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[发明专利]显示装置和电子设备-CN200810178938.7有效
发明人：嶋田佑介;金谷康弘;中嶋大贵;八木圭一 -专利权人：索尼株式会社
申请日： 2008-12-05 - 公布日： 2009-06-10 - 主分类号： G02F1/1362 文献下载
摘要：该显示装置包括：具有像素区域的基体，像素以矩阵形式布置在该像素区域中；有机平坦化膜，其由有机膜构成并设置在基体上；干式蚀刻膜，其设置在有机平坦化膜上并利用干式蚀刻方法形成；导电膜，其设置在干式蚀刻膜上；以及位于像素区域周边外侧的有机膜除去区域，在该有机膜除去区域中的有机平坦化膜被除去。在上述显示装置中，干式蚀刻膜或者在形成干式蚀刻膜之前形成的膜在有机膜除去区域中终止。根据本发明，当利用干式蚀刻方法来形成干式蚀刻膜时，能够防止有机平坦化膜在干式蚀刻膜的膜端部处具有倒锥形形状，这样就能够防止由放电所引起的缺陷的形成。
显示装置电子设备

[发明专利]抑菌型干式膜及其制备方法和应用-CN201710982082.8在审
发明人：张杨;刘轶群;潘国元;严昊;徐健 -专利权人：中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司北京化工研究院
申请日： 2017-10-20 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： B01D71/48 文献下载
摘要：本发明涉及分离膜领域，具体涉及一种抑菌型干式膜及其制备方法和应用。该干式膜包括支撑层，所述干式膜的表面以及支撑层中含有含环氧基团的季铵盐。该干式膜和制备方法不仅可以实现用于纳滤、反渗透或超滤等的膜的干态保存，同时还可以有效解决长期存储过程中干式膜容易滋生细菌的问题。
干式制备方法和应用支撑层抑菌含环氧基团长期存储有效解决反渗透分离膜季铵盐超滤干态纳滤制备细菌保存

[发明专利]一种耐强酸强碱聚醚砜管式超滤干膜的制备方法-CN201210474461.3有效
发明人：关晓琳;尹燕亓;云金明;王怀林 -专利权人：江苏凯米膜科技股份有限公司
申请日： 2012-11-21 - 公布日： 2013-03-13 - 主分类号： C08J7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种耐强酸强碱聚醚砜管式超滤干膜的制备方法，采用现有的耐强酸强碱聚醚砜管式超滤湿膜，对其进行热处理，随后浸泡于膜干态处理液中，最后将处理后的聚醚砜管式超滤湿膜进行干燥处理制成膜性能稳定、耐强酸强碱、机械强度高、透水性好的管式超滤干膜。本发明管式超滤干膜制备方法简单可行，可实现连续化生产，制得膜产品可干态存放，便于膜组件浇铸，方便保存与运输。
一种强酸强碱聚醚砜管式超滤制备方法

[实用新型]一种防水型医用干式胶片-CN202220239706.3有效
发明人：蒋和兴 -专利权人：赛珂无锡医疗科技有限公司
申请日： 2022-01-29 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B32B33/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及医用干式胶片技术领域，且公开了一种防水型医用干式胶片，包括干式胶片乳剂膜，所述干式胶片乳剂膜的上端外表面固定连接有干式胶片片基，所述干式胶片片基的上端设置有干式胶片结合膜，所述干式胶片结合膜的上端外表面固定连接有干式胶片增感屏，所述干式胶片乳剂膜上设置有防水组件，一种防水型医用干式胶片，防水效果好，该医用干式胶片内部设置有多个防水层，分别是PVC防水涂料层以及JS复合防水型材料，提高了胶片的防水效果，使胶片不会容易损坏，胶片内部还设置有胶片连接稳定层
一种防水医用胶片

[发明专利]生成氧化膜的连续干式/湿式/干式氧化法-CN03119137.1无效
发明人：姚俊敏 -专利权人：旺宏电子股份有限公司
申请日： 2003-03-14 - 公布日： 2004-09-22 - 主分类号： H01L21/316 文献下载
摘要：一种生成氧化膜的连续干式/湿式/干式氧化方法，用于在基片上生成一个氧化膜。先采用一个第一干式氧化工艺，以致密化原生氧化膜。然后，采用一个湿式氧化工艺，以生成氧化膜。接着，进行一个第二干式氧化工艺，以降低俘获电荷密度。
生成氧化连续湿式

[发明专利]半导体基板的干式蚀刻方法及硅氧化膜的干式蚀刻方法-CN202180031524.5在审
发明人：大槻刚;阿部达夫 -专利权人：信越半导体株式会社
申请日： 2021-03-03 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明是一种半导体基板的干式蚀刻方法，其为具有氧化膜的半导体基板的干式蚀刻方法，其中，预先评价所述氧化膜的膜质，并基于该评价的结果确定进行所述干式蚀刻的时间。由此，提供以下的方法：在对半导体基板表面的氧化膜进行干式蚀刻时，可不受氧化膜的膜质差异影响，准确地控制氧化膜的蚀刻量，而抑制过度蚀刻或蚀刻不足。
半导体蚀刻方法氧化

