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- [发明专利]晶片顶升装置及其顶升方法-CN201511003533.6有效
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龚岳俊;黄允文
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中微半导体设备(上海)股份有限公司
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2015-12-29
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2019-08-06
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H01L21/683
- 一种晶片顶升装置及其顶升方法,利用第一顶升组件完成第一顶升阶段,微型气缸驱动顶杆组件上升顶起晶片,使晶片与静电吸盘分离,利用第二顶升组件完成第二顶升阶段,气缸进一步驱动微型气缸和顶杆组件将晶片顶升至设定距离本发明采用微型气缸来实现第一阶段顶升过程,利用微型气缸来调节顶杆的顶升高度和顶升速度,获得相同的顶升时间和顶升力,微型气缸的行程短,合理控制微型气缸的进气量可以实现轻柔稳定的顶升过程,防止晶片受损,微型气缸的体积小,节省了空间,采用多个微型气缸实现第一阶段顶升,而利用一个气缸实现第二阶段顶升,更加灵活,且降低了成本,不需要采用氦气,避免了晶片被污染的风险。
- 晶片装置及其方法
- [实用新型]直升有翼飞机-CN00210240.4无效
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韩秀文;谭福仲
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韩秀文;谭福仲
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2000-09-08
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2001-07-18
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B64C27/26
- 一种直升有翼飞机,有机身、机翼、水平推进螺旋桨、尾翼、起落架,机身内有发动机、传动装置,发动机的轴与水平推进螺旋桨的轴之间通过有离合器的传动装置相连,在机身的上方有升翼,升翼有在同一条直线上的两个桨片,升翼的轴与发动机轴之间通过有离合器的传动装置相连。本实用新型有水平推进螺旋桨和与直升飞机相同的升翼,使飞机可以水平飞行,不用跑道的可以垂直起落。
- 直升有翼飞机
- [实用新型]一种单驱动正反转搅拌机-CN201922110231.9有效
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陈磊;夏永立
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河南鼎能电子科技有限公司
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2019-11-30
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2020-09-08
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B01F7/24
- 本实用新型公开一种单驱动正反转搅拌机,包括载物台、搅拌机构、位于搅拌机构正下方的搅拌桶、搅拌驱动机构以及载物台顶升机构,搅拌机构包括主轴、同轴心固定于主轴上的分散盘、与主轴通过轴承同轴心连接的搅拌桨驱动轴以及对称固定于搅拌桨驱动轴上的一组搅拌桨,搅拌驱动机构包括电机以及正反转传动齿轮组件,电机的驱动端连接主轴,主轴上同轴心固设有小齿轮,搅拌桨驱动轴上同轴心设有大齿轮,电机驱动主轴转动带动分散盘正向搅拌,小齿轮和大齿轮分别与正反转传动齿轮组件啮合从而实现搅拌桨的反向搅拌该搅拌机采用中间分散盘与两边搅拌桨相互配合使用,兼具搅拌和分散功能,使浆料的搅拌更能均匀的混合在一起。
- 一种驱动反转搅拌机
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