚婷 -专利权人： 北京智芯传感科技有限公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G01L13/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种高精度超低压传感器，包括压力传感器核心芯片，专用集成电路，电路板和封装结构。压力传感器核心芯片和专用集成电路集成于同一块电路板；封装结构包含外壳、挡板和密封圈。外壳上端设有两个气嘴。电路板和挡板与外壳形成腔体A和腔体B，两个气嘴分别与两个腔体连通，压力传感器核心芯片置于腔体A内，专用集成电路置于腔体B内。密封圈确保腔体的密封性；导压孔分布在挡板上，将两个密封腔体连通，既不影响流体的流速，同时能产生压力差，为压力传感器提供压力敏感信号，提高传感器的分辨力；电路板内部开设长通孔，确保流体流量的稳定运行。与现有超低压传感器相比，功耗低、成本低、精度高和易集成。
一种高精度低压传感器

[实用新型]一种智能蓝牙通讯MEMS气体压力传感器模组-CN202320710403.X有效
发明人：周浩楠;王涛;陈广忠;张亚婷 -专利权人： 北京智芯传感科技有限公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： A61M16/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种智能蓝牙通讯MEMS气体压力传感器模组，由MEMS气体压力采集单元、智能校正与监测报警专用芯片、记录存储、时钟单元和低功耗蓝牙通讯单元组成。采用纽扣电池供电，使硬件部分体积小、重量轻、功耗低，可以直接嵌入呼吸面罩上使用。更贴近气体输出源，可以减小监测的干扰因素。智能校正与监测报警专用芯片对采集到的数据客观存偏差进行自动校准，保证监测到的气压值准确性。对气压值的采集可以进行采集，进行分析对比，达到限制值时主动发起报警。在无法通讯的环境下，能够自动将气压记录存储等到通讯恢复后上传数据。采用低功耗蓝牙通讯不仅携带方便，更适合家庭环境中在手机APP上采集管理数据。
一种智能蓝牙通讯 mems 气体压力传感器模组

[发明专利]一种差压传感器及其制备方法-CN202310226441.2在审
发明人：周浩楠;冯艳露;李宋;张亚婷 -专利权人： 北京智芯传感科技有限公司
申请日： 2023-03-09 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G01L13/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种差压传感器及其制备方法。本发明的差压传感器包括:衬底结构，感压膜片，空腔结构，通气沟道，压阻电阻和电极引出接口。本发明的差压传感器采用刻蚀工艺形成空腔及通气沟道，使感压膜片通过通气沟道从衬底侧面感知外界压力，既解决了封装时衬底背面要预留粘片尺寸与传感器体积会变大的矛盾，又避免了感压膜片因变形过大而破裂的问题，减少了制作成本与流片周期。同时，通过采用SOI硅片减薄形成感压膜片及干法刻蚀工艺形成空腔，使制作出的膜片厚度及尺寸偏差小，远低于传统的差压传感器从背面腐蚀形成膜片的工艺偏差，且膜片表面形貌平整，与传统的差压传感器相比，体积小、抗过载能力强，成本低、精度高。
种差传感器及其制备方法

[发明专利]一种二总线的通信方法、装置、设备及存储介质-CN202310491173.7有效
发明人：周浩楠;侯文博;李宋;丁志杰;李伟辰;张亚婷 -专利权人： 北京智芯传感科技有限公司
申请日： 2023-05-05 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H04L12/40 文献下载
摘要：本发明涉及二总线通信技术领域，具体提供一种二总线的通信方法、装置、设备及存储介质，旨在解决二总线长距离、多节点带载下通信能力变差或者不能通信的问题。为此目的，本发明提供的方法包括在发送下行数据后，设置接收窗口期，在接收窗口期内控制总线功耗，使得反馈电流可以传递到总线控制器，再经过采样和放大处理，得到理想数据信号。通过上述方法，使得二总线通信距离和节点带载量显著增加。
一种总线通信方法装置设备存储介质

[实用新型]一种量程自切换式流量计-CN202223093675.4有效
发明人：周浩楠;赵晓东;陈广忠;张亚婷 -专利权人： 北京智芯传感科技有限公司
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01F7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种量程自切换式流量计，包括流量测试模组A、流量测试模组B和切换模块；其中流量测试模组A由管道A、节流板A、MEMS差压传感器组成，流量测试模组B由管道B、节流板B、MEMS差压传感器组成，切换模块包括电机、阀门、控制电路，控制电路根据流量实时切换阀门选择对应管道实现流体流量测试。在同时满足流量测量范围和压损指标要求的基础上，通过实时监测流体流量，自动切换流量测量模组通道，实现流体流量的精确测量。与现有的各种类型流量计相比，在相同测量精度等级要求下，量程自切换式流量计既满足压损要求，又拓宽了流量计的工作量程范围，使其应用领域得到扩展。
一种量程切换流量计

