“氢氟酸清洗”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果802390个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种可进行氢氟酸回收利用的清洗装置-CN201220215190.5有效
发明人：俞晓铭;钱大成;刘海;吴而义 -专利权人：无锡德鑫太阳能电力有限公司;无锡尚德太阳能电力有限公司
申请日： 2012-05-11 - 公布日： 2012-12-12 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型提供一种可进行氢氟酸回收利用的清洗装置。现有技术未对清洗所用的氢氟酸进行回收利用而直接作为废液处理，从而造成了成本浪费，另外增加了操作人员受氢氟酸危害的风险。本实用新型的可进行氢氟酸回收利用的清洗装置包括第一氢氟酸槽和第二氢氟酸槽，所述第二氢氟酸槽中的氢氟酸浓度大于第一氢氟酸槽中氢氟酸的浓度，所述第二氢氟酸槽具有第一溢流管道，所述第一溢流管道通过向下倾斜设置的第一连接管道连接至第一氢氟酸槽，所述第二氢氟酸槽中超过预设液位的氢氟酸通过第一溢流管道和第一连接管道流入第一氢氟酸槽。本实用新型有效降低了成本，并降低了操作人员受氢氟酸危害的风险。
一种进行氢氟酸回收利用清洗装置

[发明专利]一种氢氟酸清洗机的制造方法-CN201410227528.2在审
发明人：翟正平;张胜芳;张秋霞 -专利权人：镇江跃进机械厂有限公司
申请日： 2014-05-27 - 公布日： 2016-01-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种氢氟酸清洗机的制造方法：选择适合氢氟酸耐腐蚀要求的板材，且要求不影响超声波的效果；按照尺寸要求制作清洗槽；将清洗槽在清洗机上安装到位，调试清洗超声波强度，达到使用标准；加入氢氟酸溶剂，确认耐腐蚀效果本发明的优点是能够较好的适应氢氟酸溶剂的腐蚀要求，并且达到超声波的强度测试要求，可以减少因金属结构清洗槽不能满足氢氟酸溶剂使用工艺要求而造成的不必要的损失，满足清洗新工艺要求，并且更好的延长清洗机使用寿命
一种氢氟酸清洗制造方法

[发明专利]一种单晶硅片制绒的清洗方法及单晶制绒设备-CN201410267231.9无效
发明人：郭永刚;高鹏;张婷;屈小勇;林瀚琪;倪玉凤;陈璐;代同光;张治 -专利权人：中电投西安太阳能电力有限公司
申请日： 2014-06-16 - 公布日： 2014-10-08 - 主分类号： C30B33/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种单晶硅片制绒的清洗方法，通过在单晶制绒后用氢氟酸加盐酸的混酸清洗溶液进行两次清洗，第一次氢氟酸加盐酸清洗可以有效去除钠离子、钾离子等主要金属杂质，并去除硅片表面的薄层二氧化硅；第二次氢氟酸加盐酸清洗更进一步清洗硅片浅表层金属杂质(第一次清洗后残留的金属杂质)，另外去除硅片表面的二氧化硅层，达到有效的脱水效果。同时，本发明还公开了一种单晶制绒设备，通过在盐酸槽中同时引入盐酸管道与氢氟酸管道，在氢氟酸槽中同时引入氢氟酸管道与盐酸管道；从而可方便地获得盐酸与氢氟酸的混合溶液，方便进行上述单晶硅片制绒的清洗方法。
一种单晶硅片制绒清洗方法单晶制绒设备

[发明专利]一种显示面板氢氟酸清洗装置和氢氟酸清洗方法-CN201911002330.3在审
发明人：蒋新;宋金林;施利君 -专利权人：苏州晶洲装备科技有限公司
申请日： 2019-10-21 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种显示面板氢氟酸清洗装置，它包括清洗单元，所述清洗单元包括：输送组件，所述显示面板设置于所述输送组件上，所述输送组件的传输速度为可调节设置；喷淋组件，所述喷淋组件用于向所述显示面板上表面喷淋处理液，所述处理液包括氢氟酸。还提供一种显示面板氢氟酸清洗方法，它包括：使显示面板以高速进入喷淋区域并以低速在所述喷淋区域中移动；向所述显示面板上表面喷淋处理液，所述处理液包括氢氟酸。能够提高氢氟酸清洗质量。
一种显示面板氢氟酸清洗装置方法

