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[发明专利]一种倒台结构的脊波导激光器芯片制作方法-CN202110689159.9在审
发明人：周鹏;张林建;鲍辉 -专利权人：江苏索尔思通信科技有限公司
申请日： 2021-06-22 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： H01S5/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种倒台结构的脊波导激光器芯片制作方法，包括，在外延片的表面生长SiO2层；利用RIE蚀刻SiO2层和InGaAs接触层，并形成两条具有所设定间距的沟槽，沟槽为直槽；利用RIE蚀刻沟槽底部的InGaAsP PQ层；使用第一蚀刻液蚀刻InGaAsP PQ层下方的InP空间层，并在两条沟槽之间形成直台结构的脊条，第一蚀刻液采用设定比例的HCl与H3PO4混合而成；在沟槽内加入第二蚀刻液，利用第二蚀刻液将直台结构的脊条蚀刻为倒台结构，第二蚀刻液采用设定比例的
一种倒台结构波导激光器芯片制作方法

[发明专利]一种基于人工表面等离基元结构的四臂螺旋天线-CN202210066049.1在审
发明人：李迎松;王家宏 -专利权人：哈尔滨工程大学
申请日： 2022-01-20 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01Q1/38 文献下载
摘要：本发明提供一种基于人工表面等离基元结构的四臂螺旋天线，其包括矩形介质基板、共面波导馈电结构、不断增加的H型SSPP单元沟槽深度和向外张开的金属地面组成而构成的SSPP过渡结构、SSPP功分器结构以及SSPP通过共面波导进行馈电，经过SSPP过渡结构实现传播常数、极化、阻抗匹配。
一种基于人工表面离基元结构螺旋天线

[发明专利]一种激光器及其制造方法-CN202010762617.2有效
发明人：杨国文;唐松;赵卫东 -专利权人：度亘激光技术(苏州)有限公司
申请日： 2020-07-31 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： H01S5/223 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种激光器及其制造方法，所述激光器包括：衬底，所述衬底上自下而上依次设置有第一限制层、量子阱和第二限制层；脊形成层，设置在所述第二限制层上，所述脊形成层包括多个波导结构，所述多个波导结构阵列式分布；欧姆接触层，设置在所述脊形成层的脊区上表面；绝缘层，设置在所述脊形成层的脊区侧面以及所述脊形成层的沟槽区；金属层，设置在所述欧姆接触层和所述绝缘层上。
一种激光器及其制造方法

[发明专利]一种径向偏振光下的长焦、紧聚焦表面等离激元透镜-CN201410329187.X在审
发明人：陆云清;呼斯楞;陆懿;许吉;王瑾 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2014-07-10 - 公布日： 2014-10-08 - 主分类号： G02B6/122 文献下载
摘要：本发明公开了一种径向偏振光下的长焦、紧聚焦表面等离激元透镜，包括介质衬底和位于介质衬底上的金属薄膜，在金属薄膜中心蚀刻有一个T型微孔，微孔的周围分布有周期性同心环结构，周期性同心环结构包括带有调制相位功能的同心环沟槽以及外围的同心环沟槽径向偏振光由底部入射，通过金属-介质-金属型波导结构，从各个方向高效激发Spps，处于中心的T型微孔在增加透射光强的同时，中心孔透射光与散射至自由空间的Spps由于多模干涉形成紧聚焦，调节阶梯型同心环沟槽出口处相位
一种径向偏振光聚焦表面离激元透镜

[实用新型]一种径向偏振光下的长焦、紧聚焦表面等离激元透镜-CN201420380868.4有效
发明人：陆云清;呼斯楞;陆懿;许吉;王瑾 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2014-07-10 - 公布日： 2014-11-26 - 主分类号： G02B6/122 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种径向偏振光下的长焦、紧聚焦表面等离激元透镜，包括介质衬底和位于介质衬底上的金属薄膜，在金属薄膜中心蚀刻有一个T型微孔，微孔的周围分布有周期性同心环结构，周期性同心环结构包括带有调制相位功能的同心环沟槽以及外围的同心环沟槽径向偏振光由底部入射，通过金属-介质-金属型波导结构，从各个方向高效激发Spps，处于中心的T型微孔在增加透射光强的同时，中心孔透射光与散射至自由空间的Spps由于多模干涉形成紧聚焦，调节阶梯型同心环沟槽出口处相位
一种径向偏振光聚焦表面离激元透镜