[发明专利]可高速生产枕式干式复合包装膜-CN201310494744.9无效
发明人：程一龙;陈小峰;曹胡婷 -专利权人：江苏申凯包装高新技术股份有限公司
申请日： 2013-10-20 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： B32B27/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种包装膜，尤其是一种可高速生产枕式干式复合包装膜，属于复合软包装膜的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述可高速生产枕式干式复合包装膜，包括透明聚酯膜层，所述透明聚酯膜层上干式复合有高延伸铝箔层，所述高延伸铝箔层上干式复合有透明聚乙烯膜层。本发明包装膜通过透明聚酯膜层、高延伸铝箔层及透明聚乙烯膜层干式复合而成，透明聚乙烯膜层大大降低了起封温度，保证了包装膜在快速包装过程中的热封强度，高延伸铝箔层具有良好的延伸性能，可以避免包装膜在包装过程中热封刀压力过大造成的断裂现象，使得包装膜可满足每分钟100刀的高速生产要求，结构简单紧凑，安全可靠。
高速生产枕式干式复合包装

[发明专利]薄膜元件的制备方法及其共模滤波器的制备方法-CN201210156369.2无效
发明人：张怀禄;张育嘉;谢明峰;许秀美;傅国荣 -专利权人：佳邦科技股份有限公司
申请日： 2012-05-18 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： H01F41/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用干式聚亚酰胺膜形成绝缘层的薄膜元件的制备方法及其共模滤波器的制备方法，包含下列步骤：形成至少一第一导电图案于一基板上；置放一干式聚亚酰胺膜于该第一导电图案上；施加一力量于该干式聚亚酰胺膜，使得该干式聚亚酰胺膜填入该第一导电图案的空隙；以及形成至少一第二导电图案于该干式聚亚酰胺膜上。
薄膜元件制备方法及其滤波器

[发明专利]一种薄膜式EMI滤波器结构及其制造方法-CN202210964300.6有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：深圳新声半导体有限公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： H01L23/552 文献下载
摘要：本发明提出了一种薄膜式EMI滤波器结构及其制造方法。所述薄膜式EMI滤波器结构包括多个芯片和多个基板PAD；所述多个芯片和多个基板PAD均设置于基板上；所述多个芯片和多个基板PAD上均布设一层有机干膜；在与所述基板PAD对应的有机干膜上开设有螺旋式干膜开窗；在所述有机干膜和螺旋式干膜开窗上设置有EMI屏蔽层，并且，所述EMI屏蔽层通过所述螺旋式干膜开窗渗透布设与所述基板PAD的表面上粘合；所述基板与盖板键合形成封装结构。
一种薄膜 emi 滤波器结构及其制造方法

[发明专利]卷对卷聚酰亚胺膜的清洗方法及其系统-CN201510236327.3有效
发明人：陈宗仪;滨泽晃久;陈文钦;邱建峰;范士诚 -专利权人：柏弥兰金属化研究股份有限公司;达迈科技股份有限公司;荒川化学工业股份有限公司
申请日： 2015-05-11 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： B08B7/04 文献下载
摘要：本发明是一种卷对卷聚酰亚胺膜的清洗方法及其系统，其包括有提供下列步骤提供一卷筒式聚酰亚胺膜；将该聚酰亚胺膜进行放卷制程；将该聚酰亚胺膜进行一膜面清洁制程，其中该膜面清洁制程，可先进行干式膜面清洁制程，再进行湿式膜面清洁制程，或可先进行湿式膜面清洁制程，再进行干式膜面清洁制程；及进行一收卷制程。另外，该清洗系统依序包括有一放卷装置；一膜面清洁装置，其可先为一干式清洁机，再为一湿式清洁机，或可先为一湿式清洁机，再为一干式清洁机；及一收卷装置。
聚酰亚胺清洗方法及其系统

[发明专利]自动换膜式贴膜机-CN201810695978.2在审
发明人：杨威;解红伟;王建勋 -专利权人：广东思沃精密机械有限公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： B65H26/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种自动换膜式贴膜机，包括机架、用于将膜卷贴附于印制电路板表面的贴膜装置和用于向贴膜装置供给干膜的供膜装置，供膜装置包括用于支撑膜卷的若干干膜架，各干膜架上设置有用于定位膜卷上干膜的起始端的定膜机构，供膜装置还包括设于机架上且具有上料位置的工作台和用于牵引上料位置上的干膜架上膜卷上干膜的起始端至贴膜装置的拉膜上料装置，工作台上设置有用于支撑各干膜架并驱动使用完干膜的干膜架至换料位置后驱动一个存储有膜卷的干膜架移动至上料位置的切换装置；拉膜上料装置设于贴膜装置与切换装置之间，各干膜架上还设置有用于确定换膜时机的第一检测装置。本发明提供的自动换膜式贴膜机提高了贴膜和换膜的效率。
干膜贴膜装置供膜装置贴膜机膜式切换装置上料位置上料装置拉膜膜卷印制电路板表面定膜机构检测装置定位膜后驱动起始端上膜卷支撑膜工作台换料贴附贴膜存储牵引驱动时机移动支撑

