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[发明专利]样品保持件、系统和方法-CN202080022103.1在审
发明人： T.A.卡斯;S.坎德尔;N.科特瓦尔;A.顾;Z.吴;W.布罗德里克 -专利权人：卡尔蔡司SMT股份有限公司
申请日： 2020-03-17 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： G01N23/046 文献下载
摘要：一种用于在X射线成像过程期间保持样品的样品保持件，所述样品保持件包括：样品放置表面，样品放置在该样品放置表面上以用于在样品保持件的深度方向上定位样品；用于在样品保持件的宽度方向上对准样品的第一对准部分；以及用于在样品保持件的高度方向上对准样品的第二对准部分。
样品保持系统方法

[发明专利]带电粒子系统、使用带电粒子的多束处理样品的方法-CN202180092401.2在审
发明人： M·J-J·维兰德 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：公开了带电粒子系统和用于使用带电粒子的多束处理样品的方法。在一种布置中，柱将带电粒子的子束的多束引导到样品的样品表面上。样品在平行于第一方向的方向上移动，同时柱用于在平行于第二方向的方向上在样品表面之上重复扫描多束。因此利用每个子束处理样品表面上的细长区域。样品在与第一方向倾斜或垂直的方向上被移位。
带电粒子系统使用处理样品方法

[发明专利]扫描探针显微镜及扫描方法-CN200410085110.9有效
发明人：北岛周;渡边和俊;胁山茂;安武正敏;井上明 -专利权人：精工电子纳米科技术有限公司
申请日： 2004-08-25 - 公布日： 2005-06-08 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：公开了扫描探针显微镜和扫描方法，其能减小或避免因探针尖与样品碰撞而造成的损害，缩短测量时间，提高生产力和测量精确度，不受粘附水层的影响收集样品表面的观测数据，如形貌数据。显微镜具有振动探针尖的振动单元、探针尖与样品表面接近或接触时收集观测数据的观测单元、探针尖与样品表面接近或接触时检测探针尖振动状态变化的检测单元和控制探针尖在平行于样品表面的X和Y方向上及在垂直于样品表面的Z方向上移动的控制单元。在收集观测数据以后，控制单元在平行于样品表面的方向上扫描探针尖，直到达到在X或Y方向上的下一观测位置。在扫描中，若检测到探针尖振动状态变化，控制单元就在Z方向上远离样品表面移动探针尖。
扫描探针显微镜方法

[发明专利]一种透射电镜样品的制备方法-CN202210113911.X在审
发明人：高强;郑朝晖 -专利权人：上海季丰电子股份有限公司
申请日： 2022-01-30 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G01N1/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种透射电镜样品的制备方法，该方法包括：固定样品至样品台的载网上；沿旋转轴旋转样品台，旋转轴的延伸方向与样品的待减薄表面的法线方向平行；在样品台的旋转过程中，沿切割方向切割样品，切割方向与待减薄表面所在平面平行本发明实施例提供的技术方案，在对样品的切割过程中，切割方向始终与待减薄表面所在平面平行，通过改变样品台的旋转角度，能够使切割光束直接以一定角度切割难切割成分后面的部分区域，减少拉痕的出现，使待减薄表面的切割厚度更加均匀，进一步使得制备的透射电镜样品的厚度比较均匀，提升制样成功率；并且由于制备的透射电镜样品厚度比较均匀，也能为后续观察分析提供便利。
一种透射样品制备方法

[发明专利]一种透射电镜样品的制备方法-CN202111579672.9在审
发明人：马旭文;季春葵;郑朝晖 -专利权人：上海季丰电子股份有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种透射电镜样品的制备方法，包括：将载网和样品水平放置于样品台表面，并焊接样品至载网上；调整载网和样品与样品台表面垂直，沿第一方向对样品的第一表面进行切割，以减薄样品的第二表面；调整载网和样品与样品台表面平行，并将样品从载网上取下；调整载网与样品台表面垂直；重新焊接样品至载网上，沿第一方向对样品的第二表面进行切割，以减薄样品的第一表面，直至样品暴露待检测位置。本发明实施例提供的技术方案，在透射电镜样品的制备过程中，通过改变载网与样品台的相对位置，实现对于样品多个表面的观察与切割，提高切割的准确性；另外，通过旋转载网的方式调整切割面，无需技术人员调整样品位置，
一种透射样品制备方法

[实用新型]一种断口图像分析仪的旋转定位样品台-CN201621168374.5有效
发明人：王志杰;张艳秋;祝铁柱;类成华;丁振敏;张敬敏 -专利权人：钢铁研究总院
申请日： 2016-10-26 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型属于金属分析测量仪器领域，特别涉及一种断口图像分析仪的旋转定位样品台。该样品台包括重叠放置的Y方向运动装置(24)、X方向运动装置(25)和旋转装置(26)；所述Y方向运动装置(24)用于Y方向上前后移动待测样品(23)；所述X方向运动装置(25)用于X方向上左右移动待测样品(23)，所述旋转装置(26)用于360度旋转待测样品(23)。本实用新型的断口图像分析仪的旋转定位样品台结构简单，稳定性高，灵敏度高，能方便、迅速的对待测样品进行三维位置的调整，确保待测样品能够成像在CCD相面的中间以及样品表面处在镜头的最佳物平面处使样品表面成像清晰
一种断口图像分析旋转定位样品

