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[发明专利]一种无机纳米片/塑料叠层阻隔薄膜的制备方法-CN201710265526.6有效
发明人：王建锋 -专利权人：王建锋
申请日： 2017-04-21 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： B32B9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种无机纳米片/塑料叠层阻隔薄膜的制备方法。所述的无机纳米片/塑料叠层阻隔薄膜是以无机纳米片和塑料为原料，先将无机纳米片在水表面形成一层均匀透明的超薄膜，再将无机纳米片超薄膜转移到塑料膜表面，然后将多个覆盖有无机纳米片超薄膜的塑料膜堆叠并加热或加压成为一体本发明的突出特点是利用在水表面形成的无机纳米片超薄膜构筑无机纳米片/塑料叠层阻隔薄膜，其中每个无机纳米片超薄膜有效阻隔气体透过，多个无机纳米片超薄膜共同作用产生高阻隔性能。本发明制备工艺简单，所制备的无机纳米片/塑料叠层阻隔薄膜可用于医疗器具、食品等产品的密封包装。
无机纳米片超薄膜阻隔薄膜叠层塑料制备面形水表发明制备工艺高阻隔性能塑料膜表面密封包装气体透过医疗器具作用产生塑料膜透明的堆叠加热可用加压阻隔构筑覆盖

[实用新型]一种减少单色Micro OLED反射的薄膜封装结构及器件结构-CN202220516065.1有效
发明人：李雪原;朱平;李维维;赵铮涛 -专利权人：安徽熙泰智能科技有限公司
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种减少单色Micro OLED反射的薄膜封装结构及器件结构，所述薄膜封装结构由下至上依次包括：第一无机封装薄膜层、第二无机封装薄膜层、由无机封装薄膜层一与无机封装薄膜层二交替排列形成的堆叠薄膜层；所述无机封装薄膜层一的折射率大于无机封装薄膜层二的折射率；通过在第二无机封装薄膜层之上设置由高折射率的无机封装薄膜层一与低折射率的无机封装薄膜层二交替排列形成的堆叠薄膜层，进而形成光学薄膜封装结构，该结构应用于绿光
一种减少单色 micro oled 反射薄膜封装结构器件

[发明专利]薄膜封装结构及其制作方法-CN201910327361.X在审
发明人：唐芮 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2019-04-23 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本发明提供一种薄膜封装结构及其制作方法。所述薄膜封装结构包括：至少一层无机封装薄膜；至少一层有机封装薄膜，所述有机封装薄膜位于所述无机封装薄膜上方，所述无机封装薄膜和所述有机封装薄膜交叉叠层；其中，至少一层无机封装薄膜和位于所述无机封装薄膜上方的有机封装薄膜之间具有至少一层缓冲阵列本发明提供的薄膜封装结构及其制作方法能够提高封装薄膜之间的粘附力。
封装薄膜薄膜封装结构制作缓冲阵列交叉叠层粘附

[发明专利]半导体器件的制作方法-CN201810070202.1有效
发明人：刘孟彬 -专利权人：中芯集成电路（宁波）有限公司
申请日： 2018-01-24 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体器件的制作方法，该方法包括：提供衬底，在所述衬底上设置有至少一个有机薄膜和无机薄膜的复合膜层，所述无机薄膜位于所述有机薄膜之上，在所述无机薄膜之上形成有具有开口的掩膜层；以所述掩膜层为掩膜对所述无机薄膜和所述有机薄膜分别执行两次以上的刻蚀以形成贯穿所述无机薄膜和所述有机薄膜的通孔，其中，每进行一次刻蚀所述有机薄膜的步骤之前，进行一次刻蚀所述无机薄膜的刻蚀，并且仅在对所述有机薄膜进行最后一次刻蚀时刻穿所述有机薄膜孔。该制作方法可以避免在无机薄膜和有机薄膜的复合膜层中制作通孔时有机薄膜刻蚀孔径大的问题。
半导体器件制作方法

[实用新型]透明显示面板和透明显示装置-CN202021158583.8有效
发明人：李艳虎;徐亮;林信志 -专利权人：上海和辉光电股份有限公司
申请日： 2020-06-19 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本申请提供一种透明显示面板和透明显示装置，其中，所述透明显示面板包括：显示器件层和薄膜封装层；所述薄膜封装层包括第一无机薄膜、第二无机薄膜和有机薄膜，所述第一无机薄膜形成于所述显示器件层上，所述有机薄膜形成于所述第一无机薄膜上，所述第二无机薄膜覆盖于所述有机薄膜和所述第一无机薄膜上；其中，所述第一无机薄膜与所述有机薄膜的界面和/或所述第二无机薄膜与所述有机薄膜的界面为粗糙界面，外界光线经由所述粗糙界面漫反射出光。在本申请提供的透明显示面板和透明显示装置中，采用薄膜封装结构对透明显示器件进行封装，并利用所述薄膜封装结构中的粗糙界面减弱阴极金属的镜面反射，以改善透明显示器件的炫光问题。
透明显示面板显示装置

