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[实用新型]一种电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的设备-CN201320745551.1有效
发明人：王登科;安广野;姜大川;郭校亮;谭毅 -专利权人：青岛隆盛晶硅科技有限公司
申请日： 2013-11-22 - 公布日： 2014-04-23 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本实用新型属于冶金熔炼领域，特别涉及一种电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的设备，该设备包括电子束熔炼组件和铸锭耦合组件，电子束熔炼组件包括安装于炉体内上部的水冷传输带，该水冷传输带一侧的炉体壁上设置有加料装置，该加料装置的出料口位于水冷传输带上方，该水冷传输带另一侧向下倾斜并设有导流口，该水冷传输带顶部炉体上固定安装有熔炼用电子枪和辐射用电子枪；铸锭耦合组件包括铸锭装置，铸锭装置位于水冷传输带下方，且水冷传输带的导流口位于铸锭装置的石英坩埚中心的正上方，本实用新型首次提出了电子束熔炼除氧的设备，实现了电子束除氧的效果，同时结合铸锭耦合，降低了铸锭加热原料所需的能耗，大大提高了生产效率。
一种电子束熔炼多晶铸锭耦合设备

[发明专利]多电子束聚焦装置和控制方法-CN202010812526.5在审
发明人：尹华碧 -专利权人：深圳市奥谱太赫兹技术研究院
申请日： 2020-08-13 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种多电子束聚焦装置和控制方法，所述多电子束聚焦装置包括用以产生电子束的热或冷场发射阴极电子源和栅极、电子束分束的分束器、提高电子束能量的加速透镜、提高电子束质量的消相差透镜、对各电子束束斑的高分辨物镜阵列、对电子束位置进行微调的电子束偏转器以及控制电子束通过的束闸，以便于对电子束的精准控制，因此在相同面积的圆晶上可以容纳数量更多的电子束实现同时曝光，提高了集成电路加工应用中的精度和速度。
电子束聚焦装置控制方法

[实用新型]一种单级聚焦微焦点X射线管-CN202220904910.2有效
发明人：孔文文;王刘成;张伟;仇小军 -专利权人：无锡日联科技股份有限公司
申请日： 2022-04-19 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01J35/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种单级聚焦微焦点X射线管，包括阴极单元、真空单元、调中单元、聚焦单元和靶单元，其中，阴极单元用以形成电子束；真空单元用以使微焦点X射线管内部处于真空状态；调中单元用以补偿机械加工、安装过程中非同轴性造成的电子束偏心，偏转腔壳体可拆卸地连接所述阴极腔壳体；聚焦单元用以使电子束聚焦；靶单元，电子束在所述靶单元处形成束斑，辐射出X光线，开放式的结构设计解决了现有封闭式微焦点X射线管无法更换零部件，只能整体更换的问题，使得微焦点
一种聚焦焦点射线

[发明专利]不对称复合膜的制备方法-CN200911000175.8无效
发明人： R·A·哈钦森;H·M·杜;R·塔马基 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2009-12-04 - 公布日： 2010-08-11 - 主分类号： B01D71/04 文献下载
摘要：一种制备不对称膜的方法，包括将含有电子束反应基团的聚合物涂覆在多孔基底膜上以形成涂层；用高能源辐射经涂覆的多孔基底膜；以及将电子束反应基团永久性地接枝到多孔基底膜上以形成填充膜孔隙的涂层。
不对称复合制备方法

[实用新型]一种自屏蔽电子束辐照装置-CN02208449.5无效
发明人：周文振;曹德彰 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2002-03-22 - 公布日： 2003-01-22 - 主分类号： G21F5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自屏蔽电子束辐照装置，该装置利用一个内盛水的水箱、石墨块或掺碳的工程塑料作垃圾靶，使得电子束打在其上产生的电磁辐射本底降低1～2个数量级。整个装置结构简单，安全防护比较容易。
一种屏蔽电子束辐照装置