[发明专利]基板处理方法及基板处理装置-CN201780014745.5有效
发明人：柴山宣之;林昌之;阿野诚士;江户彻 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-03-21 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：一种基板处理方法，包含：含臭氧氢氟酸溶液喷出步骤，从喷嘴对保持在基板保持单元的基板的一个主面，喷出在氢氟酸溶液中溶解有臭氧而成的含臭氧氢氟酸溶液；以及刷清洗步骤，在上述含臭氧氢氟酸溶液喷出步骤后、或与上述含臭氧氢氟酸溶液喷出步骤并行，使清洗刷抵接上述基板的上述一个主面而对该一个主面进行清洗。
处理方法装置

[实用新型]一种专用于口腔临床牙科修复体的氢氟酸智能自动处理仪-CN202221061408.6有效
发明人：李春燕;陈科名;李祥伟 -专利权人：中山大学附属第五医院
申请日： 2022-05-05 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： A61C13/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种专用于口腔临床牙科修复体的氢氟酸智能自动处理仪，包括箱体；箱体内设有层板，层板设有漏水孔，层板将箱体分隔出操作层和收集层；漏水孔连通操作层和收集层；操作层内绕漏水孔安装有夹持机构、氢氟酸涂抹机构和水气清洗机构；收集层的一侧开放，收集层滑动安装有废液收集器；箱体外侧还安装有控制面板，控制面板用于控制夹持机构、氢氟酸涂抹机构和水气清洗机构；夹持机构用于夹持待使用的修复体移动至氢氟酸涂抹机构和水气清洗机构；水气清洗机构用于给被夹持的修复体清洗和吹干；通过夹持机构夹持修复体，在箱体内进行氢氟酸的涂抹腐蚀和清洗风干处理，箱体的阻挡，可避免人工操作时氢氟酸的飞溅和氢氟酸气化。
一种专用口腔临床牙科修复氢氟酸智能自动处理

[发明专利]一种用于势垒前的氢氟酸雾清洗工艺-CN201910486732.9有效
发明人：杨亚峰;赵顺;郭现听;王毅;张玉明 -专利权人：扬州扬杰电子科技股份有限公司
申请日： 2019-06-05 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：一种用于势垒前的氢氟酸雾清洗工艺。涉及半导体器件制造领域，尤其涉及一种用于势垒前的氢氟酸雾清洗工艺。提供了一种通过控制氢氟酸雾的量，保证腐蚀稳定，提高产品质量的用于势垒前的氢氟酸雾清洗工艺。本发明在工作中，通过对FSI清洗机改造后增加氢氟酸雾可以有效地去除表面的水渍残留和氧化层；同时氢氟酸雾的量需要控制，太少无法保证表面残留能去除干净，过多会导致晶圆外观缺陷；在保证腐蚀量的同时，还需要避免氢氟酸雾不能长时间的吹扫晶圆表面，故增加冷甩时间，降低通氢氟酸雾时的腔体温度，减少氢氟酸雾的扩散，稳定腐蚀量。
一种用于势垒前氢氟酸清洗工艺

[发明专利]一种石墨换热器的清洗方法-CN201410846006.0在审
发明人：陈维;孟文祥;杨国荣 -专利权人：贵州瓮福蓝天氟化工股份有限公司
申请日： 2015-08-03 - 公布日： 2015-07-29 - 主分类号： F28G9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种石墨换热器的清洗方法，包括下述步骤：将工艺水补入氢氟酸配酸塔，液位达到40-50%时停止补入工艺水；HF引入氢氟酸配酸塔，通过泵循环在塔内吸收，配酸塔氢氟酸浓度不断升高，当质量浓度达到30-50%时停止HF进入；换热器需清洗时，将换热器停用排空，通过配酸泵将氢氟酸输送到石墨换热器进口，从换热器出口回到配酸塔，让氢氟酸在换热器内循环清洗。本发明在清洗石墨换热器时快速、方便、洗涤效率高。
一种石墨换热器清洗方法

