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[发明专利]一种表面无气凝胶大颗粒附着的纤维增强气凝胶毡及其制备方法-CN201710228485.3有效
发明人：吴锦源;刘天时;崔恒律;许斌;殷龙盘;秦德勇;刘斌 -专利权人：航天海鹰（镇江）特种材料有限公司
申请日： 2017-04-10 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： C04B30/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种表面无气凝胶大颗粒附着的纤维增强气凝胶毡及其制备方法，面无气凝胶大颗粒附着的纤维增强气凝胶毡，采用二氧化硅气凝胶与增强纤维毡复合而成，二氧化硅气凝胶具有纳米多孔空间结构。本发明所提供的制备工艺，可以采用整卷常压浸胶方式(泵驱动卷芯注胶循环的方式)，制备出一种表面无气凝胶大颗粒附着的纤维增强气凝胶毡，工艺过程简单，产品外观统一、厚度均匀，产品合格率高于90％，同时可降低气凝胶材料生产的原材料成本，表面无气凝胶大颗粒附着为气凝胶复合材料的后处理工艺提供便利。
一种表面凝胶颗粒附着纤维增强及其制备方法

[实用新型]一种NF3管路结构-CN201520536803.9有效
发明人：刘涛;金懿 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2015-07-22 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种NF₃管路结构，包括气体柜、清扫管路、工艺管路、远程等离子体系统及工艺反应腔体，所述气体柜中设置有清扫NF₃气源和工艺NF₃气源，所述清扫管路一端连通清扫NF₃气源、另一端依次连通远程等离子体系统和工艺反应腔体，所述工艺管路一端连通工艺NF₃气源、另一端连通工艺反应腔体。本实用新型采用的工艺管路没有经过远程等离子体系统，而是直接和工艺反应腔体连接，进入工艺反应腔体后，工艺NF₃不会带有远程等离子体系统中的颗粒等附着物，在硅片成膜的过程中，避免附着物对硅片的不利影响，保证了硅片的良率，提高了工艺的效率，减少了颗粒引入源。
一种 nf3 管路结构

[发明专利]混气装置及半导体工艺设备-CN202210554343.7有效
发明人：郑波;朱磊;魏景峰;佘清;刘建民;纪红;何中凯 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B01F25/42 文献下载
摘要：本发明提供一种混气装置，其混气部件中，第一进气通道和第二进气通道的进气端分别与第一进气管路和第二进气管路的出气端连通；第一进气通道和第二进气通道的出气端均与环形混气通道连通；环形混气通道的出气端用于与半导体工艺设备的工艺腔室连通；第一进气通道和第二进气通道的出气方向被设置为能够使分别从第一进气通道和第二进气通道的出气端流入环形混气通道中的气体在混合时，均沿环形混气通道的周向上的同一方向旋转流动。本发明提供的混气装置及半导体工艺设备，其不仅可以缩短混气时间，提高混气效率，而且可以有效提高混合均匀性，提高产品性能。
装置半导体工艺设备

[发明专利]一种油田伴生气轻烃回收利用工艺-CN201310474290.9无效
发明人：陈磊;胡德树 -专利权人：宁夏宝塔石化科技实业发展有限公司
申请日： 2013-10-12 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： C10G5/00 文献下载
摘要：一种油田伴生气轻烃回收利用工艺，包括如下步骤：来自厂外提供的油田伴生气依次经过原料沉降脱水脱杂、撬装机组气液分离、轻烃精制、工艺废水废烃回收过程，生成净化干气、C3，C4液化气及液体烃。本发明采用撬装设计，多套撬装机组并联布置，有效解决装置加工量大幅变化的适应能力，操作弹性34~136%，工艺废水中的重烃、排出的气态烃全部加以回收利用，工艺污水全部回收处理回用，干气全部得到有效利用，工艺上做到零排放
一种油田伴生气轻烃回收利用工艺

[实用新型]天然气压缩机组工艺气管道系统-CN201020220327.7无效
发明人：袁帮伟 -专利权人：成都展望能源机械有限公司
申请日： 2010-06-09 - 公布日： 2011-01-12 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：本实用新型属于天然气压缩机组工艺设备领域，具体是天然气压缩机组工艺气管道系统，由一级进气洗涤罐(1)、一级进气缓冲罐(2)、一级气缸(3)、一级排气缓冲罐(4)，一级空冷器(5)和二级进气洗涤罐(6)、二级进气缓冲罐(7)、二级气缸(8)、二级排气缓冲罐(9)，二级空冷器(10)经管道依次连接而成，一级进气洗涤罐与工艺气进口管道(11)连接，二级空冷器与工艺气出口管道(12)连接，其特征在于在一级空冷器(5)和二级进气洗涤罐(6)之间的一级排气管道(13)上设置有孔盲板(14)，在孔盲板(14)之后的一级排气管道(13)与工艺气进口管道(11)之间增设G1管道(15)，在G1管道(15)上设置有前孔盲板(16)，在孔盲板(14)之前的一级排气管道(13)与工艺气出口管道(12)之间增设G2管道(17)，在G2管道(17)上设置有后孔盲板(18)，系统适应工况变化范围宽、技术性能好。
天然气压缩机组工艺管道系统

