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[发明专利]干膜-CN202080098493.0在审
发明人： S·马利克;W·A·赖纳特;B·B·德 -专利权人：富士胶片电子材料美国有限公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G02B1/14 文献下载
摘要：本公开关于一种干膜结构，其包括载体基板；及由该载体基板支撑的介电膜。该介电膜包括至少一种介电聚合物及低量金属。

[实用新型]干膜更换装置-CN201520691540.9有效
发明人：熊璐;张震 -专利权人：奥士康科技（益阳）有限公司
申请日： 2015-09-08 - 公布日： 2016-03-16 - 主分类号： B32B38/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了干膜更换装置，包括干膜轮、收膜轮和压膜轮，所述干膜轮与收膜轮相切，所述干膜轮上干膜的PET膜层通过传动轮与收膜轮传动；所述干膜轮上干膜的干膜层通过传动轮与压膜轮传动；所述收膜轮与干膜轮的传动方向和压膜轮与干膜轮的传动方向不同本实用新型结构简单，设计巧妙，操作方便；降低成本，提高效率；缩短换膜时间，换膜过程便捷。
更换装置

[发明专利]一种贴膜装置-CN201811095642.9有效
发明人：钟金荣;肖清明;刘利涓;王平 -专利权人：深圳市铭达技术有限公司
申请日： 2018-09-19 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： B65H37/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种贴膜装置，包括：支架和从上至下依次转动设置在支架的上干膜收纳传输机构、上压辊、下压辊和下干膜收纳传输机构，且上压辊和下压辊之间留有进料通道；未切割的上干膜绕设在上干膜收纳部上，分离出的上干膜废料由上干膜废料收集部收集，上干膜待用料经由上干膜待用料传输部传输至进料通道；未切割的下干膜绕设在下干膜收纳部上，分离出的下干膜废料由下干膜废料收集部收集，下干膜待用料经由下干膜待用料传输部传输至进料通道；上干膜待用料和下干膜待用料同时输送至进料通道
一种装置

[发明专利]晶圆压膜工艺及其设备-CN201110036303.5无效
发明人：赖金森;陈明宗 -专利权人：志圣工业股份有限公司
申请日： 2011-02-09 - 公布日： 2011-08-31 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明有关一种晶圆压膜工艺及其设备。晶圆压膜工艺，包含对干膜进行预先切割，以获得符合欲贴合晶圆尺寸干膜的干膜预切步骤；将干膜预先贴合于晶圆表面以利干膜与晶圆呈现对应的干膜预贴步骤以及对干膜及晶圆进行加热压合以利干膜附着于晶圆表面的压膜步骤晶圆压膜设备包括一可将干膜预先切割并将完成切割的干膜进行预贴的切膜机构，切膜机构具有一供晶圆置放的承置座、一做为吸附干膜以利干膜进行切割并将完成切割的干膜带至承置座与晶圆做预贴的吸膜盘、一对受吸膜盘吸附固定的干膜进行切割的切割机构；一供晶圆与干膜进行第一次压合的压膜机构，压膜机构包括一供晶圆置放的下腔体及一具有电热压合面以利干膜热加压附着于晶圆表面的上腔体。
晶圆压膜工艺及其设备

[实用新型]压膜机及其干膜架模组-CN201120313428.3有效
发明人：钟金荣 -专利权人：深圳市思沃精密机械有限公司
申请日： 2011-08-24 - 公布日： 2012-05-09 - 主分类号： B32B37/00 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种压膜机及其干膜架模组，干膜架模组包括：立板、可拆装的设置于立板上的干膜卷轴和保护膜卷轴，在压膜主单元两端分别设置有导向槽，在立板上设置有用于定位干膜架模组的连接件，通过导向槽和连接件的相互配合干膜架模组可拆装的设置于压膜机的压膜主单元上本实用新型的压膜机采用可拆装的干膜架模组，在设备运行过程中可提前将干膜卷安装到备用的干膜架模组上，需要更换干膜卷时可将干膜架模组直接卸下再装上备用的干膜架模组，这种模块化的干膜架模组使干膜更换更加简单快捷
压膜机及其干膜架模组

[实用新型]一种具有快速退膜功能的干膜-CN202121312483.0有效
发明人：刘罡 -专利权人：深圳惠美亚科技有限公司
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有快速退膜功能的干膜，涉及干膜生产技术领域，包括：干膜层，用于粘附在PCB板上，对PCB板进行防护；PE保护膜，贴合于干膜层的顶端，用于对干膜层的表面进行防护；PTE保护层，贴合于干膜层的底端本实用新型通过设置遮光层，连接于PE保护膜的顶端，在干膜放置的过程中，对干膜层遮光保护，防止干膜层内的光聚合单体受到外部紫外光照射，发生聚合反应，从而对干膜的后续使用造成影响，在使用干膜层时，对PE保护膜与PTE保护层进行去除，去除PE保护膜的同时遮光层随着PE保护膜一同去除，防止对干膜层的使用造成影响，便于在干膜放置的过程中，避免干膜层受到外部紫外光照射，发生聚合反应。
一种具有快速功能

