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[实用新型]一种用于湿制程设备的盖板组件-CN201120376718.2有效
发明人：杨弘毅;沈洪旗;潘加永;陈建中 -专利权人：库特勒自动化系统（苏州）有限公司;无锡尚德太阳能电力有限公司
申请日： 2011-09-27 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于湿制程设备的盖板组件，包括设置在槽体上用于封闭所述槽体的盖板，所述盖板一侧具有向远离所述槽体一侧隆起形成的空间，所述空间内设置抽风盒，抽风盒内形成抽风空间，所述抽风盒的底部开设与所述槽体内连通的多个抽风孔
一种用于湿制程设备盖板组件

[实用新型]用于湿制程的全覆盖双室喷药设备-CN202121252938.4有效
发明人：张容韶;沈洵;胡清渊 -专利权人：浙江众凌科技有限公司
申请日： 2021-06-04 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： B05B16/40 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于湿制程的全覆盖双室喷药设备，包括相衔接的第一喷药室和第二喷药室，第一喷药室和第二喷药室的中部均开设相连通的工件输送通道，第一喷药室和第二喷药室的上部设置用于朝下喷药的喷洒机构，下部设置用于朝上喷药的喷洒机构
用于湿制程覆盖双室喷药设备

[实用新型]一种壁板连接组件和湿制程设备-CN202222614115.2有效
发明人：张帆;蒋新;施利君 -专利权人：苏州晶洲装备科技有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： F16B5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种壁板连接组件和湿制程设备，属于槽体连接技术领域。将跨桥体依次穿过第二通道孔和第一通道孔并伸出，当液体从第一壁板的一侧流向第二壁板的一侧时，液体通过跨桥体内的第三通道孔实现跨壁流动，液体不会流入第一壁板和第二壁板之间的缝隙内，保证不存在泄漏现象，提高了设备的安全性
一种壁板连接组件湿制程设备

[发明专利]一种锥状开口的FMM电铸母板制作方法-CN201910126607.7在审
发明人：简旭宏;黄俊铭 -专利权人：合肥永淇智材科技有限公司
申请日： 2019-02-20 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： C25D1/10 文献下载
摘要：本发明提供一种锥状开口的FMM电铸母板制作方法，包括：提供一电铸成品的掩模板；将所述掩模板进行双面湿膜涂布或喷涂，填满该掩膜板孔洞；通过曝光对位后，控制光阻成型、显影得到大开口端；使用蚀刻制程贯穿所述大开口端本发明通过双面湿膜涂布或喷涂、曝光对位后，控制光阻成型显影得到所需要的大开口端，然后通过蚀刻制程得到小开口端，即可形成FMM所需要的大小锥形开口。
大开口端小开口端电铸母板曝光对位湿膜涂布蚀刻制程锥状开口控制光掩模板喷涂显影成型孔洞锥形开口掩膜板电铸填满制作开口贯穿

[实用新型]一种PCB板湿制程流水线用的分流盒-CN202022194785.4有效
发明人：耿海洋 -专利权人：苏州旭耀成自动化科技有限公司
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： H05K3/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种PCB板湿制程流水线用的分流盒，包括一分流盒体以及依次设置在分流盒体四周的第一金属弯头、第二金属弯头、第一金属直管与第二金属直管，第二金属弯头连接至调节组件，调节组件包括一调节阀、一第一塑料直管该PCB板湿制程流水线用的分流盒具有控制压力，提高清洗效率，便于分流盒体的泄压，便于拆装及更换操作等优点。
一种 pcb 板湿制程流水线分流

[发明专利]有机电激发光装置及其制作方法-CN200410082482.6无效
发明人：林芠瑄;张俊钦;林国森 -专利权人：胜华科技股份有限公司
申请日： 2004-09-22 - 公布日： 2006-03-29 - 主分类号： H05B33/14 文献下载
摘要：一种有机电激发光装置，主要是于一阳极与一阴极之间设置一由高分子发光材料掺杂至少一种小分子发光材料所形成的光发射层，该发光装置的制法则于成膜作业的前段制作方面(包括光发射层的制作)，以湿式制程为之，据以获得简化制程与成膜因素易于控制的优点
机电激发装置及其制作方法

[发明专利]一种基板固定装置-CN202211686548.7在审
发明人：王本义;刘迟;于宏嘉;戴红峰 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及半导体湿制程工艺领域，具体地说是一种基板固定装置，包括基板固定基座、基板支撑柱及基板升降机构，基板升降机构设置于基板固定基座的下侧。本发明可同时兼顾ESD特性，非常适用于半导体湿制程中使用腐蚀性化学药品相关工艺设备。
一种固定装置

[发明专利]一种腔室压力自动调节控制系统-CN202211687158.1在审
发明人：刘吉东;王本义;邹春太 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及半导体湿制程工艺领域，具体地说是一种腔室压力自动调节控制系统，包括工艺腔室、进风过滤装置及排风装置，还包括控制器、压力传感器A及压力传感器B。本发明通过压力传感器A、控制器与进风过滤装置配合设置形成的闭环反馈调节系统，压力传感器A可实时将检测工艺腔室内部的气压数据传输至控制器，并由控制器控制进风过滤装置相应进行调节，可实现半导体湿制程工艺设备的工艺腔室内压力按需求自动调节
一种压力自动调节控制系统