[实用新型]自动换膜式贴膜机-CN201821026572.7有效
发明人：杨威;解红伟;王建勋 -专利权人：广东思沃精密机械有限公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： B65H26/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种自动换膜式贴膜机，包括机架、用于将膜卷贴附于印制电路板表面的贴膜装置和用于向贴膜装置供给干膜的供膜装置，供膜装置包括用于支撑膜卷的若干干膜架，各干膜架上设置有用于定位膜卷上干膜的起始端的定膜机构，供膜装置还包括设于机架上且具有上料位置的工作台和用于牵引上料位置上的干膜架上膜卷上干膜的起始端至贴膜装置的拉膜上料装置，工作台上设置有用于支撑各干膜架并驱动使用完干膜的干膜架至换料位置后驱动一个存储有膜卷的干膜架移动至上料位置的切换装置；拉膜上料装置设于贴膜装置与切换装置之间，各干膜架上还设置有用于确定换膜时机的第一检测装置。本实用新型提供的自动换膜式贴膜机提高了贴膜和换膜的效率。
干膜贴膜装置供膜装置贴膜机膜式本实用新型切换装置上料位置上料装置拉膜膜卷印制电路板表面定膜机构检测装置定位膜后驱动起始端上膜卷支撑膜工作台换料贴附贴膜存储牵引驱动时机移动支撑

[发明专利]光掩模坯料及光掩模的制造方法-CN201080056696.X有效
发明人：小岛洋介;吉川博树;稻月判臣;小板桥龙二 -专利权人：凸版印刷株式会社;信越化学工业株式会社
申请日： 2010-12-03 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： G03F1/56 文献下载
摘要：在含有铬、在氟类干式蚀刻中不受到实质性的蚀刻并且在含氧氯类干式蚀刻中能够蚀刻的遮光膜（13）之上，层叠不含有铬、在氟类干式蚀刻且含氧氯类干式蚀刻中能够蚀刻的膜（14）。
光掩模坯料制造方法

[实用新型]一种干式喷房漆雾过滤处理装置-CN202320750126.5有效
发明人：白雪凤;崔亚东 -专利权人：嘉兴智和自动化科技有限公司
申请日： 2023-04-07 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： B01D46/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种干式喷房漆雾过滤处理装置，包括干式过滤箱、汇总风管、出风管和干式过滤模组所述干式过滤箱、汇总风管和出风管通过固定结构连接为一体，干式过滤模组设置在干式过滤箱内。所述干式过滤箱的前端设有过滤箱进风口，汇总风管设置在干式过滤箱的后端，汇总风管的两端分别连接干式过滤箱和出风管，所述出风管设置在干式过滤箱和汇总风管的下方，出风管的前端设有与汇总风管连通的进风口，出风管的后端设有出风口本实用新型通过采用固定结构将干式过滤箱、汇总风管和出风管连接为一体，并在连接处和干式过滤箱的内壁上设有塑料密封膜，从而防止漆雾在积累在上述位置，当密封塑料膜上的油漆积累过多时，可直接更换掉密封塑料膜。
一种干式喷房漆雾过滤处理装置

[发明专利]带凹凸结构膜的玻璃基板的使用干式蚀刻的制造方法、带凹凸结构膜的玻璃基板、太阳能电池及太阳能电池的制造方法-CN201280042015.3有效
发明人：寺前文晴;难波江宏一;北野司;近藤俊行;铃木敦志;森绿 -专利权人：崇高种子公司
申请日： 2012-08-29 - 公布日： 2014-04-30 - 主分类号： H01L31/04 文献下载
摘要：本发明提供通过干式蚀刻精度良好地赋予微细的凹凸结构的带凹凸结构膜的玻璃基板的使用干式蚀刻的制造方法、带凹凸结构膜的玻璃基板、太阳能电池及太阳能电池的制造方法。在对由干式蚀刻时的蒸气压相互不同的多个氧化物构成的玻璃基板赋予凹凸结构时，包括在玻璃基板的平坦的表面形成由单一材料构成的被加工膜的被加工膜形成工序和利用干式蚀刻在被加工膜的表面形成周期性的凹凸结构的凹凸结构形成工序，通过干式蚀刻精度良好地赋予微细的凹凸结构。
凹凸结构玻璃使用蚀刻制造方法太阳能电池

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