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[发明专利]一种适用于并片非圆车削控制系统的伺服控制方法及系统-CN202111441415.9在审
发明人：张勇;杨伟明;王宇 -专利权人：广东机电职业技术学院
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G05B19/408 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于并片非圆车削控制系统的伺服控制方法，建立并片非圆车削控制系统中的直线电机平台数学模型；进而针对并片非圆车削高精度高速往返切削的特点建立采用三环传递函数；根据并片非圆车削的特殊加工形式在位置环加入速度加速度前馈控制策略和基于并片非圆轮廓车削模型的动力学补偿控制策略；即在位置环控制中加入速度和加速度前馈控制，得到系统控制传递函数；建立基于并片非圆轮廓车削动力学补偿传递函数；建立系统整体传递函数；得到本非圆车削控制系统中负责横向非圆进给车削的直线电机的输出值，本发明有效解决并片非圆车削中对直线电机的高频高速高加速伺服控制难题
一种适用于片非圆车削控制系统伺服控制方法系统

[发明专利]用于将圆片坯料芯装入到圆片坯料环中的方法和设备-CN201480035689.X有效
发明人： S.克内尔;W.霍伊勒;G.哈特尔 -专利权人：许勒压力机有限责任公司
申请日： 2014-06-17 - 公布日： 2017-06-09 - 主分类号： B44B5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于将非圆形的圆片坯料芯(11)装入到圆片坯料环(13)的非圆形的孔(14)中的方法和设备(10)。由此准备提供的圆片坯料(11、13)紧接着进一步运输至压花机。运输装置(20)用于将该圆片坯料环(13)运输到装入部位(22)。输送装置(33)用于将该圆片坯料芯(11)运输到装入部位(22)。在此该圆片坯料芯(11)定位在圆片坯料环(13)的孔(14)处。借助于将压入力(F)施加到圆片坯料芯(11)上的压入装置(43)，将圆片坯料芯(11)装入到孔(14)中。如果非圆形的孔(14)未与非圆形的圆片坯料芯(11)对齐，那么在装入部位处通过压入力(F)的产生引起在圆片坯料芯(11)与圆片坯料环(13)之间的相对扭转。优选地，圆片坯料环(13)由压入力(F)运动到引起圆片坯料环(13)在其周向方向(U)上旋转的对准芯轴(48)上，直至圆片坯料芯(11)和孔(14)的轮廓对齐且圆片坯料芯(11)运动到孔(14)中。
用于将圆片坯料装入到圆片环中方法设备

[实用新型]矫直机-CN201420105880.4有效
发明人：黄锦章 -专利权人：骏凯机械有限公司
申请日： 2014-03-10 - 公布日： 2014-07-30 - 主分类号： B21D3/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种矫直机，包括有一底架、一矫直座、一轨道驱动装置、一矫直驱动装置以及一输入轨道，其中，该矫直座设置在该底架上且包括两矫直片固定柱、多个圆矫直片以及多个非圆矫直片，两该矫直片固定柱设置在该矫直座内，各该圆矫直片套设在其中一矫直片固定柱上，各该非圆矫直片套设在另一矫直片固定柱上，每一非圆矫直片包括至少一长状的微调孔以及一缺口，该轨道驱动装置连动该输出轨道，该矫直驱动装置连动两该矫直片固定柱，该输入轨道设置在该矫直座上且包括一轨道本体，该轨道本体连通于圆矫直片与非圆矫直片之间的空间。
矫直机

[发明专利]一种便于将晶圆片或巴条从黏性薄膜上取下的方法-CN201810018788.7在审
发明人：韩春霞;黄永光;张晓光;李月;屈小妮 -专利权人：河南仕佳光子科技股份有限公司
申请日： 2018-01-09 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种便于将晶圆片或巴条从黏性薄膜上取下的方法，步骤如下：S1，将非黏性薄膜平整地贴到载有晶圆片或者巴条的黏性薄膜上；且非黏性薄膜的尺寸大于待分离的晶圆片或者巴条；S2，利用刀具将贴上非黏性薄膜的黏性薄膜划开，使得部分黏性薄膜与非黏性薄膜在晶圆片或巴条外边缘粘连；S3，将黏性薄膜从晶圆片或者巴条背面卸下来，并用工具将晶圆片或者巴条放到器皿中保存。本发明可以降低晶圆片或者巴条与黏性薄膜分离时的机械损伤，不会对晶圆片或者巴条的外观和性能造成影响的。
黏性薄膜晶圆片巴条取下机械损伤外边缘粘连器皿贴上与非刀具背面平整并用保存

