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- [发明专利]全自动刮边机-CN202010231999.6有效
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薛小宾
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深圳市赛平精密技术有限公司
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2020-03-27
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2021-08-24
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B24B9/06
- 本发明提供一种全自动刮边机，其包括基座箱，在基座箱的设置平台上设置有治具机构、对中机构、输送机构、处理机构、调度机构以及控制系统。通过治具机构放置晶圆片，组装机械手输送晶圆片；对中装置将晶圆片上料到输送机构的承载台上并对中，输送机构中放置晶圆片的承载台沿第一X轴运行平台滑动。在晶圆片刮边处理时，通过处理机构的扫描装置对承载台上的晶圆片进行扫描并确定其位置信息，控制系统根据扫描装置反馈的晶圆片位置信息，控制处理机构的刮边装置根据晶圆片的周边轮廓对晶圆片进行刮边加工。本发明提供的全自动刮边机能精准的完成晶圆片的打磨刮边，大大的提高了晶圆片刮边处理的良率和效率，降低了成本。
- 全自动刮边机
- [实用新型]全自动刮边机-CN202020430259.0有效
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薛小宾
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深圳市赛平精密技术有限公司
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2020-03-27
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2020-12-04
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B24B9/06
- 本实用新型提供一种全自动刮边机，其包括基座箱，在基座箱的设置平台上设置有治具机构、对中机构、输送机构、处理机构、调度机构以及控制系统。通过治具机构放置晶圆片，组装机械手输送晶圆片；对中装置将晶圆片上料到输送机构的承载台上并对中，输送机构中放置晶圆片的承载台沿第一X轴运行平台滑动。在晶圆片刮边处理时，通过处理机构的扫描装置对承载台上的晶圆片进行扫描并确定其位置信息，控制系统根据扫描装置反馈的晶圆片位置信息，控制处理机构的刮边装置根据晶圆片的周边轮廓对晶圆片进行刮边加工。本实用新型提供的全自动刮边机能精准的完成晶圆片的打磨刮边，大大的提高了晶圆片刮边处理的良率和效率，降低了成本。
- 全自动刮边机
- [发明专利]一种晶圆传片和测量系统-CN202210944711.9在审
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李明瑞;李晓飞
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魅杰光电科技（上海）有限公司
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2022-08-08
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2022-11-15
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H01L21/677
- 本申请提供一种晶圆传片和测量系统，该系统包括：载台、传片机器人、寻边机、测量组件和控制器；载台用于放置晶圆花篮；传片机器人用于从载台上将晶圆花篮中的晶圆传输至寻边机，还用于将晶圆从寻边机传输至测量组件以及将晶圆从测量组件返回至晶圆花篮中；寻边机用于纠正晶圆的姿态，以便为测量组件提供姿态正确的晶圆；测量组件包括：运动机构和检测机构，运动机构用于将晶圆移动至拍摄位置，检测机构通过拍摄晶圆图像获得晶圆的检测结果。本发明解决了单台设备无法实现多种不同尺寸晶圆的传片及检测问题，实现了仅需一台传片机器人即可完成多种尺寸晶圆的传输，晶圆传片和测量系统实现了晶圆传片和测量系统的高效传输性能。
- 一种晶圆传片测量系统
- [实用新型]晶圆去边设备-CN202121899928.X有效
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邢程;孙鹏
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芯盟科技有限公司
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2021-08-12
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2022-02-01
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B26F3/00
- 本实用新型提供了一种晶圆去边设备，包括：承载台，用于承载晶圆；高压水枪，所述高压水枪喷射的高压水作为晶圆去边的切割工具，所述高压水与晶圆的切割面呈一定入射角度；增压装置，所述增压装置连接所述高压水枪，用于向所述高压水枪提供高压水本实用新型涉及到的晶圆去边设备，采用高压水切割的方式进行晶圆的去边工作。避免在晶圆去边过程中设备过热的问题，切割边缘平滑、精度高，且耗材价格低廉，适合工业推广。
- 晶圆去边设备