[实用新型]基于韧致辐射和光核反应双功能靶的99-CN201921354081.X有效
发明人：张宇皓;姜冲 -专利权人：西安迈斯拓扑科技有限公司
申请日： 2019-08-20 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： G21G1/00 文献下载
摘要：本实用新型属于医用放射性诊断核素领域，涉及一种基于韧致辐射和光核反应双功能靶的99Mo生产设备，解决了引入转换靶使得利用电子束生产99Mo的方法韧致辐射效率低的问题。包括电子加速器、靶盒、设置在靶盒内的靶板及冷却系统；靶板为韧致辐射和光核反应双功能靶板，韧致辐射和光核反应双功能靶板为100Mo靶；靶盒上开有能够使电子束进入的开口，电子束进入靶盒直接轰击韧致辐射和光核反应双功能靶，产生99Mo。采用100Mo一体化的韧致辐射和光核反应靶很好地克服了传统的高原子序数钨(W)等转换靶方法中两次对韧致辐射的强烈自衰减，大大提高了99
基于辐射核反应功能 base sup 99

[发明专利]电子束流能量密度分布测量系统及方法-CN201910300519.4有效
发明人：林峰;赵德陈;张磊;郭超;马旭龙 -专利权人：清华大学;天津清研智束科技有限公司
申请日： 2019-04-15 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： G01T1/29 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子束流能量密度分布测量系统及方法，其中，该系统包括：电子束发生偏转聚焦装置用于控制电子束的产生、聚焦和偏转；电子束能量密度测量装置用于测量漏过电子束能量密度测量装置顶部直角缺口的电子束流强度，并记录电子束的偏转信号；控制器用于控制电子束发生偏转聚焦装置产生、聚焦和偏转电子束，同时控制电子束能量密度测量装置采集电子束强度信号和记录电子束偏转信号；数据处理装置用于将电子束流强度信号根据电子束偏转信号构建成二维数据矩阵，以采用二阶微分方法计算获得电子束能量密度分布。该系统简化测量装置的加工，无需假定电子束能量密度圆周对称，也可以准确测量不规则的电子束流能量密度分布。
电子束能量密度分布测量系统方法

[实用新型]一种自屏蔽辐照空气消毒装置-CN202221441487.3有效
发明人：汪洋 -专利权人：四川中科高能科技发展有限责任公司
申请日： 2022-06-09 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： A61L9/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自屏蔽辐照空气消毒装置，包括顶板，所述第一圆杆的外壁上方通过轴承转动相连有横筒，所述第二圆杆的外壁一侧活动相连有第一方块，所述第一方块的底部与一体化屏蔽体的顶部固定连接，所述第一方块的一侧与电子束辐射器的一侧固定连接本实用新型涉及电子束辐照灭菌技术领域，通过定位块、横筒和第二圆杆之间的配合，实现了对电子束辐射器的快速拆卸，整个过程简单快捷不需要借助外界拆卸工具，解决了现有装置在进行工作时不便于将电子束辐射器拆卸下来进行维修和养护
一种屏蔽辐照空气消毒装置

[实用新型]一种侧窗X射线管-CN200620134242.0无效
发明人：田宇纮;林德旭;商颖健 -专利权人：北京普析科学仪器有限责任公司
申请日： 2006-11-02 - 公布日： 2007-12-12 - 主分类号： H01J35/00 文献下载
摘要：本实用新型所述的一种侧窗X射线管，包括外壳、用于发射电子束的阴极灯丝、阳极靶、铍窗。其中阴极灯丝封装于外壳中，阳极靶设置于阴极灯丝的前方，阳极靶面与电子束的方向之间的夹角小于60°，铍窗设置于外壳的侧面上，铍窗所在的位置到电子束焦点连线与电子束之间的夹角为50°～70°。本实用新型所述一种侧窗X射线管的优点在于：X射线的韧致辐射强度可以达到最大值，使得X荧光分析仪器能够满足对三十到四十种元素的测量要求，同时对于仪器检出限的要求较高。
一种射线

[发明专利]电子束辐射方法和设备-CN01800867.4无效
发明人：木我昌宏;中村淳 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2001-04-12 - 公布日： 2002-08-28 - 主分类号： H01J33/00 文献下载
摘要：一种用于电子束辐射的方法和设备(11),其中,三角波发生器(22)用于提供三角波电流给扫描线圈(17),以在第一扫描方向(Y)上移动电子束;方波发生器(21)用于提供方波电流给偏转线圈(16),以在垂直于第一扫描方向(Y)的第二扫描方向(X)上移动电子束;三角波发生器提供的三角波电流被调制,以消除扫描线圈的磁滞效应。此外,相对于三角波电流的峰值,方波电流上升沿被同步并偏移一个预定时期,以便沿第二扫描方向分散电子束路径上的折返点。
电子束辐射方法设备

