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- [实用新型]气体分流装置-CN202223361499.8有效
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傅林坚;刘毅;曹建伟;朱亮;周建灿;吴正闪
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浙江求是半导体设备有限公司
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2022-12-12
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2023-07-04
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C30B25/14
- 本实用新型公开一种气体分流装置，气体分流装置包括进气部、分流部和导流部，所述进气部包括多路金属波纹卡套管，所述分流部具有四个分流腔室，所述分流腔室与所述金属波纹卡套管相连通，在所述分流部的中心向所述分流部的边缘方向上所述分流腔室的体积减小，所述分流部背离所述金属波纹卡套管的一侧具有狭缝，所述狭缝与所述分流腔室连通，所述导流部与所述分流部具有狭缝的一侧相连通，所述导流部具有三个导流腔室，所述导流腔室与一个或多个所述狭缝对应，位于所述导流部中央的所述导流腔室的体积大于位于所述导流部边缘的所述导流腔室的体积本实用新型提供的气体分流装置具备气体流动均匀的优点。
- 气体分流装置
- [实用新型]气体分流装置-CN202223161636.3有效
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王莉君;何晓;汪谦
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杭州贝斯特气体有限公司
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2022-11-28
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2023-03-17
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F17C13/00
- 本实用新型提供了一种气体分流装置，属于机械技术领域。它解决了现有技术存在着稳定性差的问题。本气体分流装置包括呈圆盘状的分流盘，所述分流盘内部为空腔且分流盘边沿处周向均布有若干分流孔，分流盘顶部具有进口，上述进口和分流孔均与分流盘内腔相通，还包括底座和连杆，所述底座呈筒状，上述连杆和底座内腔相匹配，连杆上端与分流盘下部固连，连杆下端嵌于底座内且在连杆和底座之间具有锁定结构，通过锁定结构能使连杆与底座之间定位连接。本气体分流装置稳定性高。
- 气体分流装置
- [发明专利]一种干法刻蚀装置-CN202010050682.2在审
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张光轩;豆海清;曾最新
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长江存储科技有限责任公司
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2020-01-17
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2020-05-08
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H01L21/67
- 本申请实施例公开一种干法刻蚀装置，所述装置包括：反应腔室以及分流部件；其中，所述分流部件用于将从所述反应腔室外流入的刻蚀气体分流成多路刻蚀气体后输入至所述反应腔室内；所述分流部件包括至少两级分流阀；其中，所述至少两级分流阀中的最上级分流阀，用于将流入的所述刻蚀气体按照第一流量比例分流成两路以上刻蚀气体，并将分流后的所述刻蚀气体输出至所述最上级分流阀的下一级分流阀；所述至少两级分流阀中的最下级分流阀，用于将所述最下级分流阀的上一级分流阀输出的一路刻蚀气体按照第二流量比例分流成两路以上刻蚀气体，并将分流后的所述刻蚀气体分别输入至所述反应腔室内。
- 一种刻蚀装置
- [实用新型]一种制氮机设备气体分流装置-CN202122711191.0有效
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康玉雷;陈中鸣;张立红
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怀来华昌气分化工设备有限公司
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2021-11-08
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2022-03-22
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B01D53/04
- 本实用新型涉及氮气生产技术领域，且公开了一种制氮机设备气体分流装置，包括吸附塔，吸附塔内底壁搭接有支撑垫，支撑垫上活动连接有气体分流管，气体分流管外侧均匀地开设有多个切槽，支撑垫底部开设有连接管，吸附塔底部固定连接有进气管，切槽的直径为1mm，切槽沿气体分流管轴向延伸至，气体分流管下部设置有四分之三的无切槽区域。该一种制氮机设备气体分流装置，气体通过进气管与连接管，进入气体分流管的内壁中，通过气体分流管上开设有多个1mm的切槽，可以使得空气被分流，且有效的阻挡分子筛，气体分流管的下表面预留的四分之三的无切槽部分，提高了气体分流管的结构的牢固性，提高气流分流管的使用寿命。
- 一种制氮机设备气体分流装置
- [发明专利]一种在晶片上生长含碳薄膜的方法-CN201010615163.2有效
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徐强
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中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
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2010-12-30
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2012-07-11
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C23C16/30
- 本发明提供一种在晶片上生长含碳薄膜的方法，所述方法使用带有气体分流盘的反应室，且气体分流盘的气体分流面朝向反应室内，气体分流面具有气体分流孔，包括：a）经由气体分流孔向反应室内通入反应气体，以在气体分流面上生长牺牲薄膜，其中，生长牺牲薄膜的方法为等离子体增强化学气相沉积法；b）将晶片放入反应室内，经由气体分流孔向反应室内通入含碳气体以在晶片上生长含碳薄膜；c）移出晶片，并去除牺牲薄膜。本发明的方法能够防止高能量的等离子体对气体分流盘造成损伤，从而在既能彻底去除有机残留物的同时，又能避免损伤气体分流盘，从而既防止晶片遭受污染，又能提高生产含碳薄膜机器的使用寿命，从而提高生产效率、降低生产成本
- 一种晶片生长薄膜方法
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