[发明专利]晶圆压膜机干膜输送机构-CN201110036307.3有效
发明人：赖金森 -专利权人：志圣工业股份有限公司
申请日： 2011-02-09 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种晶圆压膜机干膜输送机构，包括一基座、一出料装置，以及一干膜平整装置。该基座设有一供干膜延展以利进行切割作业的作业平台，该基座两端各设有一做为延展干膜，以利干膜于作业平台上方呈现平坦态样的展膜滚筒；该基座另于两侧各设有一供干膜平整装置设置，以利干膜平整装置于作业平台上并可介于两展膜滚筒间活动位移的导轨；该出料装置包括有做为将干膜输出至作业平台，以利展膜滚筒将干膜做延展呈现的出料滚筒及收料滚筒，该出料滚筒做为卷捆未经切割的干膜，该收料滚筒做为卷收经切割后的干膜余料；该干膜平整装置得以对干膜进行夹持，以利出料装置进行卷动换料时得以同步随干膜做位移以保持干膜平整度
晶圆压膜机干膜输送机构

[发明专利]一种用于印制线路板的有机碱干膜退除工艺-CN201610218500.1在审
发明人：束学习 -专利权人：东莞市斯坦得电子材料有限公司
申请日： 2016-04-08 - 公布日： 2017-10-20 - 主分类号： H05K3/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于印制线路板的有机碱干膜退除工艺，所述有机碱退膜工艺包括如下步骤将干膜退膜槽工作液完全排放后，用自来水冲洗干净；继续用去离子水循环清洗；向干膜退膜槽加入干膜退除剂水溶液，所述干膜退除剂为胆碱，加热所述干膜退除槽至45‑55℃；启动循环过滤泵；将待干膜退除的印制线路板放入所述干膜退除剂水溶液中，喷淋；取出印制线路板，自来水清洗后烘干；转入蚀刻工序。本发明的有机碱干膜退除工艺能够退除高密线路的干膜，退除的干膜碎较小，不会缠绕于设备的行辘片上，解决了高密线路干膜退除不尽的现象及干膜退除后大片干膜缠绕于设备的行辘片上，提高了干膜退除工序的品质，生产过程无污染
一种用于印制线路板有机碱干膜退工艺

[发明专利]在印刷线路板上用干膜法制造选择性镍钯金的方法-CN201611061770.2在审
发明人：时睿智;黄伟;高群锋;罗人飞 -专利权人：上海美维电子有限公司
申请日： 2016-11-25 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： H05K3/18 文献下载
摘要：本发明涉及通过在印刷线路板上用干膜法制造选择性镍钯金的方法。所述在印刷线路板上用干膜法制造选择性镍钯金的方法包括第一次贴干膜；对第一层干膜进行曝光处理；第一层干膜进行显影处理；将第二层干膜贴附在所述第一层干膜上；将第二层干膜进行曝光处理，且第二层干膜具有与第一层干膜相同的曝光区域；第二层干膜进行显影处理，以形成图形开窗；对经过上述步骤处理得到的线路板上镀镍钯金；最后，去除第一层干膜及第二层干膜。本发明采用两次干膜的方法，避免了湿膜法对钯缸的污染，增加了干膜成膜厚度、避免了干膜破裂而导致的渗金不良，且方法简单易行。
印刷线路板上用干膜法制选择性镍钯金方法

[发明专利]贴膜机-CN201910204889.8在审
发明人：王建勋;谢军 -专利权人：广东思沃精密机械有限公司
申请日： 2019-03-18 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种贴膜机，其特征在于，包括贴膜装置、切膜装置、用于输送干膜的送膜机构、以及用于拉动干膜于贴膜装置移动至切膜装置的拉膜机构；拉膜机构包括拉膜固定座、拉膜滑动座、拉膜驱动组件、拉膜安装架、拉膜导辊、拉膜升降驱动件、以及拉膜压块。送膜机构将干膜输送至贴膜装置并位于晶圆的正上方，贴膜装置将干膜贴覆于晶圆表面使得晶圆与干膜粘接，拉膜机构将粘接有晶圆的干膜拉动至切膜装置，切膜装置沿晶圆的边界将多余的干膜切除，进而完成晶圆的贴膜，实现了干膜的自动输送、干膜的自动贴覆以及干膜的自动切割，实现了对晶圆进行贴膜处理，并将晶圆边界外的干膜切除的自动化以及连续性。
贴膜机