[发明专利]光刻装置和器件制造方法-CN03110534.3无效
发明人： J·G·吉斯伯特森;P·W·H·德亚格;M·D·尼克尔克 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2003-01-30 - 公布日： 2003-09-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻装置投射，其设有对准传感器，该传感器包括电子束源10，用于提供一入射到基底W的对准标记14上的电子束12；背散射电子检测器16，用于检测从对准标记14背散射出来的电子。对准传感器独立于投射系统和投射辐射，并且为一种离轴对准传感器。
光刻装置器件制造方法

[发明专利]一种金属重防腐用电子束辐射固化涂料-CN201610873468.0有效
发明人：王章忠;陈朝岚;杭祖圣;怀旭;吴玉民;吴刚强;彭叶;郭猛 -专利权人：南京工程学院;江苏宏泰高分子材料有限公司
申请日： 2016-09-30 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： C09D4/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属重防腐用电子束辐射固化涂料，其各组分按以下质量分数配比：齐聚物50‑80％、活性稀释剂0.1‑5％、功能填料1‑10％、防锈染料5‑20％、辅助填料5‑15％，各组分的质量分数之和为本发明的固化涂料采用电子束辐射固化，具有高效节能、环境友好、操作方便等优点，涂层固化深度高，厚度大，与底材之间具有较强的附着力。固化涂料中掺杂导电碳材料，在解决金属重防腐问题的同时避免吸收电子束能量，保证固化效率不受影响。本发明所述涂料具有优异的耐磨性和防腐性能，可用于金属重防腐领域，特别适用于海工重防腐领域。
一种金属防腐用电辐射固化涂料

[发明专利]一种聚焦电子束蒸发源及蒸发镀膜装置-CN201410698963.3在审
发明人：张赛;孙雪平;易文杰;彭立波 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2014-11-28 - 公布日： 2015-05-13 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种聚焦电子束蒸发源及蒸发镀膜装置，蒸发源包括：电子束产生装置：用于产生大束流平行电子束；电子束传输装置：用于使所述大束流平行电子束加速后聚集为汇聚束，并传输到电子束最小束斑位置；蒸发材料输送装置：用于在接收到电子束检测装置的检测信号后将丝状蒸发材料输送到所述电子束最小束斑位置；至少一个电子束检测装置：用于检测经过电子束最小束斑位置之后的发散束。本发明的蒸发源可以根据蒸发速率的不同调整电子束产生装置的功率，进而改变电子束的功率密度；蒸发镀膜装置能保证薄膜生长速率高、均匀性好。
一种聚焦电子束蒸发镀膜装置

[发明专利]一种多电子束中心送丝的电子束加工系统及加工方法-CN201611039005.0有效
发明人：于宝海;谢广亮 -专利权人：沈阳金锋特种设备有限公司
申请日： 2016-11-21 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： B23K15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种多电子束中心送丝的电子束加工系统及加工方法，包括：多个电子束枪和送丝系统，所述电子束枪包括电子束发生系统、电子束加速系统、电子束聚集系统和电子束偏转系统，所述送丝系统包括送丝管和送丝嘴，所述送丝嘴连接于送丝管下部，所述送丝管和送丝嘴设于结构中心轴线上，所述多个电子束枪沿中心轴线圆周平均点阵分布。本发明可以保证电子束在工件表面的各向同性，提高加工工件质量的均匀性，加工过程连续不间断，电子束枪结构与中心送丝结构互不干涉，适用于电子束焊接，电子束熔覆及电子束金属3D打印等电子束加工领域。
一种电子束中心加工系统方法

[实用新型]一种多电子束中心送丝的电子束加工系统-CN201621269220.5有效
发明人：于宝海;谢广亮 -专利权人：沈阳金锋特种设备有限公司
申请日： 2016-11-21 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： B23K15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多电子束中心送丝的电子束加工系统，包括多个电子束枪和送丝系统，所述电子束枪包括电子束发生系统、电子束加速系统、电子束聚集系统和电子束偏转系统，所述送丝系统包括送丝管和送丝嘴，所述送丝嘴连接于送丝管下部，所述送丝管和送丝嘴设于结构中心轴线上，所述多个电子束枪沿中心轴线圆周平均点阵分布。本实用新型可以保证电子束在工件表面的各向同性，提高加工工件质量的均匀性，加工过程连续不间断，电子束枪结构与中心送丝结构互不干涉，适用于电子束焊接，电子束熔覆及电子束金属3D打印等电子束加工领域。
一种电子束中心加工系统