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[发明专利]高分辨率微纳光学加速度计-CN200610052179.0无效
发明人：倪玮;吴兴坤;李书;林巧 -专利权人：浙江大学
申请日： 2006-06-29 - 公布日： 2006-11-29 - 主分类号： G01P15/093 文献下载
摘要：本发明公开了一种高分辨率、大动态范围微纳光学加速度计。微光学波导阵列板或柱透镜阵列板设置在加速度计质量块上，波导阵列板上刻有条状透明波导阵列或在柱透镜阵列板上刻有条状透明柱透镜阵列，微纳米直径光纤的普通光纤段与光源耦合，输出段与阵列板平行或垂直靠近，光敏元件与微纳米直径光纤同轴设置
高分辨率光学加速度计

[实用新型]一种血型仪中的微柱凝胶卡刺破装置-CN202223456848.4有效
发明人：罗成坚;陈高云;单国稳 -专利权人：杭州美川合佳生物科技有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G01N33/80 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种血型仪中的微柱凝胶卡刺破装置，包括有支撑壳，所述支撑壳的下侧直线阵列固定安装有第一刺针，所述支撑壳的下侧直线阵列活动穿过有第二刺针，所述第二刺针的上端穿入支撑壳内后固定有端头，所述端头与支撑壳的内部上侧之间固定有弹簧，所述支撑壳内横向活动穿插有推架，使得推架滑动到端头的下方时推动端头上移；本实用新型可利用第一刺针和第二刺针对微柱凝胶卡薄膜进行刺破，并根据不同型号的微柱凝胶卡来选择是否使用第二刺针或者选择使用多少第二刺针来对微柱凝胶卡薄膜进行刺破，使得第一刺针和第二刺针的数量和刚好等于微柱凝胶卡的反应腔数量，使得血型仪可配用多种型号的微柱凝胶卡，适用范围更广。
一种血型中的凝胶刺破装置

[发明专利]一种基于可重构柔性模具的曲面微米柱的制造方法-CN201610855215.0有效
发明人：蒋维涛;刘红忠;雷彪;陈邦道;史永胜;尹磊 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2016-09-28 - 公布日： 2018-03-16 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：一种基于可重构柔性模具的曲面微米柱的制造方法，先获得具有背衬热塑性形状记忆聚合物可伸缩微单元阵列，浸没在磁性复合物涂层里获得顶端带有磁性复合物微冲头的可伸缩微单元阵列；然后使磁性复合物微冲头接触蘸取粘合剂获得表面覆盖有粘合剂涂层的磁性复合物微冲头，再通过蘸取获得表面覆盖有液滴状复合材料溶液的磁性复合物微冲头；加热使温度高于转变温度，塑性形状记忆聚合物可伸缩微单元在磁场的驱动下运动接触至曲面样品表面；预加热曲面样品，提拉模具获得曲面复合材料微米柱阵列；通过溶解粘附剂涂层分离模具获得曲面复合材料微米柱阵列；通过对可重构柔性模具加热处理，使其恢复到初始形貌，本发明制备方法简单，自适应性及可重构性高。
一种基于可重构柔性模具曲面微米制造方法

[实用新型]一种肝癌循环肿瘤细胞捕获芯片-CN202020254511.7有效
发明人：杨朝勇;朱琳;万霜;林慧彬;陈小锋;宋彦龄 -专利权人：厦门大学
申请日： 2020-03-04 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： G01N33/68 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种肝癌循环肿瘤细胞捕获芯片，包括两个处理单元，其中，每个处理单元包括：由多个横截面为三角形的微柱组成的微阵列、以及位于该三角形微阵列入口一侧的两个进样口和位于该三角形微阵列出口一侧的两个出样口；其中，微阵列的采用如下排布方式：Dc＝1.4*G*(Δλ/λ)0.48，其中G指微柱间的水平间距，λ为同一列中两微柱中心的距离，Δλ指同一行中第二个三角形相对于第一个三角形的侧向偏移值，Dc为微流控整体临界尺寸。
一种肝癌循环肿瘤细胞捕获芯片

[发明专利]PH响应表面结构及其制备方法、电子设备-CN202210555940.1有效
发明人：王萌;高儒明;刘胜凯;龙嘉钊 -专利权人：深圳技术大学
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： C08J7/12 文献下载
摘要：该制备方法包括提供形状记忆聚合物结构层，形状记忆聚合物结构层包括第一表面；对第一表面进行飞秒激光处理以形成微柱阵列，微柱阵列包含多个均匀排布且存在间隔的微柱；在第一表面形成金属层；将第一表面的金属层与PH
ph 响应表面结构及其制备方法电子设备