[实用新型]贴膜机-CN201920344387.0有效
发明人：王建勋;谢军 -专利权人：广东思沃精密机械有限公司
申请日： 2019-03-18 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种贴膜机，其特征在于，包括贴膜装置、切膜装置、用于输送干膜的送膜机构、以及用于拉动干膜于贴膜装置移动至切膜装置的拉膜机构；拉膜机构包括拉膜固定座、拉膜滑动座、拉膜驱动组件、拉膜安装架、拉膜导辊、拉膜升降驱动件、以及拉膜压块。送膜机构将干膜输送至贴膜装置并位于晶圆的正上方，贴膜装置将干膜贴覆于晶圆表面使得晶圆与干膜粘接，拉膜机构将粘接有晶圆的干膜拉动至切膜装置，切膜装置沿晶圆的边界将多余的干膜切除，进而完成晶圆的贴膜，实现了干膜的自动输送、干膜的自动贴覆以及干膜的自动切割，实现了对晶圆进行贴膜处理，并将晶圆边界外的干膜切除的自动化以及连续性。
干膜拉膜晶圆切膜装置贴膜装置拉膜机构送膜机构贴覆贴膜粘接切除本实用新型升降驱动件晶圆边界晶圆表面驱动组件自动切割自动输送安装架固定座滑动座贴膜机导辊压块自动化移动

[发明专利]一种柔性线路板外层细线路的制作方法-CN202210141512.4在审
发明人：冯志强;胡宗敏 -专利权人：盐城维信电子有限公司
申请日： 2022-02-16 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： H05K3/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性线路板外层细线路的制作方法，包括：在外层线路板表面压合至少两层干膜；两层干膜为曝光图形不完全重合的内层干膜和外层干膜；对未曝光的干膜进行显影；蚀刻外层线路板上裸露出的金属层；去除干膜；其中，内层干膜在对应外层线路板上通孔和盲孔以外的位置进行局部曝光；外层干膜和内层干膜同时在对应外层线路板上通孔和盲孔的位置进行曝光，使得内层干膜和外层干膜在线路图形区域形成差异化曝光和固化。叠加双层干膜，实现厚度增厚，增加填充和盖孔能力，同时控制孔内深层干膜的反应程度，易于完成去膜。
一种柔性线路板外层细线制作方法

[发明专利]一种半显影干膜法实现精细线路的蚀刻方法-CN202111394712.2在审
发明人：韩少华;陆文;王健 -专利权人：上达电子（深圳）股份有限公司
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： H05K3/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种半显影干膜法实现精细线路的蚀刻方法，属于线路蚀刻技术领域。包括步骤：在基材的铜层上贴覆干膜；利用半显影工艺对干膜进行减薄；对贴覆的干膜进行曝光、显影、蚀刻、剥膜处理，完成精细线路的形成。所述的半显影工艺处理的干膜为正性干膜的情况下，通过整板显影，对干膜进行减薄。本发明的有益效果是：半显影干膜法提升了干膜解析度，生产产品线路更精细，提升产品竞争力；干膜价格便宜，降低产品生产成本；半显影干膜法使用干膜贴覆工艺，相较涂布光刻胶工艺设备简单，价格低廉，生产难度降低。
一种显影干膜法实现精细线路蚀刻方法

[实用新型]软性印刷线路板压膜机-CN201420433633.7有效
发明人：陈志鹏;朱长峰;张振兴 -专利权人：淳华科技（昆山）有限公司
申请日： 2014-08-04 - 公布日： 2015-02-11 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种软性印刷线路板压膜机，在软性印刷线路板生产过程中用于进行干膜压合，其包括承载干膜并动作的干膜动作机构、控制干膜动作机构动作的控制器，控制器与电源相通过电路相连接，电路上设置有干膜脱落开关，电路上还设置有辅助开关，当且仅当干膜脱落开关和辅助开关均闭合时，控制器接通电源而控制干膜动作机构动作。本实用新型的压膜机通过两个开关与控制器共同控制干膜的脱落，工作人员仅误操作原有的干膜脱落开关时，并不会导致干膜误脱落，而仅当干膜脱落开关和辅助开关同时闭合时，控制器才会控制干膜动作机构使其上的干膜脱落，从而能够有效地防止发生干膜误脱落的情况，避免了设备出现意外。
软性印刷线路板压膜机

[发明专利]自动换膜式贴膜机-CN201810695978.2在审
发明人：杨威;解红伟;王建勋 -专利权人：广东思沃精密机械有限公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： B65H26/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种自动换膜式贴膜机，包括机架、用于将膜卷贴附于印制电路板表面的贴膜装置和用于向贴膜装置供给干膜的供膜装置，供膜装置包括用于支撑膜卷的若干干膜架，各干膜架上设置有用于定位膜卷上干膜的起始端的定膜机构，供膜装置还包括设于机架上且具有上料位置的工作台和用于牵引上料位置上的干膜架上膜卷上干膜的起始端至贴膜装置的拉膜上料装置，工作台上设置有用于支撑各干膜架并驱动使用完干膜的干膜架至换料位置后驱动一个存储有膜卷的干膜架移动至上料位置的切换装置；拉膜上料装置设于贴膜装置与切换装置之间，各干膜架上还设置有用于确定换膜时机的第一检测装置。本发明提供的自动换膜式贴膜机提高了贴膜和换膜的效率。
干膜贴膜装置供膜装置贴膜机膜式切换装置上料位置上料装置拉膜膜卷印制电路板表面定膜机构检测装置定位膜后驱动起始端上膜卷支撑膜工作台换料贴附贴膜存储牵引驱动时机移动支撑

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