[发明专利]高制作容差的平面波导型可调光衰减器-CN201410177223.5有效
发明人：任梅珍;张家顺;安俊明;王亮亮;王超逸;张春威;刘尚鑫 -专利权人：河南仕佳光子科技股份有限公司
申请日： 2014-04-30 - 公布日： 2017-08-04 - 主分类号： G02F1/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种高制作容差的平面波导型可调光衰减器，包括第一耦合器，第一耦合器的输入端与输入波导连接，第一耦合器的两个输出端分别与上臂支路和下臂支路的前端连接，第二耦合器的两个输入端分别与上臂支路和下臂支路的后端连接，第二耦合器的输出端与输出波导连接，所述上臂支路和/或下臂支路上设有金属薄膜加热器，金属薄膜加热器位于隔离沟槽之间，本发明中第一耦合器和第二耦合器采用不对称的耦合器，同时使第二耦合器的耦合比与第一耦合器的耦合比相等，这种结构使当上臂支路或下臂支路的折射率变化时，第二耦合器的其中一个输出波导的衰减可满足大于30 dB的设计要求，该结构在工艺误差高达±0.1um时，仍可使衰减量大于30dB，提高了器件的制作容差。
制作平面波导调光衰减器

[发明专利]一种化工生产用晶体干燥装置-CN201910632229.X在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：湖南高福星智能科技有限公司
申请日： 2019-07-13 - 公布日： 2019-09-13 - 主分类号： F26B15/18 文献下载
摘要：本发明采用水蒸气下吸式原理，将微波加热产生的水蒸气抽走，从而实现物料的干燥，由于采用下吸的方式，使得物料与微波加热器之间的水蒸气含量少，这样有效的减少了微波加热器对水蒸气的重复加热，此时有效的提高了微波加热的效率，微波导向管的作用在于将平摊在输送带上的物料划出沟槽状结构，此时能够让更多的物料实现暴露，于此同时微波导向管具有微波导向的作用，此时可以呈现出定向加热物料的作用，配合部分微波加热器的辐散加热使得整体加热效果更加出色。
水蒸气微波加热器微波烘干装置微波导向管干燥箱体干燥装置化工生产微波加热加热室输送带带式输送机沟槽状结构长方体状加热物料水平走向微波导向整体加热重复加热方箱状下吸式平摊辐散加热暴露配合

[发明专利]低损耗硅基激光器-CN202010465149.2在审
发明人：杨正霞;吕晨;李亚节;杨文宇;周旭亮;潘教青 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2020-05-27 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： H01S5/34 文献下载
摘要：一种硅基激光器，包括：含有V形底部沟槽的SOI图形衬底；外延结构，依次为N型位错限制层、N型缓冲层、N型下包层、下波导层、量子阱有源区、上波导层、P型上包层、隧道结、N型上包层和N型接触层。
损耗激光器

[实用新型]用于CSFP/CSFF封装的PLC型混合集成光组件-CN201120177208.2有效
发明人：刘成刚;米全林 -专利权人：武汉电信器件有限公司
申请日： 2011-05-30 - 公布日： 2012-06-27 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于CSFP/CSFF封装的PLC型混合集成光组件，包括壳体，壳体内设有电子部件、PLC芯片、薄膜滤光片和其它光学部件；所述PLC芯片设有至少二个波导，波导之间开有隔离沟槽；所述薄膜滤光片与
用于 csfp csff 封装 plc 混合集成组件

[发明专利]在光学装置上的部件隔离-CN201380036800.2有效
发明人：钱伟;冯大增;J.方;M.阿斯哈里 -专利权人：迈络思科技硅光股份有限公司
申请日： 2013-02-28 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： G02F1/035 文献下载
摘要：脊限定在基底上的波导的一部分。一个或多个隔离沟槽各自延伸到有源介质的平板区域并且至少部分地与有源介质的脊间隔开。
源介质源部件基底平板区域隔离沟槽光传感器光调制器光学装置向上延伸板区域波导隔离延伸

