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- [实用新型]光罩传送台防尘装置-CN202320320779.X有效
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姚建顺;王思驾;谢华
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上海华力微电子有限公司
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2023-02-24
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2023-09-22
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G03F7/20
- 本实用新型提供了一种光罩传送台防尘装置，包括一防护罩，所述防护罩设置在所述光罩传送台上且至少将所述光罩传送台上的光罩盒罩设在内，所述防护罩背离机台的一面为门帘式结构，以便于所述光罩盒的取放。通过设置防护罩将所述光罩传送台上的光罩盒罩设在内，能够有效防止上端空气下降带来的颗粒物沉降，避免外界颗粒物进入光罩传送台的内部，在光罩传送时落在光罩表面，影响产品曝光精度。另外，通过将述防护罩背离机台的一面设计为门帘式结构，在保证防护效果的同时能够便于所述光罩盒的取放。
- 传送防尘装置
- [实用新型]光罩盒-CN201320263054.8有效
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高海林;张学良
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中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
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2013-05-15
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2013-11-06
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H01L21/673
- 本实用新型提供一种光罩盒，其包括一盒底以及与该盒底配合的盒盖，所述盒底的底部设有至少四个第一固定器；所述第一固定器包括支撑台阶以及自该支撑台阶向上延伸的引导部；所述引导部包括底面、自该底面一侧弯折延伸的引导面以及连接所述引导面和底面的侧面；所述至少四个第一固定器的引导面与支撑台阶围成用于收容光罩的收容腔。本实用新型的光罩盒的固定器与光罩采用面接触式，在方便光罩取放并限制光罩在光罩盒内左右移动的同时，还避免了在光罩放进及取出光罩盒时柔软的光罩薄膜面被划伤；光罩盒的盒盖及盒底均设有固定器，所述固定器的支撑台阶支撑光罩的边缘，能避免光罩的薄膜面及玻璃面因接触光罩盒顶面或底面而造成破损。
- 光罩盒
- [实用新型]一种在线式光罩盒光罩固定结构-CN202021960584.4有效
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喻成虎
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上海赛瑾精密科技有限公司
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2020-09-08
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2021-03-23
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G03F1/66
- 本实用新型公开了一种在线式光罩盒光罩固定结构，包括光罩盒、光罩以及固定压条组，光罩盒的内部设有可拆卸连接的光罩，光罩与光罩盒之间设有固定压条组，固定压条组包括固定压条和活动压条，固定压条的两端分别设有定位套筒，固定压条的中部固定连接有扣板槽，活动压条的一端固定连接有固定套筒且另一端固定连接有挡板，活动压条的中部设有限位孔，光罩盒的内壁固定连接有定位柱、限位柱以及固定柱，定位柱、限位柱和固定柱分别与定位套筒、本实用新型通过在光罩盒的内部设有活动压条和固定压条，方便对光罩的四角进行固定，且接触面小，配合扣板槽和挡板内壁带有的斜面，方便对光罩进行拆装和固定。
- 一种在线式光罩盒光罩固定结构
- [实用新型]一种离线式光罩盒光罩固定机构-CN202021945920.8有效
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童明
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上海赛瑾精密科技有限公司
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2020-09-08
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2021-05-07
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G03F1/66
- 本实用新型公开了一种离线式光罩盒光罩固定机构，包括：光罩盒和光罩，所述光罩盒分为上罩和下罩，所述光罩设置在上罩和下罩之间，所述上罩的内壁上安装有上固定机构，所述下罩的内壁上安装有下固定机构；所述上固定机构和下固定机构的结构相同且分别设置有4个，所述上固定机构包括固定板、弯曲段、托钩和螺母柱，所述上固定机构通过螺母柱并采用螺栓与上罩固定连接，所述下固定机构通过螺母柱并采用螺栓与下罩固定连接。本实用新型光罩支撑采用半圆支撑的固定方式，固定结构简单可靠；光罩左右圆弧面接触确保接触mask四角，接触面小，且带斜面导向，确保mask的有效固定。
- 一种离线式光罩盒光罩固定机构
- [实用新型]光罩异物检测设备-CN201520329839.X有效
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刘刚;徐勇
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上海和辉光电有限公司
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2015-05-21
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2015-09-23
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G03F7/20
- 本实用新型公开了一种光罩异物检测设备，包括：光罩盒，设置于一曝光机内；光罩，存放于所述光罩盒内；清洁装置，设置于所述光罩盒的出口处，用于对移出所述光罩盒的所述光罩进行表面清洁；异物检测器，用于对经过所述清洁装置清洁后的所述光罩进行异物检测本实用新型的光罩异物检测设备，通过在光罩盒的出口处设置清洁装置，可以在光罩移出光罩盒的同时对光罩的表面进行清洁，实现了在光罩异物检测前先进行清洁，减少光罩表面的异物，提高了光罩异物检测的通过率，从而降低光罩异物检测的报警频率
- 异物检测设备
- [发明专利]半导体智能仓储存取光罩盒的方法-CN202310686824.8在审
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沙伟中
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苏州艾斯达克智能科技有限公司
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2023-06-10
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2023-10-24
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B65G1/137
- 本发明提供了一种半导体智能仓储存取光罩盒的方法，所述的智能仓储包括：仓储体，用于存放存储半导体晶圆片的光罩盒；所述的仓储体的一侧设置有光罩盒移送循环装置用于对光罩盒进行循环移送；所述的仓储体内的一端设置有光罩盒横向中转机构；所述仓储体内设置有光罩盒取料装置将移送至光罩盒横向中转机构上的光罩盒送入仓储体内，所述光罩盒取料装置将光罩盒送入仓储体的存储光罩盒的光罩盒支架上。通过本智能仓储能够实现对光罩盒在仓储体外的循环存储功能，避免人工对光罩盒的反复搬运，通过取料机构在垂直方向的调节和吸取，增加了对光罩盒取料装置的移动范围和精度。整体提升对光罩盒存取的效率。
- 半导体智能仓储存取光罩盒方法
- [实用新型]手动旋转式单边开合光罩盒的工具-CN201420491402.1有效
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王松
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武汉新芯集成电路制造有限公司
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2014-08-28
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2015-02-18
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B65D43/26
- 本实用新型涉及一种辅助光罩盒开合工具，尤其涉及一种手动式旋转单边开合光罩盒工具，通过旋转台面带动转动轴旋转，使固定带产生一个拉力，进而带动固定连杆在台面上趋向转动轴运动，而定位销又卡接在盖子上的卡扣，进而使得该卡扣卡接在位于底座的卡柱上，或者使得已经卡接在卡柱上的卡扣从该卡柱上松开，以实现对晶圆盒的闭合或开启动作。本实用新型公开的手动旋转式单边开合光罩盒工具，其结构简单，并且可简单有效的打开或关闭光罩盒，减少工程师处理光罩盒开合问题时遇到的操作风险和处理时间，避免光罩盒内部器件挤压产生的应力导致光罩破坏，可担当自动开光罩盒机台的备用工具
- 手动旋转单边开合光罩盒工具
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