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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]键合机台的对准机构及对准方法-CN202011254811.6在审
发明人：林俊成;张容华;张茂展 -专利权人：鑫天虹(厦门)科技有限公司
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供一种键合机台的对准机构，尤指一种晶圆键合机台的对准机构，主要包括一载台、至少三个第一对准销、至少三个第二对准销、一第一凸轮及一第二凸轮。第一凸轮相对于载台转动时，将会驱动第一对准销相对于载台位移，以定位载台上的第一基板。第二凸轮相对于载台转动时，则会驱动第二对准销相对于载台位移，以定位第一基板上的第二基板，使得第二基板对准第一基板，以利于第一基板及第二基板的键合重叠。
机台对准机构方法

[发明专利]半导体对准装置及半导体对准方法-CN202110678260.4在审
发明人：陈佳政;杨智凯;陈亮吟;张惠政;杨育佳 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2021-06-18 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：揭示一种半导体对准装置及半导体对准方法，即校正晶圆在晶圆保持件上的错位的方法以及执行此方法的装置。在一实施方式中，半导体对准装置包含晶圆平台；晶圆保持件位于晶圆平台上；第一位置侦测器配置以侦测晶圆在晶圆保持件之上在第一方向上的对准；第二位置侦测器配置以侦测晶圆在晶圆保持件之上在第二方向上的对准；以及旋转侦测器配置以侦测晶圆在晶圆保持件之上的旋转对准
半导体对准装置方法

[发明专利]对准装置、光刻机以及对准方法-CN202011625887.5在审
发明人：邢奕飞;高安;孙建超 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种对准装置、光刻机以及对准方法。光照单元提供的光照经一光栅标记后，产生衍射光。所述分光单元将所述衍射光的光场分割为至少两个子光场。当移动光栅标记至各探测器获取的光能量均达到预设值时，光栅标记的所在位置为对准位置。因此，本发明利用分光单元分割出至少两个子光场，通过探测单元实现每个子光场内衍射光的干涉，再利用多个所述探测器检测，大大提高对准精度，且无需使用自参考干涉棱镜，即可实现位置对准，不仅降低成本，而且操作简单
对准装置光刻以及方法

[发明专利]用于设备的对准的双模磁性对准部件-CN202210606304.7在审
发明人： T·J·拉斯穆森;E·S·乔;C·S·格雷厄姆;K·R·F·拉尔森;E·X·周 -专利权人：苹果公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H02J50/90 文献下载
摘要：本公开涉及用于设备的对准的双模磁性对准部件。双模环形磁性对准部件可包括在电子设备中，该电子设备使用磁性对准系统来附接到其他电子设备，该磁性对准系统包括具有互补(和固定)磁性取向的初级环形对准部件和次级环形对准部件。在双模对准部件中，一组对准磁体可在第一位置和第二位置之间重新取向或移位，在该第一位置中，该双模对准部件的磁性取向与初级环形对准部件互补，在该第二位置中，该双模对准部件的磁性取向与次级环形对准部件互补。结合双模对准部件的双模电子设备可经由初级环形对准部件或次级环形对准部件互换地附接到另一个设备。
用于设备对准双模磁性部件

[发明专利]固定设备、对准系统和对准方法-CN202210116567.X在审
发明人：张荣;张丹丹;鲁异;周磊;包祥浩 -专利权人：泰科电子（上海）有限公司;泰连服务有限公司
申请日： 2022-02-07 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H05K3/34 文献下载
摘要：本发明公开一种固定设备、对准系统和对准方法。固定设备包括：导线夹持装置和固定装置。导线夹持装置适于夹持和固定多根导线。在所述导线夹持装置所夹持的多根导线的导体芯与放置在所述基板上的电路板的多个导线焊垫分别对准之后，用所述导线固定件将所述多根导线固定在所述基板上，并用所述电路板固定件将所述电路板固定在所述基板上。对准系统能够自动实现导线和电路板之间的对准，提高了对准效率和精度。
固定设备对准系统方法