[发明专利]一种样品制备方法及装置-CN202010795796.X有效
发明人：夏思;张洋 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-08-10 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： G01N1/04 文献下载
摘要：本发明提供一种样品制备方法及装置，对3D‑NAND存储器截面上的待检测层做出标记，待检测层位于3D‑NAND存储器衬底上，截面为垂直于衬底方向的表面；沿着截面的垂直方向且平行于衬底的方向提取样品，样品包括待检测层；根据标记对样品进行减薄，以获得样品中的待检测层。这样，在3D‑NAND存储器垂直于衬底方向的表面上对待检测层做出标记，而后沿着截面的垂直方向且平行于衬底的方向上提取样品，在提取样品的过程中仅需提取待检测层及待检测层周围的少量叠层。相比于从3D‑NAND存储器的表面提取样品，从截面获取样品，具有很小的体积和质量。而且提取的样品在进行减薄处理时，仅需去除待检测层周围的部分其他叠层，减少机台资源的浪费。
一种样品制备方法装置

[发明专利]实验室样品分配系统-CN202110957634.6在审
发明人： Y·蔡 -专利权人：豪夫迈·罗氏有限公司
申请日： 2021-08-19 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： G01N35/04 文献下载
摘要：实验室样品分配系统。一种实验室样品分配系统，其包括：多个样品容器载体，以及多个传送模块，其中每个传送模块包括：传送表面，其中所述传送模块可布置成沿行方向以及沿列方向彼此相邻，使得所述传送模块的所述传送表面一起形成共同的传送表面，以及可控驱动装置，所述可控驱动装置布置在所述传送表面下方并适于在所述传送表面的顶部上移动所述样品容器载体，其中所述多个传送模块中的至少一些传送模块是可移动的传送模块，所述可移动的传送模块适于在所述实验室样品分配系统的操作期间移动，使得在沿行方向和/或列方向布置的传送模块之间形成间隙，或者使得在沿行方向和/或列方向布置的传送模块之间关闭间隙。
实验室样品分配系统

[发明专利]样品采集装置-CN200980112466.8有效
发明人：伯纳德·A·冈萨雷斯;G·马可·博马里托;保罗·J·科比安;特拉·M·诺德比;图沙尔·A·克希尔萨加尔;斯科特·A·伯顿;约瑟夫·J·斯托费尔;帕特里克·A·马赫;古斯塔沃·H·卡斯特罗 -专利权人： 3M创新有限公司
申请日： 2009-02-10 - 公布日： 2011-03-23 - 主分类号： G01N1/02 文献下载
摘要：本发明公开的样品采集装置包括毛细管阵列，所述毛细管阵列被构造成通过毛细作用吸入样品并保留样品。所述毛细管阵列可以连接到细长构件，例如杆或中空管，所述细长构件限定沿第一方向延伸的纵向轴线。在一些实施例中，所述毛细管阵列限定主样品采集表面，所述主样品采集表面沿第二方向延伸，所述第二方向不同于所述第一方向。可以选择所述主样品采集表面的面积与所述毛细管阵列保留的最大体积之比，以最大程度地减小所述毛细管阵列与样品之间的物理粘结。在一些实施例中，所述装置可以包括反馈机构，以指示所述样品采集装置施加到样品源的相对压力。此外，在一些实施例中，所述样品采集装置可以包括吸入源，以有助于将样品吸入所述毛细管阵列中。
样品采集装置

[发明专利]一种基于数字图像关联法的样品表面处理方法和应变测试装置-CN202110283166.9在审
发明人：程文煜;胡晓棉;潘昊 -专利权人：程文煜
申请日： 2021-03-16 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G01N1/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于数字图像关联法的样品表面处理方法和应变测试装置，特别是涉及数字图像关联方法中的样品制作和图像采集两个重要步骤。通过镜面抛光样品表面和喷砂处理，可以控制样品表面散斑的大小和优化样品表面散斑的质量，从而提高拍摄照片的质量。通过搭建应变测试装置，相机能够分别沿着水平方向、竖直方向、横向三个方向独立进行移动，快速获得与样品所需观测区域的最佳距离，极大的提高了实验的效率。并且为了消除环境光对实验过程的干扰，LED光源通过光纤均匀的照在样品的观测表面。此外，通过更换CMOS相机上的目镜，可以在一组实验中获得不同大小的样品观测区域和不同像素大小的散斑分布，提高实验数据的鲁棒性和准确度。
一种基于数字图像关联样品表面处理方法应变测试装置

