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- [发明专利]衬底处理方法及衬底处理装置-CN201980061313.9在审
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尾辻正幸;髙桥弘明;加藤雅彦;藤原直澄;山口佑;佐佐木悠太
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株式会社斯库林集团
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2019-07-23
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2021-04-30
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H01L21/304
- 本发明的衬底处理方法对正面具有图案的衬底进行处理,且包含:混合干燥辅助物质供给步骤,将混合干燥辅助物质供给至所述衬底的正面,在所述衬底的正面形成所述混合干燥辅助物质的液膜,所述混合干燥辅助物质由作为无极性物质的干燥辅助物质与具有两亲性的溶剂混合所得,且具有比所述干燥辅助物质的凝固点低的凝固点;凝固膜形成步骤,通过使所述混合干燥辅助物质的液膜中包含的所述干燥辅助物质凝固而形成包含所述干燥辅助物质的凝固膜;及去除步骤,使所述凝固膜中包含的所述干燥辅助物质不经过液体状态地变化为气体而将它从所述衬底的正面去除所述凝固膜形成步骤包含供给液接液步骤,所述供给液接液步骤是使种类与所述干燥辅助物质及所述溶剂不同且为极性物质的供给液接液于所述混合干燥辅助物质的液膜,随着溶入到所述混合干燥辅助物质的所述溶剂从所述混合干燥辅助物质向所述供给液移动而该液膜中的所述干燥辅助物质的浓度上升,从而使所述干燥辅助物质析出,由此形成所述凝固膜。
- 衬底处理方法装置
- [发明专利]组合物-CN97123049.8无效
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E·A·C·特罗发斯特;L·E·布里纳
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阿斯特拉公司
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1994-08-25
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2002-09-04
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A61K31/194
- 本发明涉及一种生产细粒物质或物质混合物的稳定晶型的方法,此物质或物质混合物它在保持吸入其所需气体动力学特性的同时,可被生产、贮存和使用,该方法是a)在使用物质混合物的情况下,制备物质的均匀混合物;b)通过任何常规方法,使物质或物质混合物微粉化、直接沉淀或减小为吸入所需的颗粒大小,颗粒尺寸小于10μm;c)当各物质由步骤b)制成单独的细颗粒时,可以制成或不制成所需物质的均匀混合物;d)通过用含水的汽相以控制方式处理来调节所述物质或物质混合物
- 组合
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