[发明专利]基于非辐射共振能量转移机制的白光LED及其制备方法-CN201910106242.1在审
发明人：魏同波;赵捷;魏学成;王军喜;李晋闽 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2019-02-01 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： H01L33/06 文献下载
摘要：位于所述非掺杂GaN层上；InGaN/GaN双波长多量子阱结构层，位于所述N型掺杂GaN层上；AlGaN电子阻挡层，位于所述InGaN/GaN双波长多量子阱结构层上；P‑GaN层，位于所述AlGaN电子阻挡层上；微/纳米孔或微/纳米柱阵列，包含n(n≥1)个微/纳米孔或微/纳米柱；以及混合量子点，填充于所述微/纳米孔之中或微纳米柱阵列间隙之间；通过改变混合量子点的配比，结合量子阱中In的组分的调节，形成全光谱，实现高显色性能
纳米孔多量子阱结构层共振能量转移非掺杂GaN层低温成核层电子阻挡层白光LED 非辐射量子点双波长衬底制备纳米柱阵列高显色量子阱纳米柱微纳米柱阵列配比光谱填充

[发明专利]侧壁具有微柱透镜阵列图案的LED芯片的制造方法-CN201210055790.4无效
发明人：姚陆军;肖德元;张汝京;缪炳有 -专利权人：映瑞光电科技（上海）有限公司
申请日： 2012-03-05 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明提出一种侧壁具有微柱透镜阵列图案的LED芯片的制造方法，步骤如下：在一衬底上由下至上依次生长外延层和电流扩散层；利用侧壁具有圆弧形阵列和台面图案的光刻版进行光刻工艺，在所述电流扩散层上形成光刻胶，所述光刻胶具有侧壁微柱透镜阵列和台面图案；以所述光刻胶为掩膜，对电流扩散层进行湿化学过刻蚀；继续以所述光刻胶为掩膜，对外延层进行干法刻蚀，形成台面；去除所述光刻胶，分别形成侧壁具有微柱透镜阵列图案的外延层和侧壁具有圆弧形阵列图案的电流扩散层
侧壁具有透镜阵列图案 led 芯片制造方法

[发明专利]微色谱柱及制备方法-CN202110087284.2在审
发明人：冯飞;陈泊鑫 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： G01N30/60 文献下载
摘要：本发明提供一种微色谱柱及制备方法，微色谱柱包括衬底、微沟道及椭圆微柱阵列，可使得微柱后的“准零流速区”的区域大大缩小；可在增加椭圆微柱数量的同时调整椭圆微柱的短轴长度q，以在保持微沟道的宽度w及微沟道的有效宽度d不变的前提下，可有效提高柱内表面积，同时可有效解决因微柱数量的增加而带来的柱前压力升高的问题；通过在沿微沟道的宽度方向上，将n列椭圆微柱之间、椭圆微柱与微沟道的侧壁之间设计成具有不同的间距，可进一步的缓解载气流速不均的问题，以进一步的使得柱内的流速分布均匀；本发明的微色谱柱结构和制备工艺简单，可提高微色谱柱的功效、减小供气系统的负担，有利于便携式应用，使得微色谱柱具有广泛的应用前景。
色谱制备方法

[实用新型]微色谱柱-CN202120178580.9有效
发明人：冯飞;陈泊鑫 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： G01N30/60 文献下载
摘要：本实用新型提供一种微色谱柱，微色谱柱包括衬底、微沟道及椭圆微柱阵列，可使得微柱后的“准零流速区”的区域大大缩小；可在增加椭圆微柱数量的同时调整椭圆微柱的短轴长度q，以在保持微沟道的宽度w及微沟道的有效宽度d不变的前提下，可有效提高柱内表面积，同时可有效解决因微柱数量的增加而带来的柱前压力升高的问题；通过在沿微沟道的宽度方向上，将n列椭圆微柱之间、椭圆微柱与微沟道的侧壁之间设计成具有不同的间距，可进一步的缓解载气流速不均的问题，以进一步的使得柱内的流速分布均匀；本实用新型的微色谱柱结构和制备工艺简单，可提高微色谱柱的功效、减小供气系统的负担，有利于便携式应用，使得微色谱柱具有广泛的应用前景。
色谱

[发明专利]一种基于陶瓷的电互联馈通基板及其制备方法-CN202211393526.1在审
发明人：刘景全;温冬阳;郭哲俊;王隆春;涂柯俊 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01B5/14 文献下载
摘要：本发明提供一种基于陶瓷的电互联馈通基板及其制备方法，该基板包括：陶瓷基板，陶瓷基板的内部设有由导电微柱形成的电互联微柱阵列；上绝缘层，位于陶瓷基板的上方；下绝缘层，位于陶瓷基板的下方；上绝缘层和下绝缘层的内部均设有多个绝缘层通孔形成的通孔阵列，绝缘层通孔的位置与导电微柱的位置相对应，绝缘层通孔的直径小于导电微柱的直径；上焊盘，位于上绝缘层的上方，且填充上绝缘层上的绝缘层通孔以及上绝缘层与导电微柱之间的间隙；下焊盘，位于下绝缘层的下方，且填充下绝缘层上的绝缘层通孔以及下绝缘层与导电微柱之间的间隙
一种基于陶瓷电互联馈通基板及其制备方法