[发明专利]一种采用外驱动的同步回转式压缩机-CN202010168558.6有效
发明人：杨决宽;马旭 -专利权人：东南大学
申请日： 2020-03-11 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： F04C18/356 文献下载
摘要：本发明包括机架，机架上安装一个外驱动轴，所述外驱动轴通过联轴器连接电机，所述外驱动轴上安装一个圆齿轮和一个非圆齿轮，其中所述圆齿轮与共轭圆齿轮啮合，所述共轭圆齿轮安装在转子轴上；所述非圆齿轮与共轭非圆齿轮啮合，所述共轭非圆齿轮通过一个弹性联轴器与气缸轴连接；滑片一端铰接在气缸上，铰接圆与气缸内壁相切，滑片另一端插入转子上的滑片槽中。本发明将滑片侧的摩擦损失降到最低，从而提高滑片的使用寿命和压缩机的能量利用率。
一种采用驱动同步回转压缩机

[实用新型]一种用于晶圆减薄后卸片的装置-CN201721617022.8有效
发明人：苗宏周 -专利权人：西安立芯光电科技有限公司
申请日： 2017-11-28 - 公布日： 2018-06-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提出一种用于晶圆减薄后卸片的装置，不仅杜绝了晶圆N面划痕、卸片粘片现象，降低了晶圆碎片、裂片风险，同时也缩短了卸片时间，提高了卸片综合效率。晶圆的P面通过热剥离膜粘合在玻璃基板，晶圆的N面朝上，该装置包括冷板和非接触加热源，玻璃基板置于冷板上，所述非接触加热源位于晶圆以及玻璃基板的上方、面向晶圆N面。通过非接触远红外加热方式加热晶圆N面，砷化镓晶圆本身不吸收红外光，为全透射。热剥离膜升温速度快，加热均匀，反应充分，完全杜绝晶圆N面划痕及粘片现象，能够显著提高晶圆良率、晶圆卸片效率和砷化镓半导体芯片使用寿命。
晶圆卸片玻璃基板非接触热剥离膜加热源砷化镓划痕减薄冷板粘片红外光半导体芯片本实用新型远红外加热加热均匀晶圆碎片使用寿命综合效率全透射粘合朝上加热良率裂片吸收

[发明专利]一种晶圆封装结构及其制备方法-CN201811113171.X有效
发明人：杨鹏;陈建华;黄攀;严帅帅 -专利权人：苏州科阳光电科技有限公司
申请日： 2018-09-25 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L31/0203 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种晶圆封装结构及其制备方法，其中，所述晶圆封装结构包括晶圆片，包括感光面以及与所述感光面相对设置的非感光面；封装盖板，设置于所述晶圆片感光面一侧，其中所述封装盖板在所述晶圆片所在平面上的垂直投影覆盖所述晶圆片；沟槽结构，形成于所述晶圆片的非感光面。采用上述技术方案，通过设置封装盖板在晶圆片所在平面上的垂直投影覆盖晶圆片，保证晶圆片的边缘不会超出封装盖板的边缘，保证晶圆在拿取转移过程中不会导致晶圆片与其他物体发生撞击，不会发生崩硅及硅裂现象，保证晶圆封装结构完整
一种封装结构及其制备方法

[实用新型]一种晶圆封装结构-CN201821565377.1有效
发明人：杨鹏;陈建华;黄攀;严帅帅 -专利权人：苏州科阳光电科技有限公司
申请日： 2018-09-25 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： H01L31/0203 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种晶圆封装结构，所述晶圆封装结构包括晶圆片，包括感光面以及与所述感光面相对设置的非感光面；封装盖板，设置于所述晶圆片感光面一侧，其中所述封装盖板在所述晶圆片所在平面上的垂直投影覆盖所述晶圆片；沟槽结构，形成于所述晶圆片的非感光面。采用上述技术方案，通过设置封装盖板在晶圆片所在平面上的垂直投影覆盖晶圆片，保证晶圆片的边缘不会超出封装盖板的边缘，保证晶圆在拿取转移过程中不会导致晶圆片与其他物体发生撞击，不会发生崩硅及硅裂现象，保证晶圆封装结构完整
晶圆片封装盖板封装结构晶圆垂直投影所在平面非感光感光面种晶本实用新型感光面相沟槽结构保证覆盖拿取

