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- [发明专利]一种高通量3D暗斑生成装置-CN202010863942.8有效
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匡翠方;朱大钊;丁晨良;刘旭;郝翔
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之江实验室
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2020-08-25
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2022-04-08
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G02B27/28
- 本发明公开了一种高通量3D暗斑生成装置,并行光束阵列通过横向高通量暗斑阵列的器件后,每束光被调制为涡旋相位光,聚焦后形成横向暗斑;并行光束阵列聚焦后形成横向暗斑阵列;并行光束阵列通过纵向高通量暗斑阵列的器件后,每束光都被调制为0‑π相位分布,每束光聚焦后形成纵向暗斑;并行光束阵列聚焦后形成纵向暗斑阵列;将两种光束进行合束,聚焦后两种光斑进行非相干叠加,形成高通量3D暗斑阵列。本发明可提供稳定的高质量高通量3D暗斑阵列;且器件成本低,体积小,可以实现系统的高度集成;可用于实现并行双光束激光直写和并行受激发射损耗显微成像,极大的提升加工和成像速度。
- 一种通量生成装置
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