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[发明专利]蒸汽递送容器和在容器内提供可汽化源材料的方法-CN201210532357.5有效
发明人：约翰·格雷格;斯科特·巴特尔;杰弗里·I·邦东;唐·奈托;拉维·K·拉克斯曼 -专利权人：高级技术材料公司
申请日： 2005-06-01 - 公布日： 2013-04-10 - 主分类号： B01D7/00 文献下载
摘要：本发明涉及蒸汽递送容器和在容器内提供可汽化源材料的方法。该蒸汽递送容器包括：周边容器壁，限定内部容积；气体出口，与所述内部容积流体连通；以及至少一个支撑结构，设置于所述内部容积内且适合于在所述至少一个支撑结构内接收可汽化源材料并适合于支撑所述内部容积内的可汽化的固体源材料，其特征在于设置在所述内部容积内的所述至少一个支撑结构包括以下中的任一种：(i)筛网材料，以及(ii)多孔体，其中所述至少一个支撑结构被设置负载有所述可汽化源材料。
蒸汽递送容器提供汽化材料方法

[发明专利]制造有机电致发光显示器的方法-CN03120228.4有效
发明人：中野真吾;神野浩;中井正也 -专利权人：三洋电机株式会社
申请日： 2003-03-05 - 公布日： 2003-09-17 - 主分类号： H05B33/10 文献下载
摘要：该发光层的材料从第一汽化源被汽化。此时，该第一汽化源被从玻璃衬底的一端移动到另一端。结果，该发光层均匀地在该玻璃衬底上形成。在该发光层的形成完成后，该电子传输层的材料从第二汽化源被汽化。该第二汽化源像该第一汽化源一样被移动，由此均匀地形成该电子传输层。
制造有机电致发光显示器方法

[发明专利]有助于增进气体与汽化材料接触的方法和装置-CN201010259171.8有效
发明人：约翰·格雷格;斯科特·巴特尔;杰弗里·I·邦东;唐·奈托;拉维·K·拉克斯曼 -专利权人：高级技术材料公司
申请日： 2005-06-01 - 公布日： 2010-12-08 - 主分类号： B01F3/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于汽化和递送汽化源材料的汽化器，所述汽化器包括：容器，包括至少一个限定内部的容器壁；以及设置在至少与所述内部接触的间歇流体的气体入口和气体出口，所述气体入口适合于向所述内部供应第一气体；至少一个支撑物，包括设置于所述内部的支撑表面，其中所述支撑表面适合于在所述内部或在所述内部沿所述第一气体的流程支撑可汽化源材料，以及其中所述至少一个支撑表面以至少一个壁分隔成两个或更多个支撑可汽化源材料的离散区域
有助于增进气体汽化材料接触方法装置

[实用新型]用于汽化和递送经汽化源材料的汽化器组合件-CN201822105599.1有效
发明人： D·J·埃尔德里奇;J·M·克利里;J·托马斯;S·L·巴特尔;T·查特顿;J·格雷格;B·C·亨德里克斯;T·鲍姆 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2018-12-14 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本实用新型是针对一种用于汽化和递送经汽化源材料的汽化器组合件。所述汽化器组合件具有改进的汽化器器皿主体和位于其中的支撑托盘组合件配置，它们一起增加了可汽化材料利用率和均匀性。
汽化器组合件汽化本实用新型汽化源材料器皿主体汽化材料支撑托盘递送均匀性配置改进

[发明专利]有助于增进气体与汽化材料接触的方法和装置-CN200580025920.8无效
发明人：约翰·格雷格;斯科特·巴特尔;杰弗里·I·邦东;唐·奈托;拉维·K·拉克斯曼 -专利权人：高级技术材料公司
申请日： 2005-06-01 - 公布日： 2007-07-04 - 主分类号： B01F3/04 文献下载
摘要：本发明涉及用于增进气体与汽化材料接触的装置和方法，其在一说明性装置中包括系统(100)，该系统(100)将来自汽化器(110)的所需气体递送到连接至汽化器(110)的工艺设备(120)。汽化器(110)汽化(蒸发)材料、接收来自连接至汽化器(110)的气源(130)的气体、并有助于向工艺设备(120)递送由所接收气体与汽化材料接触所产生的气体。汽化器(110)支撑待汽化的材料以有助于增大待汽化材料的暴露表面积，从而有助于增进所接收气体与汽化材料的接触。通过增进所接收气体与汽化材料的接触，汽化器(110)可用于将所得到的气体以相对更高的流率递送到工艺设备(120)。
有助于增进气体汽化材料接触方法装置