[发明专利]偏心圆-非圆齿轮行星轮系穴盘苗取苗机构-CN201210293741.4无效
发明人：俞高红;骆春晓;胡海军;俞腾飞;王林伟 -专利权人：浙江理工大学
申请日： 2012-08-17 - 公布日： 2012-12-05 - 主分类号： A01C11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种偏心圆-非圆齿轮行星轮系穴盘苗取苗机构。齿轮箱内的中心非圆齿轮固定在链轮箱上，中心非圆齿轮分别与上、下偏心圆齿轮相啮合，上偏心圆齿轮与上行星非圆齿轮相啮合，下偏心圆齿轮与下行星非圆齿轮相啮合；五个齿轮长轴在初始安装位置位于同一直线上。固定板固接在推苗杆伸出栽植臂壳体外的一端，两片转动片的一端分别铰接在固定板的两侧，两片转动片的另一端分别与各自的取苗片的一端固接，伸出栽植臂壳体外的推苗杆一端固接有V字形推苗爪，取苗片中部嵌在V字形推苗爪的两端槽内，使取苗片的另一端形成与钵苗相同的锥度。
偏心齿轮行星轮系穴盘苗取苗机构

[发明专利]一种非晶硅薄膜的沉积方法及沉积设备-CN201910325601.2在审
发明人：尹勇;王晓龙;陆鸣晔 -专利权人：上海新微技术研发中心有限公司
申请日： 2019-04-22 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： C23C16/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种非晶硅薄膜的沉积方法及沉积设备，其中沉积方法包括：在半导体晶圆片沉积前利用流体喷洗半导体晶圆片，所述流体的喷射压力大于预设压力值；检验喷洗处理后的半导体晶圆片的表面的颗粒，直到所述半导体晶圆片的表面的颗粒数量小于预设数量时，停止所述利用流体喷洗半导体晶圆片的操作；清洗CVD机台沉积腔体，并在所述沉积腔体中沉积预设厚度的非晶硅薄膜，进行覆盖保护；将半导体晶圆片通过CVD机台的传送机构，传入所述沉积腔体进行非晶硅薄膜沉积。
一种非晶硅薄膜沉积方法设备

[实用新型]一种偏心圆-非圆齿轮行星轮系穴盘苗取苗机构-CN201220408910.X有效
发明人：俞高红;骆春晓;胡海军;俞腾飞;王林伟 -专利权人：浙江理工大学
申请日： 2012-08-17 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： A01C11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种偏心圆-非圆齿轮行星轮系穴盘苗取苗机构。齿轮箱内的中心非圆齿轮固定在链轮箱上，中心非圆齿轮分别与上、下偏心圆齿轮相啮合，上偏心圆齿轮与上行星非圆齿轮相啮合，下偏心圆齿轮与下行星非圆齿轮相啮合；五个齿轮长轴在初始安装位置位于同一直线上。固定板固接在推苗杆伸出栽植臂壳体外的一端，两片转动片的一端分别铰接在固定板的两侧，两片转动片的另一端分别与各自的取苗片的一端固接，伸出栽植臂壳体外的推苗杆一端固接有V字形推苗爪，取苗片中部嵌在V字形推苗爪的两端槽内，使取苗片的另一端形成与钵苗相同的锥度。
一种偏心齿轮行星轮系穴盘苗取苗机构

