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- [实用新型]一种环形脆性半导体零件加工装置-CN202321136259.X有效
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邓南翔
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无锡沃尼克半导体科技有限公司
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2023-05-12
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2023-09-19
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B28D5/02
- 本实用新型公开了一种环形脆性半导体零件加工装置,涉及到半导体材料加工技术领域,包括底座,底座的顶面安装有承载平台,底座一侧安装有支撑座,支撑座一侧安装有悬置于承载平台上方的钻头组件,承载平台顶面安装有安装座,安装座一侧安装有内托组件,内托组件的环面套设有环形脆性半导体零件,环形脆性半导体零件内侧壁与内托组件环面贴合;本实用新型对环形脆性半导体零件进行开槽钻孔时,由于内托环外侧环面与环形脆性半导体零件的内侧壁紧密贴合,对环形脆性半导体零件各个位置进行支撑,大大降低当刀具对环形脆性半导体零件进行加工时,环形脆性半导体零件破损的概率,实现了非激光且高效率的加工环形脆性半导体零件。
- 一种环形脆性半导体零件加工装置
- [发明专利]制造半导体装置的设备和方法-CN201210067387.3有效
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田中阳子
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富士电机株式会社
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2012-03-06
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2012-09-19
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H01L21/683
- 本发明的目的是提供制造半导体装置的方法和设备,其中半导体晶片在磨薄之后可从卡吸台安全和可靠地被拾取并传送到下一步骤。在本发明的方法和设备中,通过抽吸将半导体晶片正面吸引到卡吸台的附连板表面,半导体晶片背面被磨削以形成具有凹入构造的内部区域,在半导体晶片的外周缘部留下环形加强部。运输具有环形加强部的半导体晶片的流程包括如下步骤:在与半导体晶片保持位置不同的位置从半导体晶片的背面向正面按压半导体晶片,在保持具有环形加强部的半导体晶片之前进行按压半导体晶片的步骤;通过向卡吸台上供应正压来解除半导体晶片正面通过抽吸的附连;解除在与半导体晶片保持位置不同的位置从半导体晶片背面向其正面对半导体晶片的按压;和在保持半导体晶片的同时,从卡吸台拾取具有环形加强部的半导体晶片。
- 制造半导体装置设备方法
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