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[发明专利]用于透射电子显微镜检测的样品组及其制作方法-CN201010275065.9有效
发明人：杨卫明;赵燕丽;庞凌华;段淑卿;齐瑞娟 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2010-09-03 - 公布日： 2012-03-21 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于透射电子显微镜(TEM)检测的样品组，所述样品组包括粘合在一起的层状标识件和至少两个样品，样品组中各样品的被粘合的表面均为样品的非检测面，且各样品的检测面均暴露于样品组的供透射电子显微镜检测之用的表面；层状标识件位于样品组中的两个样品的非检测面之间，并以相反的两个表面分别与两个样品的非检测面粘合，以标识各样品的排列方向；或层状标识件仅以一个表面与位于样品组的首端或尾端的非检测面粘合，以标识样品组的首端或尾端相对于现有的TEM检测样品组，使用该样品组，可方便地区分相同或相似图案的多个样品，从而提高TEM检测的整体效率。该样品组能够在目前的IC工艺中得到广泛的应用。
用于透射电子显微镜检测样品及其制作方法

[发明专利]探针位置控制系统和方法-CN200710138848.0有效
发明人：阿部真之;大田昌弘;杉本宜昭;森田健一;大薮范昭;森田清三;卡斯坦斯·奥斯卡 -专利权人：株式会社岛津制作所;国立大学法人大阪大学
申请日： 2007-05-24 - 公布日： 2007-12-05 - 主分类号： G12B21/20 文献下载
摘要：本发明提供一种消除热漂移或者其他变化的影响的技术，通过使用该技术，改善扫描探针显微镜或者原子机械手的观测或者操作精度，校正在观测或者操作过程中由于发热或者其他因素引起的探针与样品相对位置的前述变化。为了获得样品表面的原子级图像，或者在样品表面上的原子上执行特定操作，本发明适用于探针位置控制方法，以便当测量样品表面上的目标原子与探针尖端之间相互作用时控制探针与样品的相对位置。在本方法中，当探针在平行于样品表面的两个方向上以频率f₁和f₂相对于样品振荡时(S1a)，探针与样品的相对位置发生变化。同时，根据在垂直于被探测样品表面的方向上作用的相互作用的测量值来探测频率f₁和f₂消失的点(或者特征点)(S1b)。然后，控制探针与样品的相对运动，从而保持由此探测的测量值(即被跟踪的特征点；S1c)，确定前述的相对运动速度(S1d)。随后，利用探测的速度校正相对位置控制(S2)。
探针位置控制系统方法

[发明专利]一种基于热流传感器各向异性薄膜热导率测试方法及装置-CN201410149625.4有效
发明人：张立强;杨平;袁晓明;秦芳;刘东静;邓林;葛道晗 -专利权人：江苏大学
申请日： 2014-04-15 - 公布日： 2014-07-23 - 主分类号： G01N25/20 文献下载
摘要：本发明公开一种基于热流传感器各向异性薄膜热导率测试方法及装置，测试平台的内部埋置多个热流传感器，测试平台的上表面上置放待测样品衬底，样品衬底的上表面上置放待测薄膜样品，加热头位于待测薄膜表面处，多个热流传感器在测试平台的水平方向上呈一字型等距离埋置，每个热流传感器的上表面与测试平台的上表面平齐；计算机在同一时刻分别记录多个热流传感器的热流测量值，根据傅里叶公式计算出待测薄膜在水平方向的平均热导率，将待测样品衬底和待测薄膜整体翻转，记录其中一个热流传感器的热流值，根据公式计算出待测薄膜垂直方向上的热导率；可以有效的一次性快速测量薄膜的水平及垂直方向上的热导率。
一种基于热流传感器各向异性薄膜热导率测试方法装置