- [发明专利]晶圆防偏承载装置及晶圆防偏方法-CN202010559923.6在审
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郑旭东
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拓荆科技股份有限公司
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2020-06-18
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2021-12-21
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H01L21/687
- 本发明公开了一种晶圆防偏承载装置及晶圆防偏方法，其中，所述晶圆防偏承载装置包括：承载板和多个卡钩，所述卡钩通过转轴与承载板连接且沿承载板的周向均匀布设，所述卡钩包括一长边和一短边，所述长边的内侧设置有限位凸起，自然状态下，卡钩处于张开状态，当将晶圆加载到承载板时，晶圆压迫短边，使卡钩旋转，直至长边上的限位凸起与晶圆的侧端面相抵后使晶圆处于约束态，此时，卡钩处于夹紧状态且卡钩的短边的自由端仍高于承载板的上表面，以支撑晶圆。该晶圆防偏承载装置及晶圆防偏方法可有效防止晶圆在传输过程中发生偏移，产生颗粒少且不易聚集，可保证产品质量，应对晶圆变形的适应性好，可适应一定尺寸范围内的晶圆。
- 晶圆防偏承载装置晶圆防偏方
- [发明专利]一种晶圆片自动刮边机-CN201310558134.0有效
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卢传播
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厦门市弘瀚电子科技有限公司
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2013-11-11
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2014-02-19
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H01L21/67
- 本发明公开了一种晶圆片自动刮边机，包括用于安放晶圆片的安放装置、用于移动晶圆片的移动装置及用于给晶圆片刮边的刮边装置，所述安放装置包括第一安放装置和第二安放装置，所述刮边装置设在第一安放装置和第二安放装置之间，所述移动装置设有用于取放晶圆片的取放装置，移动装置可从第一安放装置取晶圆片后，移动到刮边装置进行对晶圆片刮边，然后再移动至第二安放装置放刮边后的晶圆片，最后回到初始位置。本发明可以自动地、连续地进行刮边，达到不仅刮出来的产品美观、均匀、不容易破片，而且能大大地减轻工人的劳动强度、节省人力成本、大大提升效率。
- 一种晶圆片自动刮边机
- [实用新型]一种晶圆片自动刮边机-CN201320709390.0有效
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卢传播
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厦门市弘瀚电子科技有限公司
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2013-11-11
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2014-06-04
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种晶圆片自动刮边机，包括用于安放晶圆片的安放装置、用于移动晶圆片的移动装置及用于给晶圆片刮边的刮边装置，所述安放装置包括第一安放装置和第二安放装置，所述刮边装置设在第一安放装置和第二安放装置之间，所述移动装置设有用于取放晶圆片的取放装置，移动装置可从第一安放装置取晶圆片后，移动到刮边装置进行对晶圆片刮边，然后再移动至第二安放装置放刮边后的晶圆片，最后回到初始位置。本实用新型可以自动地、连续地进行刮边，达到不仅刮出来的产品美观、均匀、不容易破片，而且能大大地减轻工人的劳动强度、节省人力成本、大大提升效率。
- 一种晶圆片自动刮边机
- [实用新型]一种晶圆刮边清洗机-CN202223407051.5有效
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卢传播
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厦门市弘瀚电子科技有限公司
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2022-12-19
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2023-05-16
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H01L21/677
- 本实用新型公开一种晶圆刮边清洗机，包括机架，以及设置在机架上的上料料盒、刮边装置、清洗装置、甩干装置和搬运机械手组；上料料盒内放置有晶圆，并开设有取料口；刮边装置包括刮边座、刮刀驱动机构和旋转刮刀，刮边座顶面适于承载晶圆，刮刀驱动机构连接并驱动旋转刮刀沿刮边座上的晶圆侧壁轮廓移动；清洗装置包括清洗座和喷头，清洗座顶面适于承载晶圆，喷头朝向清洗座顶面喷射水；甩干装置包括离心转盘；搬运机械手组用于从取料口取出上料料盒内的晶圆，并将晶圆依次搬运到刮边座、清洗座、离心转盘。本实用新型实现晶圆的上料、刮边、清洗和干燥的全流程自动化。
- 一种晶圆刮边清洗
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