[发明专利]基板处理方法及基板处理装置-CN201780014056.4在审
发明人：柴山宣之;江户彻;蒲裕充 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-03-21 - 公布日： 2018-10-23 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明的基板处理方法，包含：基板保持步骤，使基板保持于基板保持单元；含臭氧氢氟酸溶液供给步骤，对保持于上述基板保持单元的上述基板的一个主面，供给在氢氟酸溶液中溶解有臭氧的含臭氧氢氟酸溶液；刷清洗步骤，在上述含臭氧氢氟酸溶液供给步骤之后，使清洗刷接触上述基板的上述一个主面，由此对该一个主面进行清洗；臭氧水供给步骤，在上述含臭氧氢氟酸溶液供给步骤之后且在上述刷清洗步骤开始之前，或与上述刷清洗步骤并行，对上述基板的上述一个主面供给臭氧水。
氢氟酸溶液臭氧供给步骤主面清洗基板基板保持单元基板保持基板处理臭氧水基板处理装置清洗刷并行溶解

[发明专利]硅片清洗液及其清洗方法-CN200810067515.8有效
发明人：李杰 -专利权人：深圳深爱半导体有限公司
申请日： 2008-05-29 - 公布日： 2009-08-12 - 主分类号： C11D7/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片清洗液，主要由乙醇和氢氟酸经混合配成，所述乙醇与氢氟酸的体积比为35～45∶1，所述乙醇的质量百分比浓度为18％～100％，所述氢氟酸由氟化氢和去离子水配成，其质量百分比浓度为48％本发明还公开了一种清洗硅片的方法，包括步骤：用去离子水清洗硅片；采用上述硅片清洗液清洗硅片。本发明的硅片清洗液及其清洗方法，能有效去除有机物沾污，提高氢氟酸清洗液的背面清洗效果。
硅片清洗及其方法

[发明专利]一种氢氟酸循环利用洗石墨舟的方法-CN202010133589.8有效
发明人：姚骞;张忠文;谢毅 -专利权人：通威太阳能(眉山)有限公司
申请日： 2020-02-28 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能电池生产制造技术领域，具体是一种氢氟酸循环利用洗石墨舟的方法，用于解决现有技术中在电池片的清洗过程中对氢氟酸浪费较大的问题。本发明包括以下步骤：步骤1：将使用过的旧氢氟酸收集并储存在废酸储存池中；步骤2：将废酸储存池中的旧氢氟酸抽入自配存放池中；步骤3：测量自配存放池中的旧氢氟酸浓度；步骤4：根据测量自配存放池中旧氢氟酸的浓度，向自配存放池中加入新氢氟酸或者清水，直到自配存放池中旧氢氟酸的浓度达到要求为止；步骤5：将自配存放池中的旧氢氟酸加入石墨舟清洗槽中，并将带返工片的花篮放入石墨舟清洗槽中浸泡。本发明中通过上述方法可以节省大量的氢氟酸。
一种氢氟酸循环利用石墨方法

