专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种运动台定位误差补偿装置及补偿方法-CN201610925991.3有效
  • 韩春燕;陈南曙 - 上海微电子装备(集团)股份有限公司
  • 2016-10-24 - 2020-12-04 - G03F7/20
  • 本发明公开了一种运动台定位误差补偿装置及补偿方法,该装置包括掩模版,掩模版上设有用于运动台定位误差测量的测量标记,测量标记包括X向测量标记和Y向测量标记;掩模台,用于承载掩模版;工件台,用于承载涂胶后的基底;投影物镜,将掩模版上的测量标记到基底上;对准装置,用于测量测量标记在显影后基底上的成像标记。在掩模版上设置X向测量标记和Y向测量标记,针对工件台和掩模台进行定位误差测试曝光,通过对准装置测量得到工件台和掩模台的定位误差,数据处理得到定位误差补偿表;利用得到的补偿表分别对工件台控制系统和掩模台控制系统进行前馈补偿
  • 一种运动定位误差补偿装置方法
  • [发明专利]丝网印刷装置和丝网印刷方法-CN201180061059.6有效
  • 阿部成孝;矢泽隆 - 松下电器产业株式会社
  • 2011-10-17 - 2013-08-21 - B41F15/08
  • 本发明的目的在于提供一种丝网印刷装置和丝网印刷方法,从而使得在水平地移动成像单元的构造中,基板定位精度的品质在继续生产过程中能够得到方便确认,所述成像单元具有用于使基板和掩膜板作为成像对象成像的两个成像光轴在执行目的是对于基板和掩膜定位的基准标记的位置检测的标记步骤之前,检测在水平方向上成像光轴之间的相对位置的光轴校准处理步骤和检测由成像单元的移动所引起的成像光轴的局部位置重合不良的表面校正数据准备处理步骤被执行
  • 丝网印刷装置方法
  • [发明专利]丝网印刷装置和丝网印刷方法-CN201180061071.7有效
  • 阿部成孝;矢泽隆 - 松下电器产业株式会社
  • 2011-10-17 - 2013-08-28 - B41F15/08
  • 提供一种丝网印刷装置和丝网印刷方法,在其中具有两个成像光轴并且设计用于使基板和掩膜板成像成像单元水平地移动的构造中,通过适当地校正成像光轴之间的相对位置误差和由成像单元的移动所引起的位置误差,能够提高基板定位精度在执行目的是探测用于定位基板和掩膜定位的识别标记标记工艺之前,探测成像光轴之间的水平相对位置的光轴校准处理工艺和探测成像光轴的局部位置偏差的表面校正数据准备处理工艺被执行。
  • 丝网印刷装置方法
  • [发明专利]一种光学精密系统的对准装置-CN201410185976.0有效
  • 宗明成;王丹;黄有为;李世光;孙裕文 - 中科晶源微电子技术(北京)有限公司
  • 2014-05-05 - 2017-07-14 - G03F9/00
  • 本发明公开了一种光学精密系统的对准装置,涉及精密仪器技术领域,其中,本发明通过在第一物体上设置第一对准标记,在第二物体上设置第二对准标记,利用照明系统给所述第一物体上的第一对准标记提供照明,利用成像系统将第一物体上的第一对准标记在第二物体表面后形成第三对准标记,且第二对准标记及第三对准标记在第二物体表面重叠后形成第一图像。进而利用观测系统中的成像模块、聚束模块将包含多组、离散分布的对准标记的第一图像会聚后,形成第二图像,由单个探测模块和处理模块接收、处理,实现多通道对准标记实时、统一显示和调整,从而实现第一物体和第二物体的位置精确对准
  • 一种光学精密系统对准装置
  • [发明专利]对准装置及其方法-CN201610285723.X有效
  • 杜荣;于大维 - 上海微电子装备(集团)股份有限公司
  • 2016-04-29 - 2021-02-12 - H01L21/68
  • 本发明提供了一种对准装置及其方法,所述对准装置包括:光源、照明组件、光转向组件、成像组件及探测器;所述光源发出的光束经过所述照明组件之后被所述光转向组件分为第一光束与第二光束,第一光束射入至上硅片,第二光束入射至下硅片,被上硅片与下硅片反射之后分别经过光转向组件及成像组件,将上硅片与下硅片上的对准标记于所述探测器上,通过移动下硅片使得两个对准标记在探测器上所成像相对称,达到对准上硅片与下硅片的目的,降低了对准成本
  • 对准装置及其方法

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