[发明专利]石英衬底上多晶硅的刻蚀方法以及平面光波导的制作方法-CN201410065465.5在审
发明人：柳进荣;李朝阳 -专利权人：四川飞阳科技有限公司
申请日： 2014-02-25 - 公布日： 2014-05-28 - 主分类号： C30B33/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种石英衬底上多晶硅的刻蚀方法以及平面光波导的制作方法，所述刻蚀方法包括：在多晶硅层表面形成光刻胶掩膜层；采用C₄F₈以及SF₆对多晶硅层进行干法刻蚀，形成设定深度和高度的沟槽；其中，所述C₄F₈的流量是SF₆的流量1.5-2.5倍，所述SF_{6沟槽侧表面具有较好的垂直性和光滑性。}
石英衬底多晶刻蚀方法以及平面波导制作方法

[发明专利]一种用于降低差分模式群时延的少模光纤结构-CN202110512538.0在审
发明人：解宇恒;裴丽;王建帅;郑晶晶;宁提纲;李晶 -专利权人：北京交通大学
申请日： 2021-05-11 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： G02B6/036 文献下载
摘要：其特征在于：包括纤芯(I)、位于纤芯(I)周围的内包层(Ⅱ)、紧邻内包层(Ⅱ)的脊(Ⅲ)、位于脊(Ⅲ)外围的沟槽(Ⅳ)以及包层(Ⅴ)。利用位于内包层(Ⅱ)与沟槽(Ⅳ)之间的脊波导结构(Ⅲ)在一定程度上改变特殊模式的功率分布，使传输模的能量更好地被限制在纤芯周围，从而提升部分模式的有效折射率，达到进一步降低差分模式群时延的目的。
一种用于降低模式群时延光纤结构

[发明专利]家用供暖器-CN201611207463.0有效
发明人：黄定娟 -专利权人：河北圣旭节能电器设备有限公司
申请日： 2016-12-23 - 公布日： 2019-07-16 - 主分类号： F24H7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种家用供暖器，包括消音屏蔽组件，波导组件，其包括空心球体、以及固设于所述空心球体内壁的多个弧形墩，所述弧形墩远离所述空心球体内壁的一面上设有多个沟槽，所述沟槽与所述弧形墩的内表面的弧度和弧长均一致
保温层家用供暖器铝箔空心球体空心球体内陶瓷纤维模块热能转化率保温组件波导组件单体拼接类长方体屏蔽组件敷设玻璃棉导向筒内表面真空层包覆固设耗能弧长消音安全

[实用新型]基于平面光波导粗波分复用器/解复用器-CN201320215116.8有效
发明人：张丽丹;陆昇;刘勇;陈一博;胡灿栋 -专利权人：杭州天野通信设备有限公司
申请日： 2013-04-25 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： G02B6/293 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于平面光波导粗波分复用器/解复用器，包括衬底（1）、下包层（2）、芯层（3）和上包层（4），在所述芯层（3）设有光路，光路中设有多个深沟槽，所需中心波长的薄膜滤波片（5）固定在深沟槽中
基于平面波导粗波分复用器解复用器

[发明专利]光排列一体式大面积金属印模的制造方法及利用其的高分子光元件的制造方法-CN201180065152.4有效
发明人：郑命永;吴承勳;柳震和;曹相煜;李泰镐 -专利权人：釜山国立大学校产学协力团
申请日： 2011-02-22 - 公布日： 2013-09-25 - 主分类号： B29C33/38 文献下载
摘要：本发明提供一种光排列一体式大面积金属印模的制造方法及利用其的高分子光元件的制造方法，其通过制造用于与光纤的自动排列技术的光纤支撑用沟槽图案和PLC（Planar Lightwave Circuit，平面光波导为了制造大面积金属印模，其包括：形成单位元件PLC模具图案，通过利用上述PLC模具图案的多段压印方法来成型单位PLC元件图案的步骤；进行热处理以最小化表面粗糙度引起的散射损失的步骤；制作用以支撑光纤的沟槽图案的步骤；通过排列上述单位PLC元件图案和沟槽图案来制作单位元件用一体式PDMS模具的步骤；通过反复复制上述单位元件用一体式PDMS模具来形成大面积PDMS图案，利用大面积PDMS图案，通过电铸镀金来制作大面积印模的步骤
排列体式大面积金属印模制造方法利用高分子元件