[发明专利]低铁损且低磁致伸缩的方向性电磁钢板-CN201580023695.8有效
发明人：新井聪;滨村秀行;村上健一;藤井浩康;小林英之;藤井宣宪;沟上雅人 -专利权人：新日铁住金株式会社
申请日： 2015-05-08 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： C22C38/00 文献下载
摘要：本发明的方向性电磁钢板具有钢板母材、形成在上述钢板母材的表面的一次覆膜以及形成在上述一次覆膜的表面的张力绝缘覆膜，磁畴控制是通过从上述张力绝缘覆膜之上照射激光来进行的。从上述方向性电磁钢板采取与上述方向性电磁钢板的轧制方向平行的方向的长度为300mm并且与板宽方向平行的方向的长度为60mm的条状样品，通过对上述样品的至少单面进行酸洗，将从上述张力绝缘覆膜的表面到由上述钢板母材与上述一次覆膜的界面向上述钢板母材一侧为5μm的深度位置为止的范围除去，然后对上述样品的翘曲量进行测定，此时上述翘曲量满足规定的条件。
低铁损低磁致伸缩方向性电磁钢板

[发明专利]表征铁晶须生长方向的方法-CN202211127098.8在审
发明人：马凯辉;陈茅;方云鹏;胡鹏 -专利权人：攀钢集团研究院有限公司
申请日： 2022-09-16 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G01N23/2251 文献下载
摘要：本发明公开了一种表征铁晶须生长方向的方法。所述方法包括：使得铁氧化物与CO在预定温度发生反应，反应后获得原始样品；利用FIB‑SEM系统对所述原始样品表面生长的铁晶须进行处理，获得待测样品；利用透射电子显微镜对所述待测样品进行观察及分析，表征铁晶须的生长方向本发明能够表征铁晶须生长方向，进而揭示非高炉炼铁过程中的还原粘结问题。
表征须生方向方法

[发明专利]一种固体样品元素成分快速检测系统-CN201910852756.1在审
发明人：孙兰香;李洋;张鹏;于海斌;齐立峰 -专利权人：中国科学院沈阳自动化研究所
申请日： 2019-09-10 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： G01N21/71 文献下载
摘要：本发明属于固体样品光谱测量分析技术领域，特别涉及一种固体样品元素成分快速检测系统。包括设置在激光器出光方向的聚焦镜组以及通过光纤与收集镜组连接的光谱仪，聚焦镜组出光方向与收集镜组收集方向相交并在相交处设置有能够放置样品的样品架；样品架与聚焦镜组之间设置有风扫单元，风扫单元用于在聚焦镜组与样品架之间形成定向气流本发明克服了固体样品特别是粉末压样或者烧结材料等质地疏松的固体样品在测量过程所面临的溅射颗粒物干扰及污染问题，可迅速更换样品且避免样品上表面高度变化对测量所产生不利影响。
固体样品聚焦镜组样品架风扫光谱仪激光器收集镜计算机控制单元产生不利影响快速检测系统测量过程定向气流高度变化光谱测量烧结材料污染问题质地疏松颗粒物上表面相交处组连接组收集溅射压样相交测量光纤分析

[实用新型]高精度原子力显微镜的镜体-CN200420060440.8无效
发明人：杨学恒;詹捷;陈昌杰;王银峰;陈红兵;吴世春;费德国;杨家楷;谢超;杨俊林;勒平;王海朋 -专利权人：重庆大学
申请日： 2004-07-23 - 公布日： 2006-08-09 - 主分类号： G01N13/12 文献下载
摘要：高精度原子力显微镜的镜体涉及纳米检测装置，它主要解决高精度地测量绝缘体表面原子形貌的问题，解决的技术方案是在扫描隧道显微镜镜体的测针与样品台之间加入微悬臂，并由调节机构控制其位移，样品台下加入下压电陶瓷，斜面电动调节机构，以控制样品台水平方向扫描，垂直方向位移，本实用新型的用途是作固体表面的显微分析与纳米加工。
高精度原子显微镜