[发明专利]一种石墨舟自动清洗装置及方法-CN201610107206.3在审
发明人：刘红明;顿海龙;张红伟;王海涛 -专利权人：天津英利新能源有限公司
申请日： 2016-02-26 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种石墨舟自动清洗装置及基于该装置的清洗方法，通过隔膜循环泵将氢氟酸经由管路补充至设备内，加液过程中安全门完全闭合，氢氟酸与外界隔绝，且当安全门被打开时加液自动停止，不会发生液体飞溅，保障了操作人员安全；所用的氢氟酸用量，鼓泡清洗时间、水浴去酸时间等参数可以通过触摸屏进行设置，直观方便，不需要人工监视和操作，节约了人工成本，本发明具有急停装置，在发生意外情况时，可以及时关闭所有工作阀门，防止意外情况扩大本发明可以通过流量计保证氢氟酸用量稳定，同时可以通过触摸屏更改氢氟酸的加液量，比人工加酸更稳定。清洗去酸过程中通过设置在清洗槽内部的氢氟酸浓度传感器确定清洗程度，更加安全可靠。
一种石墨自动清洗装置方法

[发明专利]一种多晶硅化学机械研磨后的清洗方法-CN201711191628.4在审
发明人：周小红;闵源;周小云;蒋阳波 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2017-11-24 - 公布日： 2018-05-04 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种化学机械研磨后的清洗方法，其特征在于包括以下步骤颗粒物清洗；第一道刷洗(Brush1)，采用氨水作为清洗剂配合刷子对晶圆表面进行刷洗；第二道刷洗(Brush2)，采用氢氟酸溶液作为清洗剂配合刷子对晶圆表面进行刷洗通过调整了常规清洗工艺中两道刷洗的工艺顺序，将对氧化硅具有明显破坏作用的氢氟酸溶液刷洗工序置后，如此通过工序的调整，使得多晶硅表面在进行氨水刷洗时，能够得到颗粒物清洗时产生的氧化硅层的保护，从而避免了氨水对于多晶硅表面的腐蚀而产生粗糙化的破坏；同时减少了氢氟酸溶液刷洗时的氢氟酸溶液流量，既减少了氢氟酸溶液从而节省了成本，又能够减少氢氟酸溶液对于多晶硅表面的损伤。
一种多晶化学机械研磨清洗方法

[发明专利]一种使用稀释的氢氟酸对硅片进行清洗的工艺-CN200910242237.X无效
发明人：闫志瑞;库黎明;索思卓;葛钟;盛方毓 -专利权人：北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司
申请日： 2009-12-04 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种使用稀释的氢氟酸对硅片进行清洗的工艺，该工艺包括：在清洗流程的最后一步化学试剂清洗中使用，氢氟酸清洗液中氢氟酸与水的体积比为HF∶H2O＝1∶300～1∶2000，稀释的氢氟酸清洗液的清洗时间为本发明的优点是：使用经该工艺清洗后的硅片表面依然为亲水表面，故而不会发生传统DHF清洗后疏水表面带来的颗粒及部分金属的吸附现象。使得清洗后的硅片表面金属沾污＜1E10atoms/cm2，同时硅片表面颗粒沾污度(＞＝0.10微米)可以＜15个/片，进而解决RCA清洗中传统清洗液的不足。
一种使用稀释氢氟酸硅片进行清洗工艺

[实用新型]一种石墨舟自动清洗装置-CN201620146094.8有效
发明人：刘红明;顿海龙;张红伟;王海涛 -专利权人：天津英利新能源有限公司
申请日： 2016-02-26 - 公布日： 2016-08-17 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种石墨舟自动清洗装置，通过隔膜循环泵将氢氟酸经由管路补充至设备内，加液过程中安全门完全闭合，氢氟酸与外界隔绝，且当安全门被打开时加液自动停止，不会发生液体飞溅，保障了操作人员安全；所用的氢氟酸用量，鼓泡清洗时间、水浴去酸时间等参数可以通过触摸屏进行设置，直观方便，不需要人工监视和操作，节约了人工成本，本实用新型具有急停装置，在发生意外情况时，可以及时关闭所有工作阀门，防止意外情况扩大。本实用新型可以通过流量计保证氢氟酸用量稳定，同时可以通过触摸屏更改氢氟酸的加液量，比人工加酸更稳定。清洗去酸过程中通过设置在清洗槽内部的氢氟酸浓度传感器确定清洗程度，更加安全可靠。
一种石墨自动清洗装置

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条