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[发明专利]一种超导电路制备方法及一种超导量子芯片-CN202110215894.6有效
发明人：马亮亮;尤兵;王念慈;郑杰;刘文书 -专利权人：合肥本源量子计算科技有限责任公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L39/24 文献下载
摘要：所述制备方法包括：确定衬底上位于第一电元件和第二电元件之间的第一结区，及位于预先形成的第一导电板和第二导电板之间的第二结区；形成约瑟夫森结于第二结区，且约瑟夫森结的第一超导层和第二超导层与第一导电板和第二导电板一一对应电连接；将第一导电板和第二导电板接入检测电路以检测约瑟夫森结的电性参数，并判断电性参数是否符合目标参数范围；若是，切割分离约瑟夫森结与第一导电板和第二导电板，并将约瑟夫森结移至第一结区；形成连接第一超导层和第一电元件的第一连接结构，以及连接第二超导层和第二电元件的第二连接结构，本发明能够确保制备的超导电路符合设计要求。
一种超导电路制备方法量子芯片

[发明专利]一种基于π结的磁通存储器件及制备方法-CN202210655748.X在审
发明人：曾俊文;陈垒;钟翔海;王镇 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2022-06-10 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： H01L39/24 文献下载
摘要：本发明提供一种基于π结的磁通存储器件及制备方法。该基于π结的磁通存储器件的制备包括：提供衬底，形成在水平方向上间隔设置的第一类约瑟夫森结与第二类约瑟夫森结，形成隔离层及配线层，配线层的第一配线部与第一类约瑟夫森结顶电极电连接，配线层的第二配线部与第二类约瑟夫森结顶电极电连接，基于第一类约瑟夫森结形成存储环路，基于第二类约瑟夫森结形成读出电路。其中，第一类约瑟夫森结采用铁磁势垒层，由于铁磁材料的强交换作用，在一定的铁磁厚度下可实现π相位的偏移而形成π结，π结代替传统的0结将会产生0.5Φ0的磁通，从而把回滞区拉回到
一种基于通存器件制备方法

[实用新型]超导量子比特电路和量子计算机-CN202223060971.4有效
发明人：请求不公布姓名;张辉 -专利权人：合肥本源量子计算科技有限责任公司
申请日： 2022-11-17 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H10N60/12 文献下载
摘要：本申请提供的超导量子比特电路包括：电容极板，位于电容极板上的第一电接触层，以及至少两个约瑟夫森结，且所述约瑟夫森结的一端与所述第一电接触层电连接。与现有技术相比，由于本申请提供的方案中电容极板上形成有电接触层，因此，在利用探针将约瑟夫森结接入测量电路时，较为容易控制力度确保探针扎入电接触层实现电接触而不扎入电容极板，从而避免约瑟夫森结电学参数检测时发生电容极板损坏的情况
超导量子比特电路计算机

[发明专利]一种核心超导约瑟夫森结测试装置、测试方法-CN202010374997.2在审
发明人：赵勇杰 -专利权人：合肥本源量子计算科技有限责任公司
申请日： 2020-04-30 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明属于量子芯片技术领域，更具体地说，涉及一种核心超导约瑟夫森结测试装置、测试方法，其中，所述核心超导约瑟夫森结位于超导量子芯片的衬底上用于构成超导量子比特；所述测试装置包括：辅助超导约瑟夫森结，所述辅助超导约瑟夫森结设置在所述衬底上，位于所述核心超导约瑟夫森结的附近，且与所述核心超导约瑟夫森结具有完全一致的结构、尺寸和材质；测量装置，电连接所述辅助超导约瑟夫森结，用于测量所述辅助超导约瑟夫森结的性能参数。本装置不仅可以降低测试难度，还可以提高测试结果的准确性和可靠性，也不会对该核心超导约瑟夫森结所在的超导量子比特的完整性造成破坏，有助于提高量子比特和量子芯片的生产效率。
一种核心超导约瑟夫测试装置方法

[实用新型]一种核心超导约瑟夫森结测试装置-CN202020700608.6有效
发明人：赵勇杰 -专利权人：合肥本源量子计算科技有限责任公司
申请日： 2020-04-30 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本实用新型属于量子芯片技术领域，更具体地说，涉及一种核心超导约瑟夫森结测试装置，其中，所述核心超导约瑟夫森结位于超导量子芯片的衬底上用于构成超导量子比特；所述测试装置包括：辅助超导约瑟夫森结，所述辅助超导约瑟夫森结设置在所述衬底上，位于所述核心超导约瑟夫森结的附近，且与所述核心超导约瑟夫森结具有完全一致的结构、尺寸和材质；测量装置，电连接所述辅助超导约瑟夫森结，用于测量所述辅助超导约瑟夫森结的性能参数。本装置不仅可以降低测试难度，还可以提高测试结果的准确性和可靠性，也不会对该核心超导约瑟夫森结所在的超导量子比特的完整性造成破坏，有助于提高量子比特和量子芯片的生产效率。
一种核心超导约瑟夫测试装置