[发明专利]一种透明基材上金属导线印迹形貌特征的检测和表征方法-CN201310116410.8有效
发明人：徐艳芳;李路海;李修;李亚玲;莫黎昕 -专利权人：北京印刷学院
申请日： 2013-04-03 - 公布日： 2013-08-07 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种透明基材上金属导线印迹的形貌特征检测和表征方法，包括（1）从透明基材的金属导线印迹样品的背面，沿与样品表面垂直方向照射样品，光源为白光，且为平行光；在透明基材的金属导线印迹样品的正面沿样品表面垂直方向设置CCD成像系统；（2）对CCD成像系统进行光透过率的标定；（3）拍摄得到透明基材上金属导线印迹的灰度数字影像；（4）利用标定关系，对灰度数字影像进行数值转换，形成印迹样品的光透过率数字影像；（5）任意选取金属导线印迹中的一段，通过数字图像处理的方法得到金属导线印迹的表面形貌、面粗糙度，以及印迹线宽度和线边缘粗糙度等形貌特征。
一种透明基材金属导线印迹形貌特征检测表征方法

[发明专利]荧光检测设备-CN200680006700.5无效
发明人： E·福尔;S·莱韦克－福尔;E·勒莫阿尔;M－P·方丹－奥帕尔;C·里科莱奥 -专利权人：国家科学研究中心
申请日： 2006-03-02 - 公布日： 2008-02-27 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本发明涉及一种荧光检测设备，此设备包括承载样品(111)的载体装置(101)、使样品(111)发射荧光的样品激发装置和用来检测所述荧光的检测装置，所述的载体装置(101)包含具有粗糙表面(115)的可以使所述荧光偏向多个方向的层，所述的检测装置覆盖在观测锥体上，在多个方向收集被偏转的荧光。
荧光检测设备

[发明专利]飞秒激光协同氧化反应制备宽谱带抗反射结构的方法-CN201910484540.4在审
发明人：姜澜;柳海林;胡洁 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-06-05 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：该方法先将待加工材料(样品)置于飞秒激光加工光路系统中，利用聚焦物镜，使飞秒激光的光斑聚焦在样品表面；然后通过控制飞秒激光加工光路中机械快门的开关和平移台的移动，使飞秒激光的聚焦光斑在样品表面先后进行x方向和y方向的烧蚀加工，在样品表面制备出微米级锥状结构阵列；最后将样品置于搅拌均匀的过硫酸铵和氢氧化钠的混合溶液中，发生氧化反应使样品表面生长出海胆状微纳米复合结构。
飞秒激光样品表面抗反射结构制备飞秒激光加工协同氧化宽谱带微纳米复合结构加工技术领域锥状结构阵列待加工材料混合溶液中抗反射性能光斑光路系统过硫酸铵机械快门聚焦光斑聚焦物镜氢氧化钠氧化反应微米级波长超宽胆状光伏光路烧蚀聚焦生长移动加工军事应用

[发明专利]一种二维纳米材料各向异性的快速检测方法-CN201910177288.2在审
发明人：张晗;赵劲来;郭志男;汤皎宁;张家宜;曹睿;王慧德 -专利权人：深圳大学
申请日： 2019-03-08 - 公布日： 2019-05-17 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本发明提供一种二维纳米材料各向异性的快速检测方法，其包括如下步骤：制备二维纳米材料样本；将制备好的所述二维纳米材料样本固定到光学显微镜的载物台上；对所述二维纳米材料样品表面进行加湿；利用光学显微镜对所述二维纳米材料样品表面进行图像采集，获取液滴在所述二维纳米材料样品表面的分布情况；根据液滴在所述二维纳米材料样品表面的分布情况，确定所述二维纳米材料样品的各向异性。本发明所需实验设备简单、且操作方便、快速，只需短短几十秒即可检测出二维纳米片的之字形方向和扶手椅方向，另外，该检测方法准确率高，且对二维纳米片样品无任何损坏，具有广阔的应用前景。
二维纳米材料样品表面二维纳米片光学显微镜快速检测液滴制备样本扶手椅实验设备图像采集之字形检测准确率加湿载物应用