[发明专利]多源微型汽化器-CN201811272091.9在审
发明人： Y·徐;D·菲利普斯 -专利权人：效益蒸汽有限公司
申请日： 2018-10-30 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： A24F47/00 文献下载
摘要：本发明涉及多源微型汽化器。一种微型汽化器，其具有在主体外壳的内部的汽化腔室。至少一个加热元件被布置在汽化腔室内并且流体输送材料至少部分地被布置在汽化腔室内。流体输送材料具有汽化表面部分，所述汽化表面部分被定位为靠近至少一个加热元件的表面并且经配置用于将可汽化流体抽取到汽化表面以暴露于至少一个加热元件。活性材料基质也被布置在汽化腔室内。活性材料基质具有定位为靠近至少一个加热元件的第二表面的活性表面部分。
汽化加热元件汽化器汽化腔流体输送材料活性材料室内多源基质第二表面活性表面流体抽取汽化腔室主体外壳地被暴露配置

[实用新型]用于可汽化固体源材料的汽化器容器-CN202220394753.5有效
发明人： B·卡多佐;J·托马斯 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2022-02-25 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本实用新型涉及用于可汽化固体源材料的汽化器容器，其包括一或多个试剂支撑面板，所述试剂支撑面板在竖直定向上，例如当填充所述汽化器容器时，用作所述容器的内部空间的分隔物，而当旋转到水平定向时，所述面板支撑置于由所述面板和所述容器的内壁形成的一或多个腔室中的可汽化固体材料并能够将热量转移到所述固体材料所述腔室使得填充有所述可汽化固体材料的任何或所有腔室提供空隙空间，以允许所述固体材料汽化并使气体在加热时移动通过所述汽化器容器，允许所述固体材料高效汽化，并进一步允许由所述固体材料产生的蒸汽移动至所述容器的出口
用于汽化固体材料汽化器容器

[发明专利]用于涂覆基片的装置-CN200510115666.2无效
发明人： U·霍夫曼;M·施莱尔;J·M·迪盖斯－坎普;M·本德尔 -专利权人：应用薄膜有限公司
申请日： 2005-11-08 - 公布日： 2006-06-21 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于涂覆基片的装置，该装置包括汽化源及位于汽化源与基片之间的隔汽部件。隔汽部件的温度被保持在至少待汽化材料的汽化温度，或在该温度之上。在第一位置，该球形封闭部件封闭与汽化源相通的蒸汽输送管；而在第二位置，该球形封闭部件贴靠一球面护罩，从而封闭了一条石英管。
用于涂覆基片装置

[发明专利]液体输送金属有机物化学汽相沉积设备-CN200610104630.9无效
发明人：刘卫国;周顺;高爱华;张伟 -专利权人：西安工业大学
申请日： 2006-09-22 - 公布日： 2007-03-07 - 主分类号： C23C16/18 文献下载
摘要：本发明是一种液体输送金属有机物化学汽相沉积设备，包含有多元汽化组件、反应室、射频放电等离子体、真空组件、操作防护与排放处理组件、电控组件。多元汽化组件由多路液态源输送通道、两路气体输送通道、雾化器、汽化器、阀门和管道构成，将液源雾化、汽化后，用载气送反应室，与反应气体生成所需氧化物，沉积在温度可控的衬底上形成薄膜。本发明解决了传统MOCVD不同材料间蒸气压差大难控制及输送障碍，对源材料要求降低，易于多薄膜交替沉积，可获组分精确的多组分薄膜及超晶格结构。
液体输送金属有机物化学沉积设备

[发明专利]用于递送汽化源材料的装置-CN201210534049.6有效
发明人：约翰·格雷格;斯科特·巴特尔;杰弗里·I·邦东;唐·奈托;拉维·K·拉克斯曼 -专利权人：高级技术材料公司
申请日： 2005-06-01 - 公布日： 2013-04-10 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及用于递送汽化源材料的装置，所述装置包括：容器，具有由一个或多个容器侧壁限定的内部区域；多个通道，其中所述多个通道包括入口和出口，所述入口被设置用于将载气引入所述容器中，所述出口被设置用于从所述容器递送气体；管，从所述多个通道之一延伸至末端；一个或多个支撑物，连接至所述管并位于所述多个通道的入口和出口之间，其中所述一个或多个支撑物具有表面，所述表面被设置为支撑源材料并具有周边以及多个延伸通过所述表面的通路
用于递送汽化材料装置