[发明专利]一种气水同注井注入管柱防腐处理工艺-CN201810194558.6有效
发明人：曾德智;戚亚东;李皓;董宝军;喻智明;蔡乐乐;同航;邓宽海;施太和 -专利权人：西南石油大学
申请日： 2018-03-09 - 公布日： 2020-01-31 - 主分类号： E21B41/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种气水同注井注入管柱防腐处理工艺，属于油气井管柱防腐技术领域。该工艺包括注水前防腐和注气前防腐两个工艺流程，通过在注水前和注气前注入处理剂，在管柱内形成段塞，从而起到除气和水、杀菌除氧以及在管壁上形成防护膜的效果。该工艺能够大大降低油气井注气管柱因水气接触而引起的管柱腐蚀穿孔和断裂风险，预防井下管柱安全事故。
管柱防腐处理工艺注入管柱油气井注气防腐注水安全事故防腐技术井下管柱注气管柱工艺流程处理剂防护膜穿孔水气除气除氧段塞管壁杀菌断裂腐蚀预防

[实用新型]用于化学气相沉积工艺的喷淋头-CN201220027841.8有效
发明人：梁秉文;陈勇;叶芷飞 -专利权人：光达光电设备科技（嘉兴）有限公司
申请日： 2012-01-21 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于在衬底上进行化学气相沉积工艺的喷淋头，包括：金属主体层，在进行化学沉积工艺时的温度低于300摄氏度；外表面层，位于所述金属主体层的靠近衬底一侧的表面，所述外表面层在进行化学气相沉积工艺时的温度高于所述金属主体层的温度本实用新型提高了化学气相沉积工艺形成的外延材料层的质量，也提高了化学气相沉积设备的产能和效率。
用于化学沉积工艺喷淋

[发明专利]工艺室气氛检测方法和晶片加工设备-CN201610530492.4有效
发明人：杨洋 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2016-07-06 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种工艺室气氛检测方法和晶片加工设备。该工艺室气氛检测方法包括：移出工艺室内的晶片；关闭所述工艺室的阀门，将室内气压降低到指定工作压力以下；启动残气分析仪对室内气氛进行检测；若室内气氛无异常，则残气分析仪停止工作，打开工艺室阀门，等待晶片进入；若室内气氛异常，则残气分析仪停止工作，发出异常警报。本发明提供的方法降低了晶片工艺加工的成本。
工艺气氛检测方法晶片加工设备

[发明专利]一种依靠低温甲醇溶液脱除合成天然气中水的工艺及装置-CN201510620829.6在审
发明人：何振勇;蔚龙;解晨;张生;王双彪;孙建威;宣永根;李伟;刘金超;楚洁璞;刘学强 -专利权人：新地能源工程技术有限公司
申请日： 2015-09-25 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： C10L3/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种依靠低温甲醇溶液脱除合成天然气中水的工艺及装置，所述工艺包括在低温环境下依靠甲醇溶液将合成气中的水脱除，并在常温接触塔中对甲醇溶液进行再生。本发明提供的合成天然气干燥流程简单，设备少，容易制造成一个统一的撬装设备，特别适用于合成气干燥工艺。
一种依靠低温甲醇溶液脱除合成天然气中水工艺装置

[发明专利]一种化工污水深度处理工艺-CN202211654212.2在审
发明人：包红旭;陈晨;王泳璇;马修文;江世杰;潘晨晨;高萌;殷万欣;张伟良 -专利权人：辽宁大学
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： C02F9/00 文献下载
摘要：本发明公开一种化工污水深度处理工艺。在改进ICEAS基础上串联曝气生物滤池，形成改进型ICEAS工艺，用于污水水质的净化。污水经搅拌、曝气、沉淀、滗水、曝气生物滤池、消毒处理之后排出。本发明在改进ICEAS工艺后串联了曝气生物滤池。串联的曝气生物滤池具有高比表面积、大生物量，占地面积省；同时该工艺的处理装置紧凑，生化反应和过滤在一个单元中进行，不需要二沉池，节省占地面积。另外粒状滤料使充氧效率提高，可节省能耗，工艺运行稳定，污水中各污染因子得到有效去除，使处理后出水达到国家一级排放标准。
一种化工污水深度处理工艺

[发明专利]一种用于高炉炼铁的富氧干气供应工艺-CN201210324689.4无效
发明人：李东林;郎治;王华金;苏为民;马光俊 -专利权人：李东林;郎治;王华金;苏为民;马光俊
申请日： 2012-09-05 - 公布日： 2012-12-05 - 主分类号： C21B9/16 文献下载
摘要：本发明涉及高炉炼铁工艺技术领域，提供了一种与高炉炼铁冶炼过程相适应的富氧干气供应工艺。本发明的富氧干气供应工艺步骤包括：经高炉鼓风机增压后的空气，经过预冷器、空冷器冷却后，直接通过PSA脱除其中的水分和部分氮气，所得富氧干气回到预冷器进行升温，然后经热风炉送往高炉用作助燃。该工艺充分利用现有高炉炼铁冶炼工艺中的设备，将经过高炉鼓风机出口增压的空气，经PSA来直接制备富氧干气，改变了现有技术中需要外置添加富氧来制取富氧干气的方式。具备设备投资低、运行能耗低的特点。
一种用于高炉炼铁富氧干气供应工艺