[发明专利]约瑟夫森结阵列及共面波导结构-CN201810373181.0在审
发明人：钟源;王兰若;李劲劲;钟青;王雪深;屈继锋;曹文会 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2018-04-24 - 公布日： 2018-09-14 - 主分类号： H01L39/24 文献下载
摘要：本申请提供一种约瑟夫森结阵列及共面波导结构。所述第一结堆栈和所述第二结堆栈均为多层势垒结构，在垂直于所述第一电极方向形成多堆栈约瑟夫森结。所述多个第一电极间隔设置，一个所述第二电极将相邻的两个所述结堆栈对中的所述第一结堆栈和所述第二结堆栈电连接，形成多堆栈约瑟夫森结不同方向的串联。所述约瑟夫森结阵列及共面波导结构在相同结数集成度条件下缓解了垂直方向上的约瑟夫森结堆栈数量的压力。通过约瑟夫森结在不同方向上的串联连接，所述约瑟夫森结阵列的分布散热的效果大大提高，大规模集成约瑟夫森结阵的大电流偏置工作范围不会受到限制，并且在制备角度有利于后续绝缘层的高质量覆盖，提高芯片成品率。
约瑟夫森结堆栈共面波导结构第一电极绝缘层大规模集成芯片成品率第二电极间隔设置势垒结构大电流电连接集成度散热多层偏置制备串联垂直缓解覆盖申请

[发明专利]超导量子比特及其制备方法、量子储存器及量子计算机-CN202011166998.4在审
发明人：邓昊 -专利权人：阿里巴巴集团控股有限公司
申请日： 2020-10-27 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： H01L39/02 文献下载
摘要：其中，该超导量子比特包括：约瑟夫森结和非约瑟夫森结部分，其中，非约瑟夫森结部分包括：第0层超导材料层，其中，第0层超导材料层为在制备超导量子比特载体时，在对约瑟夫森结和非约瑟夫森结部分进行离子铣削前，在非约瑟夫森结部分积淀的超导材料本发明解决了相关技术中，在超导量子比特的制备方法下，采用离子铣削工艺处理衬底表面，会存在可观的介电损耗，导致降低超导量子比特寿命的技术问题。
超导量子比特及其制备方法储存器计算机

[发明专利]一种量子芯片测试结构、其制备方法和测试方法-CN202010360881.3有效
发明人：张辉 -专利权人：合肥本源量子计算科技有限责任公司
申请日： 2020-04-30 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： H01L39/22 文献下载
摘要：量子芯片测试结构包括：衬底；位于所述衬底上的超导约瑟夫森结；以及覆盖所述超导约瑟夫森结或其连接结构的导电膜层，所述导电膜层用于实现与探针的电接触并保护超导约瑟夫森结或其连接结构。本发明通过在超导约瑟夫森结或其连接结构上覆盖有导电膜层，通过这一导电膜层实现超导约瑟夫森结或其连接结构不受探针损伤，实现接触性测试。该结构和方法整体简单，成本低廉，测试效率高。
一种量子芯片测试结构制备方法

[发明专利]超导量子干涉仪及其制备方法-CN202211306367.7在审
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：合肥本源量子计算科技有限责任公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： H10N60/01 文献下载
摘要：该制备方法包括：提供衬底；在衬底上形成由至少一个第一约瑟夫森结组成的第一结电路以及由至少一个第二约瑟夫森结组成的第二结电路，其中，第一结电路与第二结电路的一端电连接、另一端开路；在衬底上形成分别与第一结电路和第二结电路的另一端电连接的导体元件，以构成超导量子干涉仪；其中，第一约瑟夫森结与第二约瑟夫森结的数量和/或连接关系被配置为使第一结电路与第二结电路的等效电阻不相等。
超导量子干涉仪及其制备方法

[发明专利]一种超导量子电路及超导量子器件-CN202311142936.3在审
发明人：应江华;李志远;辜刚旭;高岩松;沈李炯;栾添 -专利权人：量子科技长三角产业创新中心
申请日： 2023-09-06 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H10N60/80 文献下载
摘要：本发明公开了一种超导量子电路及超导量子器件，应用于超导量子技术领域，包括量子比特，量子比特包括半导体约瑟夫森结和栅电极；半导体约瑟夫森结包括相对设置的两层超导层，以及位于两层超导层之间的半导体层，栅电极与半导体层形成电容以电连接；栅电极用于向半导体约瑟夫森结传输电压控制信号，以调控所述量子比特的频率。使用半导体层替换传统的绝缘层制成半导体约瑟夫森结，通过设置的栅极便可利用电压调控半导体约瑟夫森结的超导电流大小，从而实现电压对量子比特频率的调控。
一种超导量子电路器件