[发明专利]液态源汽化装置及其汽化方法-CN201110130462.1有效
发明人：李东升;龚小雷;张敏 -专利权人：上海正帆科技有限公司;上海正帆超净技术有限公司;上海正帆半导体设备有限公司
申请日： 2011-05-19 - 公布日： 2011-11-02 - 主分类号： F17C7/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种液态源汽化装置及其汽化方法，所述方法包括如下步骤：a)采用内部电加热或外部加热的方式，使液态源在汽化容器中实现蒸发汽化；b)使用外部加热使载气进入步骤a)中的汽化容器携带气体鼓泡，鼓出的气体中掺杂少量液态源蒸气，从而实现鼓泡携带汽化；c)使用流量控制模块、压力控制装置和温度控制装置共同调节汽化容器输出的气体量，并根据用气量切换步骤a)中的蒸发汽化和步骤b)中的鼓泡携带汽化。本发明提供的液态源汽化装置及其汽化方法，根据用气量切换蒸发和鼓泡模式，使系统同时适用于不同用量的液态源汽化系统，大大改善了可操作性和灵活性。
液态汽化装置及其方法

[发明专利]液源汽化系统-CN202310869801.0在审
发明人：周厉颖;杨帅 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-07-14 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： F17C9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种液源汽化系统，应用于半导体工艺设备，包括：依次连通的液源管路、汽化装置和输出管路；液源汽化系统还包括：吹扫管路，吹扫管路与汽化装置连通；第一控制单元，第一控制单元用于控制吹扫管路与汽化装置连通或液源管路与汽化装置连通；尾气处理单元，尾气处理单元与汽化装置连通；第二控制单元，第二控制单元用于控制尾气处理单元与汽化装置连通或输出管路与汽化装置连通。本发明的液源汽化系统通过设置吹扫管路、第一控制单元、尾气处理单元和第二控制单元，不仅可以对液态的工艺介质进行汽化，还可以通过吹扫气体对汽化装置内部进行清洁。
汽化系统

[发明专利]汽化器及具备该汽化器的离子源、含铝蒸汽的生成方法-CN202211484201.4在审
发明人：乔治·萨科;迈克尔·科尔沃;萨米·K·哈托 -专利权人：日新离子机器株式会社
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： C30B31/22 文献下载
摘要：本发明提供汽化器及具备该汽化器的离子源、含铝蒸汽的生成方法，不利用氢气就能够解决引出电极的绝缘化问题。汽化器(1)具备：坩埚(2)，在内部配置有含铝的固体材料(7)；以及加热器(5)，加热坩埚(2)，坩埚(2)具备：含氯气体导入口(2b)，将含氯气体导入坩埚(2)；以及蒸汽释放口(2a)，向坩埚(2)的外部释放通过加热含氯气体与固体材料
汽化器具备离子源蒸汽生成方法

[发明专利]低温罐车-CN202010800710.8在审
发明人：余军庆;于海东;肖学文;张强;刘志威 -专利权人：荆门宏图特种飞行器制造有限公司;中国国际海运集装箱（集团）股份有限公司;中集安瑞科投资控股（深圳）有限公司
申请日： 2020-08-11 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： F17C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种低温罐车，该低温罐车包括储罐、汽化器及除霜单元；汽化器与储罐相连通；除霜单元包括高压气源、连接管、控制阀和吹扫管；高压气源、连接管和吹扫管依次相连通；控制阀装设于连接管上；吹扫管靠近汽化器布置，吹扫管上开设有若干气流孔，气流孔朝向汽化器布置。本发明在罐车的汽化器上增设除霜单元；利用吹扫管靠近汽化器布置，并配合在吹扫管上的气流孔，利用高压气源提供的高压气体对汽化器进行除霜操作。当汽化器因长时间工作而表面结霜时，可开启控制阀使高压气源内的高压气体经气流孔高速地吹向汽化器，从而将覆盖在汽化器表面的霜吹落，以实现对汽化器除霜的功能，进而有效地保证汽化器的汽化效果。
低温罐车

[发明专利]一种具有微孔膜蒸发源的真空沉积装置-CN202210796240.1在审
发明人：李宰卿 -专利权人：扬州韩思半导体科技有限公司
申请日： 2022-07-06 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有微孔膜蒸发源的真空沉积装置，包括蒸发源、供应单元、源存储单元和外壳，本发明涉及真空沉积技术领域。该具有微孔膜蒸发源的真空沉积装置，通过汽化的汽化源喷射的末端会形成热唇，从而有效防止由于汽化源的冷凝而引起的堵塞，同时能防止由于汽化源凝固而形成的粉末状落到基板上，具有均匀真空沉积到基板的效果，通过调节微孔膜中形成的气孔大小来控制汽化源的扩散速度，并且微孔膜形成的气孔只能通过均匀粒子的汽化源，因此能更有效的均匀真空沉积到基板上，多个直径不同的多数的非导电容器以多段通过结构结合到导电坩埚上，从而延长了汽化源的扩散路径，因此具有均匀真空沉积到基板的效果
一种具有微孔蒸发真空沉积装置

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