[发明专利]一种柔性离电式三维力传感器及其制备方法-CN202210641625.0在审
发明人：赵云彪;王启宁;麦金耿 -专利权人：北京工道风行智能技术有限公司
申请日： 2022-06-08 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： G01L5/165 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性离电式三维力传感器及其制备方法，涉及三维力传感器技术领域，包括依次设置的凸起触头、第一层电极阵列、带有分级微结构的离子凝胶薄膜、第二层电极阵列；所述带有分级微结构的离子凝胶薄膜位于介电层表面，在所述凸起触头和第一层电极阵列之间增加方台凸起，所述分级微结构包括微半球阵列，所述微半球阵列的每个微半球结构上均设置有微柱阵列。
一种柔性离电式三维传感器及其制备方法

[实用新型]集成微透镜阵列的背照式紫外焦平面探测器-CN201520371925.7有效
发明人：刘向阳;王玲;张燕;刘诗嘉;许金通;李向阳 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2015-06-02 - 公布日： 2015-09-30 - 主分类号： H01L27/144 文献下载
摘要：本专利公开了一种集成微透镜阵列的背照式紫外焦平面探测器。背照式紫外焦平面探测器由以下几个部分组成：紫外光敏元阵列芯片、读出电路、混成互连铟柱、微透镜阵列。微透镜阵列在紫外光敏元阵列芯片的宝石片衬底上采用光刻胶光刻、高温成型、等离子体刻蚀等步骤加工形成。本专利的优点是：集成微透镜阵列之后，紫外光敏元的面积可以大幅度减少，从而使紫外光敏元具有高的零偏压动态电阻R₀和小的结电容，从而有利于减小读出电路的噪声以及提高紫外探测器的探测率。
集成透镜阵列背照式紫外平面探测器

[发明专利]一种微流控芯片及利用其捕获循环肿瘤细胞的方法-CN201510205773.8在审
发明人：陈弘达;陈红梅;耿照新;曹亚鹏 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2015-04-28 - 公布日： 2015-07-29 - 主分类号： C12M1/42 文献下载
摘要：本发明提供了一种微流控芯片及利用其捕获循环肿瘤细胞的方法。该微流控芯片包括：分离腔室，其第一侧的中部位置具有样品注入口，第二侧的上部和下部分别具有待测粒子富集处和样品流出口；微柱阵列，形成于分离腔室内，样品注入口和样品流出口之间；外部磁场组件，用于在分离腔室内形成自下而上的磁场其中，由样品注入口注入的样品中，表面连接磁珠的待测粒子受到磁场的作用力向上方运动，在待测粒子富集处富集或贴附在分离腔室的顶壁上；表面未连接磁珠的待测粒子由该微柱阵列进行拦截捕获；样品中除待测粒子之外的其他成分由于重力作用透过微柱阵列
一种微流控芯片利用捕获循环肿瘤细胞方法

[发明专利]集成红外热传感器及其制造方法及成像系统和成像方法-CN201510111846.7有效
发明人：魏广路;陈四海;蒙庆华 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2015-03-13 - 公布日： 2017-10-13 - 主分类号： G01J5/10 文献下载
摘要：本发明适用于传感技术领域，提供了一种集成红外热传感器，包括光输出装置、微环波导阵列组件、直波导阵列组件及光电探测器；微环波导阵列组件包括第一衬底及多个谐振波长不同的微环波导，其排布成并列的微环波导列；直波导阵列组件包括第二衬底及多个直波导，微环波导列与直波导一一上下对应且可实现参考光的耦合传输，还包括输入波导及输出波导；第一、第二衬底通过支撑柱对接。本发明在同一衬底上制作微环波导阵列，在另一衬底制作直波导阵列，将两组件组合构成像元阵列，在工艺上更易实现，尺寸、对位更加精准，有利于传感器的灵敏度和响应速度的提升，并且可采用一个探测器探测全部像元的输出光
集成红外传感器及其制造方法成像系统

[发明专利]一种多重数字化ELISA检测方法及微流控芯片-CN202110103868.4有效
发明人：张元庆;林谆;董丽静 -专利权人：深圳市科瑞达生物技术有限公司
申请日： 2021-01-26 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： G01N33/543 文献下载
摘要：本发明公开了一种多重数字化ELISA检测方法及微流控芯片，该微流控芯片包括顶层芯片以及分别与其组合使用的微球分区排布芯片和尺寸颜色双重编码的微球。微球分区排布芯片设有平行排布的不同半径尺寸间隔的微柱阵列，每个尺寸的微柱阵列为对应尺寸微球的捕获区域，微球表面为检测的固相表面。尺寸颜色双重编码的微球通过不同半径尺寸与两种颜色不同比例的混合叠加，构建高通量的双重分类编码微球。微球表面为检测的固相表面，通过尺寸和颜色双重编码，颜色的特征通过不同种颜色不同比例混合获得。每种微球对应一种靶标，实现大规模多靶标的同时检测，解决单一靶标检测中样品和劳力消耗大、时间和经济成本高的问题。
一种多重数字化 elisa 检测方法微流控芯片