[发明专利]调湿陶瓷及其制作方法-CN201510960473.0有效
发明人：高思怀;孙常荣;李明国;徐志纬;黄启宾 -专利权人：淡江大学
申请日： 2015-12-18 - 公布日： 2020-01-03 - 主分类号： C04B38/08 文献下载
摘要：本发明提供一种调湿陶瓷及其制作方法。调湿陶瓷由焚化锅炉灰、废弃玻璃及坡缕石混合烧结制成。其中，焚化锅炉灰的用量为5～60wt％，废弃玻璃的用量为10～85wt％，坡缕石的用量为10～60wt％。由此，调湿陶瓷具有较佳的吸湿量、放湿率，并且可避免重金属在制程中流出，而可成功将有害废弃物回收利用，生产高经济价值的环保高性能调湿陶瓷。
调湿陶瓷废弃玻璃坡缕石锅炉废弃物回收混合烧结吸湿量重金属放湿制程流出制作环保成功生产

[发明专利]一种室内环境调控方法及系统-CN202110698800.5有效
发明人：杨将铎;季亮;王秋涧;安宇;胡艺萌;张丽娜 -专利权人：上海市建筑科学研究院有限公司
申请日： 2021-06-23 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： G05D27/02 文献下载
摘要：一种室内环境调控方法，将室内环境参数分为热湿环境参数、光环境参数和空气质量参数，采集该三类环境参数满意度投票样本；根据建立的满意度模型获得环境调控设备的调控参数。满意度模型的建立过程包括，对获得的满意度投票样本进行第一次满意度计算；当出现不满意投票时，按照预设的控制程序对环境调控设备进行调控；在预设控制程序完成后，采集满意度投票样本，进行第二次满意度计算后，多次改变对环境调控设备的控制参数，根据预设的满意度模型进行满意度计算；获取满意度最高的控制参数，对环境调控设备进行微调。
一种室内环境调控方法系统

[发明专利]基于柔性制造的多机台控制优化方法-CN201910843620.4有效
发明人：尤小龙;贺远苗;刘丰洋;邹良栋 -专利权人：中电九天智能科技有限公司
申请日： 2019-09-06 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于柔性制造的多机台控制优化方法，包括以下步骤：面板移栽机接收到面板，BC自动化系统访问制造执行系统获取面板的制法信息，BC自动化系统通过制程机台上报的机况信息确定有效制程机台，并结合面板的制法信息询问有效制程机台获取该面板的制程时间；BC自动化系统按获取的面板制程时间确定送片频率，机械手按送片频率向清洗机传递面板；清洗机接收面板并清洗，清洗机完成清洗指令后反馈给BC自动化系统，BC自动化系统控制机械手从清洗机取出面板并传递到有效制程机台本发明保证多个制程机台和湿式清洗机间的协调高效的生产节奏，大大提升了提升生产效率，以达到同一条生产线中多机台控制的和谐高效连续生产的目的。
基于柔性制造机台控制优化方法

[发明专利]可旋转波纹管装置-CN202211069666.3在审
发明人：王淑梅;刘翠;蒋嘉 -专利权人：盛华基材（天津）科技有限公司
申请日： 2022-09-02 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： F16J15/52 文献下载
摘要：本发明涉及半导体湿制程设备技术领域，特别是一种可旋转波纹管装置，波纹管本体为非金属材质通过一体机械加工方式制造而成，自身具有拉伸压缩功能，两端分别与回转法兰一体成型组合成整体，实现一体回旋功能。
旋转波纹管装置

[发明专利]去除器件上的碱性溶液的方法及设备-CN201110246139.0无效
发明人：高琦;蔡淘璞;唐伟荣;赵玉林 -专利权人：无锡尚德太阳能电力有限公司
申请日： 2011-08-25 - 公布日： 2013-03-06 - 主分类号： F26B21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种在湿制程中利用风刀去除器件上的碱性溶液的方法。所述方法包括在将压缩空气送入风刀之前，处理所述压缩空气使其到达预设温度，其中所述风刀向器件排出空气以有效去除器件上的碱性溶液。本发明还提供相应的设备。根据本发明，风刀可以在更长的时间保持畅通不堵塞。
去除器件碱性溶液方法设备

[实用新型]可旋转波纹管装置-CN202222343598.7有效
发明人：王淑梅;刘翠;蒋嘉 -专利权人：盛华基材（天津）科技有限公司
申请日： 2022-09-02 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： F16J15/52 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体湿制程设备技术领域，特别是一种可旋转波纹管装置，波纹管本体为非金属材质通过一体机械加工方式制造而成，自身具有拉伸压缩功能，两端分别与回转法兰一体成型组合成整体，实现一体回旋功能。
旋转波纹管装置

[发明专利]发光组件的制造方法-CN201110162922.9有效
发明人：马少崑;郭宗泰;赖韩棕;李宜青;金明达 -专利权人：晶元光电股份有限公司
申请日： 2011-06-16 - 公布日： 2012-12-19 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：提供一基板；形成一第一布拉格反射结构在该基板之上；形成一第二布拉格反射结构于第一布拉格反射结构之上；形成一发光结构于第二布拉格反射结构之上；形成一窗户层于发光结构之上；形成一电流散布层于窗户层之上；提供一湿氧制程系统；分别形成一氧化区域于第一布拉格反射结构与第二布拉格反射结构，其中氧化区域是在湿氧制程系统中反应而成；及形成一电极于电流散布层之上。
发光组件制造方法