[发明专利]测试样品及其制备方法-CN201910099456.0在审
发明人：魏磊 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2019-01-31 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： G01Q30/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种测试样品及其制备方法，所述测试样品的制备方法包括：提供一包含目标区域的样品，所述样品由待测半导体样品研磨而成，具有单片晶圆厚度，所述目标区域的待测截面垂直于所述样品的厚度方向；在所述样品的厚度方向上的两侧侧壁粘附陪片晶圆，所述陪片晶圆的表面与所述样品的表面齐平；对所述陪片晶圆和所述样品表面整体进行研磨，直至暴露出所述目标区域的待测截面，研磨后的样品和陪片晶圆整体作为测试样品。上述方法能够提高测试样品的准确性。
测试样品片晶目标区域研磨制备半导体样品表面齐平单片晶圆样品表面侧壁粘附垂直暴露

[发明专利]TEM样品的制备方法-CN202210154880.2在审
发明人：陈强;陈柳;高金德 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2022-02-21 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01N23/2202 文献下载
摘要：本发明公开了一种TEM样品的制备方法，包括：步骤一、提供在第一表面上形成有金属保护层的芯片样品。步骤二、将芯片样品固定在FIB系统的样品台上。步骤三、沿第一方向对金属保护层进行第一次FIB切割形成一个凹槽；第一方向为TEM样品的宽度方向，第二方向和第一方向垂直的方向；凹槽沿第一方向延伸。在沿第二方向的剖面上，凹槽的内侧表面呈弧形使凹槽区域的金属保护层的厚度逐渐变化。步骤四、沿第三方向进行第二次FIB切割对芯片样品进行减薄并形成TEM样品，第三方向由金属保护层指向芯片样品，利用金属保护层的厚度调节切割速率并从而使TEM样品的宽度逐渐变化并获取最佳观测区。本发明能实现对TEM样品的厚度精确控制，从而提高TEM分析质量。
tem 样品制备方法

[发明专利]一种金刚石大深宽比垂直沟槽激光加工方法-CN201810742445.5在审
发明人：张振宇;崔俊峰;王博;陈雷雷;刘冬冬 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2018-07-09 - 公布日： 2018-11-20 - 主分类号： B23K26/352 文献下载
摘要：利用激光束对样品表面进行扫描，加工出金刚石深宽比大于9的垂直沟槽。激光束为飞秒激光，脉冲宽度为100‑300fs，将样品水平固定在工作台上，并调整工作台高度，使样品待加工表面处于激光束焦平面上，调整激光头与样品待加工表面之间的夹角，使激光束入射角为4‑10°，打开激光束及氮气辅助气体，使激光束沿x轴方向在样品表面进行直线扫描，将激光束沿y轴方向进给，并沿与x轴扫描方向相反的方向扫描，激光束在样品表面扫描出矩形区域，激光束沿深度方向进给，达到设定深度，取出，超声清洗。
激光束深宽比金刚石垂直沟槽激光加工待加工表面样品表面进给激光束入射角样品表面扫描氮气难加工材料超声清洗方向扫描飞秒激光辅助气体矩形区域扫描方向特种加工样品水平直线扫描工作台激光头焦平面脉冲取出扫描加工

[发明专利]样品表面涂层取样设备-CN201110429086.6无效
发明人：戴煦;苏康宇;陈军;郭冰;朱平 -专利权人：深圳市华测检测技术股份有限公司
申请日： 2011-12-20 - 公布日： 2012-05-09 - 主分类号： G01N1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种样品表面涂层取样设备，包括：底座，所述底座呈水平设置；所述样品固定装置沿Y轴方向滑动的安装于所述底座上，包括基座及设置在所述基座两侧的压紧装置，样品承载于所述基座上，所述压紧装置对样品进行压紧固定；所述刀片滑行控制装置上装设有刀片，且沿X轴方向滑动的安装于所述底座上，所述刀片驱动装置与所述刀片固定连接，并驱动刀片在样品的上表面旋转刮取样品的表面涂层。本发明公开的表面涂层取样设备可广泛应用于刮取样品的表面涂层，结构简单，使用方便，能有效地提高样品表面涂层的取样工作效率，取样量大，安全可靠。
样品表面涂层取样设备

[实用新型]样品表面涂层取样设备-CN201120536059.4有效
发明人：戴煦;苏康宇;陈军;郭冰;朱平 -专利权人：深圳市华测检测技术股份有限公司
申请日： 2011-12-20 - 公布日： 2012-08-22 - 主分类号： G01N1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种样品表面涂层取样设备，包括：底座，所述底座呈水平设置；所述样品固定装置沿Y轴方向滑动的安装于所述底座上，包括基座及设置在所述基座两侧的压紧装置，样品承载于所述基座上，所述压紧装置对样品进行压紧固定；所述刀片滑行控制装置上装设有刀片，且沿X轴方向滑动的安装于所述底座上，所述刀片驱动装置与所述刀片固定连接，并驱动刀片在样品的上表面旋转刮取样品的表面涂层。本实用新型公开的表面涂层取样设备可广泛应用于刮取样品的表面涂层，结构简单，使用方便，能有效地提高样品表面涂层的取样工作效率，取样量大，安全可靠。
样品表面涂层取样设备

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