[实用新型]一种直拉单晶炉在线式热场再生系统-CN202222141087.7有效
发明人：张军彦;冯文彪;王晓峰;白枭;李媛 -专利权人：山西中电科新能源技术有限公司
申请日： 2022-08-15 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种直拉单晶炉在线式热场再生系统，属于半导体技术领域；包括载气提供装置和工艺气体提供装置；载气提供装置和工艺气体提供装置通过进气管路与直拉单晶炉副室相连接，直拉单晶炉连接有抽气管路；抽气管路与直拉单晶炉的连接处位于保温筒底部以下；载气提供装置提供的载气为惰性气体，工艺气体提供装置提供的工艺气体为卤素气体；本实用新型通过载气和工艺气体的有序流动，在高温状态下与炉内杂质反应将其有效去除，延长了单晶炉内部炭素材料的寿命；提升了单晶棒的寿命
一种直拉单晶炉在线式热场再生系统

[发明专利]一种瓦斯利用脱氧脱碳净化工艺-CN202010631793.2在审
发明人：李雪飞;车永芳;郭昊乾;梁江朋;李小亮;王鹏;肖宏生 -专利权人：煤炭科学技术研究院有限公司
申请日： 2020-07-02 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： C10L3/10 文献下载
摘要：本发明属于瓦斯利用处理技术领域，具体涉及一种瓦斯利用过程中脱氧脱碳净化工艺。本发明提供了瓦斯气利用中脱氧脱碳净化工艺，以瓦斯气为原料，先进行压缩和净化处理，再根据气源CO2浓度进行两级变压吸附处理，在工艺安全的前提下，分别脱除瓦斯气中含有的该工艺中，选用常规脱氧用活性炭吸附剂进行脱氧提高分离工艺安全性，选用KOH改性吸附剂进行脱碳，可同时实现CO2分离及CH4的浓缩，且分离效率更优，既保障了工艺安全可靠又实现了瓦斯气的脱碳净化，有效扩大了瓦斯气利用范围和途径。
一种瓦斯利用脱氧脱碳净化工艺

[发明专利]一种耐硫甲烷合成工艺和装置-CN201910155636.6有效
发明人：张永泽;史立杰;李晨佳;冯璐瑶;张金舵;杨磊;刘鹏翔;刘雪飞;常俊石 -专利权人：新地能源工程技术有限公司
申请日： 2019-03-01 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： C10L3/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种耐硫甲烷合成工艺和装置，所述工艺包括如下步骤：经净化处理后的煤基合成原料气，与第一段耐硫甲烷合成反应器出口工艺气换热后，进入两段串并联的耐硫甲烷合成反应器，耐硫甲烷合成工段出口工艺气经换热冷凝后，在低温甲醇洗工段脱除工艺气中的H2S及大部分酸性气体如CO2等，工艺气经换热至所需温度后进入两段串并联的补充甲烷合成反应器甲烷化，然后进一步进入第三段低温甲烷合成反应器甲烷化，第三段低温甲烷合成反应器出口气经冷凝分离除水、变压吸附/深冷分离脱除CO2后得到天然气产品。
一种甲烷合成工艺装置

[实用新型]一种防错装气助喷嘴-CN201821756076.7有效
发明人：吕柏禹;吴亚芳;杨延相 -专利权人：无锡恒和环保科技有限公司
申请日： 2018-10-29 - 公布日： 2019-08-02 - 主分类号： B05B13/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防错装气助喷嘴，属于汽车配件领域。该防错气助喷嘴包括气助喷嘴杆、喷嘴安装压盘、弹性可拆卸止退片；气助喷嘴杆上具有第一工艺台阶和第二工艺台阶，第二工艺台阶靠近喷射口；喷嘴安装压盘设置在第二工艺台阶的下方；弹性可拆卸止退片设置在第二工艺台阶的下方，且设置在喷嘴安装压盘的上方；弹性可拆卸止退片为U型结构，弹性可拆卸止退片上的卡槽两侧设置有对称的两个圆弧，卡槽的宽度小于第二工艺台阶的最小直径；弹性可拆卸止退片的长度大于喷嘴安装座的内径；解决了工人在安装气助喷嘴时发生误操作需要拆下气助喷嘴重新安装的问题；达到了防止工人将气助喷嘴的进液口端和喷射口端装反的效果。
气助工艺台阶喷嘴可拆卸止退片喷嘴安装压盘防错装喷射口喷嘴杆本实用新型喷嘴安装座进液口端汽车配件重新安装槽两侧误操作防错卡槽装反对称