[发明专利]精密传输预对准装置和预对准方法-CN202211716129.3在审
发明人：罗先刚;闫剑;刘明刚;李成文利;王长涛 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本公开提供一种精密传输预对准装置和预对准方法，该装置包括：温度处理单元(2)，包括均流板(2.1)、帕尔贴元件(2.3)和散热风扇(2.4)，用于通过加热或者制冷将气浴气体调控至目标温度；气浴恒温箱(1气浴栅栏(1.2)和温度传感器(1.3)，用于将气浴气体均匀传递至内部腔室(1.6)及测量温度；气浴恒温箱(1)与温度处理单元(2)分别通过供风管(1.4)和回风管(1.5)连接，以使气浴气体进行流通；预对准系统本公开的预对准装置结构体积小、温度分布均匀，能同时实现晶圆预对准、面形翘曲检测以及表面异物检测。
精密传输对准装置方法

[发明专利]键合机的对准机构及对准方法-CN202110845766.X在审
发明人：林俊成 -专利权人：鑫天虹(厦门)科技有限公司
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供一种键合机的对准机构，尤指一种晶圆键合机的对准机构，主要包括一载台、三个第一对准单元及三个第二对准单元。载台的承载面具有一放置区用以放置一第一基板，其中第一对准单元及第二对准单元环绕设置在承载面的放置区周围。第一对准单元包括一底部及一凸出部，其中凸出部朝放置区的方向凸出底部。第一对准单元的底部用以定位第一基板，而第一对准单元的凸出部则用以承载一第二基板，并以第二对准单元定位放置在第一对准单元的凸出部上的第二基板，使得第二基板对准第一基板，以利于第一基板及第二基板的键合重叠。
键合机对准机构方法

[发明专利]对准方法以及相关的对准和光刻设备-CN202180037591.8在审
发明人： E·M·赫尔斯埃博;F·G·C·比基恩 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-05-11 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：公开了一种在对准标记上执行位置测量的方法以及相关联的设备，该对准标记至少包括第一周期性结构，具有沿着第一方向的周期性的方向。该方法包括获得与位置测量相关的信号数据，并且拟合信号数据以确定位置值。
对准方法以及相关光刻设备

[发明专利]一种光束对准器及其对准方法-CN201010301393.1有效
发明人：黄育争;高文;姚俊 -专利权人：西安昂科光电有限公司
申请日： 2010-02-09 - 公布日： 2010-08-11 - 主分类号： G02B27/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种光束对准器及其对准方法，所述光束对准器由对准器主体、分光棱镜装置、防尘镜和成像装置构成；所述对准器主体内部设置顶端联接口、前端联接口、后端联接口和中间腔体8，顶端联接口、前端联接口、后端联接口通过中间腔体互相连通并且构成三通结构；所述中间腔体内部设置分光棱镜装置；所述顶端联接口设置成像装置7；所述前端联接口设置防尘镜；所述后端联接口联接需对准的仪器；所述后端联接口轴线为对准器主体的基准轴线。本发明在大大缩短已广泛使用的自准直仪等精密光学仪器的装调时间，采用本发明的光束对准器，则装调时间可缩短5-10倍，大大提高了装调的效率。
一种光束对准及其方法

[发明专利]一种光刻对准标记及其对准方法-CN201810163451.5有效
发明人：张永刚 -专利权人：安徽理工大学
申请日： 2018-02-27 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻对准标记，包括多个等间距平行设置的栅格条，所述多个栅格条的中心位置均垂直固定于一个长矩形条，用于光刻机对准的标记以及使用该标记的对准方法，以实现光刻机在套刻时不同结构之间的精准定位，利用这种对准标记可以在不同层图形之间产生设计者需要的偏移距离，可以利用少量的掩膜版图案在不同层图形之间根据需要产生不同偏移距离的一系列类似结构的电路。利用这种光刻对准标记产生的类似结构，可以用来研究结构在某个方向上结构变化对其电路性能的影响。
一种光刻对准标记及其方法