[实用新型]一种柔性显示面板及显示装置-CN201822058113.3有效
发明人：高昊 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-12-07 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本实用新型涉及显示技术领域，公开了一种柔性显示面板及显示装置，该柔性显示面板中，包括衬底基板、发光器件以及覆盖发光器件的封装结构，封装结构与发光器件间设有光学薄膜层；封装结构包括位于发光器件之上的第一无机封装薄膜，以及位于第一无机封装薄膜之上的第二无机封装薄膜；第一无机封装薄膜的折射率低于第二无机封装薄膜的折射率，光学薄膜层的折射率高于第一无机封装薄膜的折射率。上述柔性显示面板中，通过在光学薄膜层上制备第一无机封装薄膜和第二无机封装薄膜，在保证出光效率的同时，提高了光学薄膜层与第一无机封装薄膜间的粘合强度，避免了膜层剥离的现象，同时，避免了蒸镀腔体结晶的问题，
封装薄膜柔性显示面板光学薄膜层发光器件折射率封装结构显示装置本实用新型衬底基板出光效率生产效率蒸镀腔体粘合膜层制备剥离覆盖保证

[发明专利]薄膜封装结构及其制备方法和显示面板-CN201811318854.9在审
发明人：史文;陈亚文 -专利权人：广东聚华印刷显示技术有限公司
申请日： 2018-11-07 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本发明涉及一种薄膜封装结构及其制备方法和显示面板，其中该制备方法包括以下步骤：在待封装器件上依次形成第一无机封装层和有机封装层，然后在有机封装层先采用原子层沉积法形成第一无机薄膜，再在所述第一无机薄膜上采用气相沉积法形成第二无机薄膜，以得到第二无机封装层。该薄膜封装结构的制备方法，在有机封装层上远离待封装器件的一侧形成表面较致密、厚度较薄的第一无机薄膜，以提高第一无机薄膜与有机封装层之间的结合力；然后在第一无机薄膜上形成表面致密度较低但厚度较厚的第二无机薄膜，如此提高了无机封装层与有机封装层之间的结合力，提高了薄膜封装结构的阻隔水氧性能，进而提高了薄膜封装的封装性能。
薄膜封装结构及其制备方法显示面板

[发明专利]薄膜封装结构、OLED显示面板及其制作方法-CN201910232697.8有效
发明人：孙佳佳 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2019-03-26 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本发明提供了一种薄膜封装结构、OLED显示面板及其制作方法。所述薄膜封装结构包括：第一无机薄膜；第一有机薄膜，所述第一有机薄膜位于所述第一无机薄膜上；第二无机薄膜，所述第二无机薄膜覆盖所述第一有机薄膜和所述第一无机薄膜；其中，构成所述第一有机薄膜的材料为具有自修复能力的有机聚合物本发明提供的薄膜封装结构、OLED显示面板及其制作方法，能够延缓TFE中有机膜层的损耗和老化。
薄膜封装结构 oled 显示面板及其制作方法

[发明专利]阻隔膜及其制作方法-CN201410386722.5在审
发明人：于甄;胡坤 -专利权人：张家港康得新光电材料有限公司
申请日： 2014-08-07 - 公布日： 2014-11-12 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：该阻隔膜包括：柔性基体；设置于柔性基体上的第一无机氧化物薄膜；设置于第一无机氧化物薄膜上的第二无机氧化物薄膜；以及设置于第二无机氧化物薄膜上的保护膜，其中，第一无机氧化物薄膜由溅射或蒸发工艺制备而成，第二无机氧化物薄膜由化学气相沉积工艺制备而成该制作方法包括：提供柔性基体；通过溅射或蒸发工艺在柔性基体上形成第一无机氧化物薄膜；通过化学气相沉积工艺在第一无机氧化物薄膜上形成第二无机氧化物薄膜；以及在第二无机氧化物薄膜上形成保护膜。
阻隔及其制作方法

[发明专利]一种柔性背板、柔性背板的制备方法以及显示面板-CN201910431442.4有效
发明人：余兆伟;孔超 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本发明提供了一种柔性背板、柔性背板制备方法和显示器件，所述柔性背板包括衬底，依次层叠设置在所述衬底上的有机薄膜层、无机薄膜层以及功能层，其中所述有机薄膜层和无机薄膜层之间具有第一吸水氧粘合层，所述第一吸水氧粘合层分别与所述有机薄膜层和所述无机薄膜层粘接本发明实施例通过在有机薄膜层和无机薄膜层之间布置第一吸水氧粘合层，并且所述第一吸水氧粘合层分别与所述有机薄膜层和所述无机薄膜层粘接，克服了由于无机薄膜层的表面张力比较大、难润湿、硬度大、脆性高以及难与有机薄膜层粘附的缺点，进而解决了因为有机薄膜层和无机薄膜层界面出现裂缝使得两相脱离以及水氧横向渗透等问题。
一种柔性背板制备方法以及显示面板