[发明专利]一种基于硅通孔技术的高安全电流集成半导体桥芯片-CN202211303733.3在审
发明人：周浩楠;张良;李宋;张亚婷 -专利权人： 北京智芯传感科技有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： F42B3/13 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于硅通孔技术的高安全电流集成半导体桥芯片，包括：焊盘层、半导体桥层、隔离层、硅基体、分流层、热沉和硅通孔。焊盘层位于芯片最顶层，并联半导体桥层和分流层；下一层为半导体桥层；隔离层有两处；分流层通过硅通孔并联到半导体桥层；热沉使分流层产生的热量尽快导入外界连接器件。本发明一种基于硅通孔技术的高安全集成半导体桥芯片，分流层额定功率的大小对电流进行筛选，低于额定功率以下的电流会被消耗，达到一定的值后分流层断路，并且半导体桥分流的占比可以通过半导体桥和分流层电阻比值进行调整，使分流层先热，半导体桥层后热，使得火工品更安全，且器件集成化更高、体积更小、更易装配。
一种基于硅通孔技术安全电流集成半导体芯片

[发明专利]一种单片集成MEMS差压流量计及其制备方法-CN202111503329.6有效
发明人：张威;赵晓东;周浩楠 -专利权人： 北京智芯传感科技有限公司
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： G01F1/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种单片集成MEMS差压流量计及其制备方法。本发明的单片集成MEMS差压流量计包括：MEMS差压芯片，节流器和电极信号接口，其中MEMS差压芯片的内部集成应力感应薄膜，压阻式应力敏感电桥和应力腔；节流器与MEMS差压芯片为一体，节流器上分布有多个函数孔，流体通过函数孔时，使节流器前后段产生应力差。本发明的单片集成MEMS差压流量计，在同一硅片上同时实现了MEMS差压芯片、节流器、电极信号接口的设计及制备，与传统的差压流量计相比，既避免了MEMS差压芯片与节流器集成所带来的噪声和尺寸的影响，又有效利用了差压流量计原有的测量优势，使器件具有集成度高、成本低、体积小的特点。
一种单片集成 mems 流量计及其制备方法

[实用新型]一种压力传感器-CN202222368291.2有效
发明人：周浩楠;冯艳露;丁山;李宋;张亚婷 -专利权人： 北京智芯传感科技有限公司
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G01L9/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种压力传感器。本实用新型的压力传感器包括:衬底结构，感压膜片，密闭空腔结构，压阻电阻，电极信号接口和高浓度硼连接区。本实用新型的压力传感器采用半桥电路进行压力信号与电信号的转换，三个电极位于传感器的一端，封装简单便于用户安装使用。整体结构只有电极信号接口处覆盖金属，压阻电阻与电极信号接口之间采用高浓度硼进行连接，与传统的压力传感器相比，极大地减少了金属面积，制作材料安全，体积小、精度高，可放置在医用导管中进入体内进行压力测量，在医学领域中具有很好的发展前景。
一种压力传感器

[实用新型]一种变面积电容式压力传感器-CN202221800214.3有效
发明人：周浩楠;王飞龙;李宋;张亚婷 -专利权人： 北京智芯传感科技有限公司
申请日： 2022-07-13 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种变面积电容式压力传感器，电容式压力传感器包括：衬底、可动薄膜、叉指电容固定电极、叉指电容可动电极、柱形连接体、方形可动梁。衬底上设置有空腔；可动薄膜设置在衬底的空腔的上部，可动薄膜与衬底固定连接。叉值电容固定电极设置在空腔底部，叉指电容可动电极设置在方形可动梁下部，叉指电容固定电极与叉指电容可动电极交叉且位于同一平面上，可动薄膜中心位置处柱形连接体上部与可动薄膜固定连接，柱形连接体下部与方形可动梁连接。本实用新型能够有效提高电容式压力传感器的测量线性度，为压力计等消费电子领域及多种工业的压力检测提供新的压力传感器解决方案。
一种面积电容压力传感器

[发明专利]一种差分电容压力传感器-CN202210923420.1在审
发明人：周浩楠;何长运;李宋;张亚婷 -专利权人： 北京智芯传感科技有限公司
申请日： 2022-08-02 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种差分电容式压力传感器，属于微电子技术领域。上下移动电极通过凸起圆柱体与承压薄膜连接，并分别与上下固定电极组成了可变电容，固定电极与承压薄膜之间通过环形绝缘层连接。本发明的压力传感器，通过差分电容结构，提高了器件的灵敏度，上、下移动电极中分别含有狭缝结构，提高移动电极刚性的同时，利用凸起圆柱体连接承压薄膜，改变了传统电容压力传感器由于电极非均匀变形带来的非线性，提高了器件的线性度。
种差电容压力传感器

1
2
下一页»
尾页
共 28 条