[发明专利]二次预对准装置及对准方法-CN201110145373.4有效
发明人：郑教增;宋平;徐伟 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-05-31 - 公布日： 2012-12-05 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：一种二次预对准装置，设于运动台和主基板之间，用于对放置在运动台上的晶圆进行二次预对准，包括三个面阵CCD、三组光路系统和一个图像处理器，三组光路系统分别将晶圆的三处边缘图像投影到对应的面阵CCD，三组光路系统所需的光源设置在运动台的外侧另外，光源远离投影物镜设置、物镜、主基板和运动台等对热源敏感的关键部件设置，提高本二次预对准装置的性能稳定性，进一步提高对准精度。
二次对准装置方法

[发明专利]一种标记对准装置及对准方法-CN201510590322.0有效
发明人：刘博;单世宝 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2015-09-17 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种标记对准装置，其特征在于，包括：至少两组对准传感器，该对准传感器包括一广角镜头，该广角镜头的视场范围大于90度；至少一对准标记，该对准标记位于该两组对准传感器的视场重叠区域内。本发明同时公开一种对准方法。
一种标记对准装置方法

[发明专利]一种调焦对准装置及对准方法-CN201610113256.2有效
发明人：齐景超;陈飞彪;吴旭婷;于大维 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-02-29 - 公布日： 2018-12-14 - 主分类号： G03F7/207 文献下载
摘要：本发明公开了一种调焦对准装置及对准方法，用于基底台上基底的调焦和对准，所述调焦对准装置包括第一探测支路，第一探测支路沿光路方向依次包括：光源，产生均匀的照明光；投影狭缝阵列，照明光经投影狭缝阵列后产生调焦光斑和对准光斑，投射至基底表面；分光棱镜，分离经基底反射的调焦光斑和对准光斑；探测单元，包括调焦探测器和对准探测器，调焦探测器对调焦光斑成像得到调焦信号，对准探测器对对准光斑成像得到对准信号；以及信号处理单元，根据调焦信号获得基底的垂向高度变化，根据对准信号获得基底的水平向位置变化；第一探测支路满足Scheimpflug成像条件。本发明使基底上的标记清晰成像到探测器上，提高了调焦和对准精度。
一种调焦对准装置方法

[发明专利]一种对准系统及对准方法-CN201510859907.8有效
发明人：于大维;杜荣 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司;上海微高精密机械工程有限公司
申请日： 2015-11-30 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提出一种对准系统及对准方法，该对准系统包括：掩模版，提供投影曝光图案和对准标记；投影物镜焦面测量标记，设置于所述掩模版上；投影物镜，对掩模版上的曝光图案、标记成像到硅片方像方焦面；工件台，承载有同轴镜头、基准板和硅片，其中同轴镜头对对准标记、投影物镜焦面测量标记和调焦标记进行成像，基准板承载有调焦标记和参考标记，并提供水平向和垂向测量基准，硅片承载有硅片对准标记；调焦调平系统，对硅片表面调平，控制硅片上表面与硅片焦面重合；离轴对准系统，对硅片图案对准。本发明旨在为调焦调平、对准、焦面探测建立统一的测量基准，提高垂向、水平向测量分系统对温度变化等情况的适应能力。
一种对准系统方法

[发明专利]一种分时对准装置和对准方法-CN200710047902.0有效
发明人：徐兵;王鹏程;吕晓薇 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2007-11-07 - 公布日： 2008-04-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种分时对准装置及使用该装置的对准方法，在光学结构设计上同时优化掩模标记成像光学系统和曝光对象标记成像光学系统，使掩模标记和曝光对象标记通过光学结构上的不同光学通道进行成像，在时间上通过先后控制掩模标记成像光学系统和曝光对象标记成像光学系统光路中的机械快门开启和关闭
一种分时对准装置方法

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