[发明专利]SiC晶圆在线加工方法-CN201711432420.7在审
发明人：朱家从;甘新慧;蒋正勇;张伟民;杨万青;齐从明 -专利权人：无锡华润微电子有限公司
申请日： 2017-12-26 - 公布日： 2019-07-02 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种SiC晶圆在线加工方法，包括如下步骤：获取SiC晶圆，所述SiC晶圆包括正面和相对正面设置的背面；在所述SiC晶圆的背面淀积非透光物质，得到非透光的SiC晶圆；对所述非透光的SiC晶圆的正面进行在线加工处理，得到加工后的SiC晶圆。上述方法通过在SiC晶圆片的背面淀积一层非光物质，能够使SiC晶圆不再透光，保证具有光线传感器的设备可以识别SiC晶圆及其定位边，并且一次淀积就能够保证SiC晶圆片满足后续所有加工工序的需求，有效地提高了SiC晶圆的加工效率。
晶圆在线加工非透光淀积背面晶圆片光线传感器加工工序加工效率正面设置定位边有效地透光保证加工

[发明专利]一种非圆齿轮驱动的同步回转式压缩机-CN201910282616.5有效
发明人：杨决宽;马旭 -专利权人：东南大学
申请日： 2019-04-09 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： F04C18/344 文献下载
摘要：本发明公开了一种非圆齿轮驱动的同步回转式压缩机。外箱体里面设置有压缩机的箱壳，压缩机的箱壳里面设置有气缸，气缸里面设置有转子，气缸轴和转子轴的两端都分别通过轴承支撑在外箱体和压缩机的箱壳上；气缸轴和转子轴不在同一直线上；主传动轴上位于压缩机壳体的两侧分别安装有圆齿轮和非圆齿轮，采用非圆齿轮与共轭非圆齿轮啮合驱动气缸、圆齿轮与共轭圆齿轮啮合来驱动转子或者采用非圆齿轮与共轭非圆齿轮啮合驱动转子、圆齿轮与共轭圆齿轮啮合来驱动气缸，滑片铰接在气缸上，并插入转子上的滑片槽中。本发明解决了同步回转式压缩机滑片负载大、排气容积小、出口压力存在一定脉动的问题。
非圆齿轮圆齿轮压缩机啮合同步回转式主传动轴外箱体气缸箱壳驱动气缸驱动转子轴承支撑转子气缸轴转子轴压缩机滑片压缩机壳体驱动出口压力同一直线滑片槽滑片铰接脉动排气

[发明专利]一种正弦非圆齿轮驱动的六叶片差速泵-CN201410039547.2有效
发明人：陈建能;赵雄;徐高欢 -专利权人：浙江理工大学
申请日： 2014-01-27 - 公布日： 2014-04-30 - 主分类号： F04C2/077 文献下载
摘要：本发明公开了一种正弦非圆齿轮驱动的六叶片差速泵。本发明的动力由电机输出，经过联轴器传给输入轴；第一正弦非圆齿轮和第二正弦非圆齿轮均固定在输入轴上；第一共轭正弦非圆齿轮固定在输出轴上，并与第一正弦非圆齿轮啮合；第二共轭正弦非圆齿轮与第二叶轮通过轴套固结，轴套活套在输出轴上；第二共轭正弦非圆齿轮与第二正弦非圆齿轮啮合；第一叶轮固定在输出轴上；第一叶轮和第二叶轮均设置有三片叶片，所有叶片内部均安装一个单向泄压阀，单向泄压阀方向与叶片转动方向一致。
一种正弦齿轮驱动叶片差速泵

[发明专利]一种正弦非圆齿轮驱动的四叶片差速泵-CN201410039546.8有效
发明人：陈建能;章鹏华;徐高欢 -专利权人：浙江理工大学
申请日： 2014-01-27 - 公布日： 2014-04-30 - 主分类号： F04C2/077 文献下载
摘要：本发明公开了一种正弦非圆齿轮驱动的四叶片差速泵。本发明的动力由电机输出，经过联轴器传给输入轴；第一正弦非圆齿轮和第二正弦非圆齿轮均固定在输入轴上；第一共轭正弦非圆齿轮固定在输出轴上，并与第一正弦非圆齿轮啮合；第二共轭正弦非圆齿轮与第二叶轮通过轴套固结，轴套活套在输出轴上；第二共轭正弦非圆齿轮与第二正弦非圆齿轮啮合；第一叶轮固定在输出轴上；第一叶轮和第二叶轮均设置有两片叶片，所有叶片内部均安装一个单向泄压阀，单向泄压阀方向与叶片转动方向一致。
一种正弦齿轮驱动叶片差速泵

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