[实用新型]一种显示面板-CN202022370896.6有效
发明人：温质康;乔小平;苏智昱 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2020-10-22 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本实用新型公布一种显示面板，包括衬底、薄膜晶体管器件、第一无机薄膜、发光器件和封装结构；所述衬底上设置有所述薄膜晶体管器件；所述薄膜晶体管器件上设置有所述第一无机薄膜和所述发光器件；所述封装结构设置在所述发光器件的上表面，所述第一无机薄膜连接所述封装结构的外侧壁，所述封装结构包括无机薄膜和有机薄膜，封装结构的无机薄膜和封装结构的有机薄膜是上下堆叠设置，封装结构的无机薄膜的投影与封装结构的有机薄膜的投影重合，投影方向为垂直发光器件的上表面还使得无机薄膜和有机薄膜的制作可以共用同一个光罩，提高了机台的稼动率。
一种显示面板

[发明专利]封装薄膜及其封装方法和应用-CN201711157971.7在审
发明人：谢铭;曹蔚然 -专利权人： TCL集团股份有限公司
申请日： 2017-11-20 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本发明提供了一种封装薄膜，所述封装薄膜交替层叠设置在基体上的无机薄膜和有机薄膜，所述无机薄膜和所述有机薄膜的总层数为奇数，且至少一层所述无机薄膜远离所述基体的表面为纳米织构表面。本发明提供的封装薄膜，无机薄膜与有机薄膜交替设置，对至少一层所述无机薄膜远离所述基体的表面形成纳米织构表面。纳米织构的形成可以提高纳米织构与有机薄膜之间的粘合力，使封装薄膜能够更好地抑制空气中的水氧，防止水氧进入器件内部，提高器件的使用寿命。
封装薄膜无机薄膜有机薄膜纳米织构水氧表面形成纳米交替层叠交替设置使用寿命织构表面粘合力总层数封装应用

[发明专利]一种OLED器件的薄膜封装结构及其制备方法-CN201710332632.1在审
发明人：何超 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2017-05-12 - 公布日： 2017-07-18 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本发明公开了一种OLED器件的薄膜封装结构，包括位于OLED基板上的底层无机薄膜层和顶层无机薄膜层；在所述底层无机薄膜层和顶层无机薄膜层之间，设有一个或多个有机缓冲层，所述多个有机缓冲层之间通过无机薄膜层相互隔开；其中，至少一个有机缓冲层内掺有无机疏水颗粒。本发明的OLED器件的薄膜封装结构，通过在缓冲层中掺有无机疏水颗粒，使水氧在薄膜封装结构中的渗透路径变长，或者难以形成，从而达到改善水氧渗透、提高封装效果的目的。本发明同时还提供了一种OLED器件的薄膜封装结构的制备方法，本方法操作简单，原料易得，易于大规模工业化生产。
一种 oled 器件薄膜封装结构及其制备方法

[发明专利]一种显示面板及制作方法-CN202011140544.X在审
发明人：温质康;乔小平;苏智昱 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2020-10-22 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本发明公布一种显示面板及制作方法，其中制作方法包括如下步骤：在衬底上制作薄膜晶体管器件；制作第一无机薄膜；制作发光器件，所述第一无机薄膜环绕发光器件的外侧壁；制作封装结构，所述封装结构设置在所述发光器件的上表面，所述第一无机薄膜连接所述封装结构的外侧壁，所述封装结构包括无机薄膜和有机薄膜，封装结构的无机薄膜和封装结构的有机薄膜是上下堆叠设置，封装结构的无机薄膜的投影与封装结构的有机薄膜的投影重合，投影方向为垂直发光器件的上表面还使得无机薄膜和有机薄膜的制作可以共用同一个光罩，提高了机台的稼动率。
一种显示面板制作方法

[发明专利]一种用于光刻技术的无机热阻膜-CN200710065293.1有效
发明人：刘前;曹四海;郭传飞;李晓军 -专利权人：国家纳米科学中心
申请日： 2007-04-10 - 公布日： 2008-10-15 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于光刻技术的无机热阻膜，包括基底、在基底上依次生长的无机金属薄膜A1和无机金属薄膜B；还包括在无机金属薄膜B的另一面上再生长一层相同的无机金属薄膜A2；所述的无机金属薄膜A1和无机金属薄膜A2为相同的金属，并且与无机金属薄膜B是三者能够一起生成二元合金的材料。本发明的无机热阻薄膜具有三明治夹层结构，该无机热阻膜充分利用热传导的向上、向下同时进行的双向传导过程，可以有效增加光刻后所得纳米构造的高度或深度。该无机热阻膜采用干法过程制备，在光刻过程中相关的干法过程有利于整个微纳米加工过程的干法化，有利于减少加工过程中的污染，减小加工成品的缺陷率，提高生产效率。
一种用于光刻技术无机热阻膜

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