[发明专利]一种光学材料亚表面损伤层深度及形貌测量方法-CN201410315052.8有效
发明人：田爱玲;王春慧;田玉珺;王红军;朱学亮;刘丙才 -专利权人：西安工业大学
申请日： 2014-07-04 - 公布日： 2014-09-24 - 主分类号： G01B7/26 文献下载
摘要：本发明涉及光学精密测量技术领域，特别是一种亚表面损伤层厚度的测量方法，首先将样品装夹在匀速运动的装夹机构上，控制装夹机构使样品浸入HF酸溶液，直到样品完全没入溶液；迅速从溶液提出样品，并使用探针式轮廓仪测量腐蚀后的剖面，得到裂纹纵深方向和样品竖直运动方向的轮廓曲线；由曲线上取得数据开始趋向平稳变化的临界点或极点，及测量过程中记录下的起始点，求得这两点之间的高度差或投影在原有表面两点的高度差，即样品亚表面损伤层深度D；采用本发明方法简单、快捷、准确，可以同时测得亚表面层深度和三维形貌，测试精度高，成本低，直观性强，对测试设备要求低。
一种光学材料表面损伤深度形貌测量方法

[发明专利]一种非金属表面气泡成像装置及方法-CN201811357930.7在审
发明人：王丰芹;梁光胜;汪魁峰;黄凯;姚琪;于跃;于波;张强 -专利权人：北京海瑞克科技发展有限公司
申请日： 2018-11-15 - 公布日： 2019-03-12 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种非金属表面气泡成像装置及方法。该装置包括光源模块和成像模块，光源模块用于发出入射光，并照射在待测样品的表面，成像模块用于采集待测样品的表面反射出的反射光，以获得成像结果。其中，光源模块的出光方向与待测样品的表面的夹角小于第一预设值；光源模块与待测样品的表面之间的距离大于第二预设值，并小于第三预设值。相较于现有技术中在对待测样品的表面成像前，需对待测样品的表面进行涂墨以及涂抹白色粉末等前期处理，本发明实施例提供的技术方案可以省去前期处理的步骤，直接对待测样品的表面成像，进而简化成像操作步骤，避免成像失真
待测样品光源模块预设非金属表面表面成像成像模块成像装置前期处理成像白色粉末表面反射成像操作成像结果反射光入射光涂墨涂抹失真照射采集

[实用新型]一种便于查看水样品的观察装置-CN202223035110.0有效
发明人：李杰;张焱;张鹏 -专利权人：东营市水文中心
申请日： 2022-11-14 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本实用新型公开了观察装置领域的一种便于查看水样品的观察装置，包括安装板，安装板上表面的四角均固定有固定杆，安装板上表面的中部间隔固定有若干固定块，固定块上表面的中部沿竖直方向插设有若干容液管，固定杆的上端之间共同沿竖直方向滑动安装有移动板，移动板上表面的中部间隔安装有若干呈竖直状态的显微镜，移动板上位于显微镜的下侧开设有相匹配的留置槽，移动板下表面的两侧均沿水平方向滑动安装有夹块，夹块相对面的中部对应容液管开设有若干槽口，在使用的过程中，便于同时对不同的水样品进行观察对比，有利于对观察装置进行使用，有助于对不同的水样品进行对比分析，能够提升对水样品进行观察工作的工作效率。
一种便于查看水样观察装置

[实用新型]一种激光剥蚀装置-CN202320403296.6有效
发明人：王琳;蒋建兵 -专利权人：上海凯来仪器有限公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光剥蚀装置，所述振镜模块、激光光源、样品台、采样管和采样杯；所述激光光源发射剥蚀激光，所述剥蚀激光经过振镜模块后对样品台上盛放的样品进行剥蚀；所述振镜模块用于将剥蚀激光在样品表面的若干个不同位置形成聚焦光斑，所述聚焦光斑形成剥蚀区域；所述采样管一端与采样杯连接，所述采样杯对样品剥蚀出来的颗粒进行收集，所述采样杯与所述剥蚀区域中心的连线方向与所述剥蚀激光的方向不同轴。本实用新型使激光剥蚀样品后产生气溶胶颗粒的上升方向与激光方向不同轴，使剥蚀产生的气溶胶颗粒不会对激光产生干扰，提升剥蚀效率。
一种激光剥蚀装置