[发明专利]一种约瑟夫森结阵量子器件、电压计量系统-CN202011333706.1在审
发明人：曹文会;李劲劲;钟源;钟青;王雪深 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： G01R19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种约瑟夫森结阵量子器件及电压计量系统，其中，该约瑟夫森结阵量子器件包括：多条串联的约瑟夫森结支路，每一条所述约瑟夫森结支路包括：多个串联的约瑟夫森结，所述多个串联的约瑟夫森结之间接入预设数量的均衡引线，每一条约瑟夫森结支路包含的约瑟夫森结数量以及均衡引线的数量均相同。本发明通过在约瑟夫森结阵的各条约瑟夫森结支路均引入相同的均衡引线以及设置相同数量的约瑟夫森结，使得微波在约瑟夫森结阵的各条约瑟夫森结支路更加均衡的传输，实现了微波功率的均匀分配，从而使得约瑟夫森结阵的量子电压台阶的位置和宽度都达到了比较优化的效果
一种约瑟夫森结阵量子器件电压计量系统

[实用新型]一种约瑟夫森结阵量子器件、电压计量系统-CN202022749751.7有效
发明人：曹文会;李劲劲;钟源;钟青;王雪深 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： G01R19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种约瑟夫森结阵量子器件及电压计量系统，其中，该约瑟夫森结阵量子器件包括：多条串联的约瑟夫森结支路，每一条所述约瑟夫森结支路包括：多个串联的约瑟夫森结，所述多个串联的约瑟夫森结之间接入预设数量的均衡引线，每一条约瑟夫森结支路包含的约瑟夫森结数量以及均衡引线的数量均相同。本实用新型通过在约瑟夫森结阵的各条约瑟夫森结支路均引入相同的均衡引线以及设置相同数量的约瑟夫森结，使得微波在约瑟夫森结阵的各条约瑟夫森结支路更加均衡的传输，实现了微波功率的均匀分配，从而使得约瑟夫森结阵的量子电压台阶的位置和宽度都达到了比较优化的效果
一种约瑟夫森结阵量子器件电压计量系统

[发明专利]一种双层约瑟夫森结的超导集成电路及其制备方法-CN202210079909.5在审
发明人：任洁;林倩;应利良;王镇 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2022-01-24 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01L27/18 文献下载
摘要：本发明提供一种双层约瑟夫森结的超导集成电路及其制备方法，该超导集成电路包括衬底、逻辑层及信号传输层，其中，逻辑层位于衬底上方，逻辑层包括至少一用于存储和/或运算的下层约瑟夫森结；信号传输层位于逻辑层上方并与逻辑层电连接以对逻辑层的输入输出信号进行传输，信号传输层包括至少一用于约瑟夫森传输线的上层约瑟夫森结。本发明采用双层约瑟夫森结设置，上层约瑟夫森结可无需配置偏置电阻与并联电阻，不仅有利于提高超导集成电路的集成度，还有利于提高超导集成电路的频率，且更小的约瑟夫森传输线集成面积使得上层信号传输层对下层逻辑的布线更加灵活自由
一种双层约瑟夫超导集成电路及其制备方法

[发明专利]高能效SFQ逻辑偏置技术-CN202080020497.7在审
发明人： S·R·怀特利 -专利权人：美商新思科技有限公司
申请日： 2020-03-12 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： H03K19/195 文献下载
摘要：本文公开了包括电结构的实施例，该电结构包括第一单元、第一电感器、第一电阻器和第一分流约瑟夫森结。第一电感器在第一电感器的第一端子端部处与第一分流约瑟夫森结串联连接，并且第一电感器的第二端子端部连接到被供电的第一单元的馈电点。第一电阻器的第一端部连接到接地，并且第二端部在第一分流约瑟夫森结的未连接到第一电感器的端子处连接到第一分流约瑟夫森结。在第一单元外部的电流源的源在公共点处连接到第一分流结和第一电阻器。
能效 sfq 逻辑偏置技术

[发明专利]超导电路、量子比特装置及其制备方法-CN202110130673.9在审
发明人：马亮亮;李坤锋;苏义旭;苗强强;谈飞洋;高强;肖佳宝 -专利权人：合肥本源量子计算科技有限责任公司
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L27/18 文献下载
摘要：所述超导电路包括：待连接结构；引出结构，所述引出结构与约瑟夫森结的超导层电连接；以及过渡结构，所述过渡结构覆盖部分所述待连接结构和部分所述引出结构以实现电连接。还公开了制备该超导电路的制备方法。所述超导电路及其制备方法能够实现约瑟夫森结与待连接结构(例如，对地电容、接地层(GND))良好的电性接触。从而解决了相关工艺制备的约瑟夫森结与对地电容、接地层(GND)等待连接结构的电性接触不良，从而影响到超导量子芯片的性能参数的问题。
超导电路量子比特装置及其制备方法

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