专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]具有检测及调整水平功能的键合机台-CN202210419172.7在审
  • 林俊成;张容华;张茂展 - 天虹科技股份有限公司
  • 2022-04-20 - 2023-10-27 - H01L21/67
  • 本发明为一种具有检测及调整水平功能的键合机台,主要包括一第一腔体、一第二腔体、一压合单元、一载台、多个水平调整单元及多个伸缩式距离量测单元。第一腔体用以连接第二腔体,并在两者之间一密闭空间。压合单元设置在第一腔体内,而载台则设置在第二腔体内。压合单元面对载台,并用以键合放置在载台上的基板。水平调整单元设置在第一腔体上,而伸缩式距离量测单元设置在第二腔体上。压合单元朝载台靠近时,会接触并压缩伸缩式距离量测单元,以量测压合单元的水平,并通过水平调整单元调整压合单元的水平,使得压合单元及载台可持续保持水平。
  • 具有检测调整水平功能机台
  • [发明专利]一种网球发射机-CN202310927712.7在审
  • 张子尚;林俊成;吴杰霖;周利民 - 南方科技大学
  • 2023-07-26 - 2023-10-13 - A63B69/40
  • 本发明提供了一种网球发射机,涉及发射机领域,包括发射机构、拨球盘、储球仓和安装架,拨球盘和储球仓安装在安装架上,拨球盘设置在储球仓的底部,拨球盘的出口与发射机构的入口连通,拨球盘用于将网球从储球仓内输送至发射机构内;发射机构包括链路组件、俯仰组件和限位组件。当需要调节发射机构的发射角度时,俯仰组件中的第二挡板转动,此时暂存仓绕转轴的轴线转动,由于网球堆积至链路组件的出口时,处于链路组件出口处的网球的中心与转轴的轴线相交,可以实现链路变化但网球不受挤压,网球不会卡住;限位组件阻止暂存仓中的网球掉落,使得在不需要发球时,网球不会掉出,保证网球连续发射,使受训者得到连续不断的训练。
  • 一种网球发射机
  • [发明专利]沉积机台的承载盘控制方法-CN202210220650.1在审
  • 林俊成 - 天虹科技股份有限公司
  • 2022-03-08 - 2023-09-19 - C23C14/50
  • 本发明提供一种沉积机台的承载盘控制方法,沉积机台包括一腔体、一承载盘、一挡件及一覆盖环。覆盖环设置于挡件上,而承载盘则承载一晶圆,并相对于挡件位移。承载盘开始接触覆盖环的位置定义为一接触位置,并分别于接触位置的下方及上方定义第一及第二位置。承载盘接触第一位置后开始降低位移的速度,而后承载盘带动覆盖环离开挡件。当承载盘接触第二位置后,开始增加离开挡件的速度。通过本发明的控制方法,可减小晶圆与各个机构之间的碰撞力度,以减少在碰撞的过程中产生微粒并防止晶圆损坏。
  • 沉积机台承载控制方法
  • [发明专利]基板传送方法-CN202210173232.1在审
  • 林俊成 - 天虹科技股份有限公司
  • 2022-02-24 - 2023-09-05 - H01L21/677
  • 本发明提供一种基板传送方法,包括将存放在一基板存放区内的复数个基板定义为工作基板及暂存基板。一机械手臂由基板存放区取出其中一工作基板,将工作基板传送至对准单元进行对准,并将经过对准的工作基板传送至一加载互锁腔体。机械手臂由基板存放区取出其中一暂存基板,将暂存基板传送至对准单元进行对准,并将经过对准的暂存基板传送至一氮气缓冲腔体。通过本发明所述的方法,可避免在暂存基板上形成氧化层,或避免设置在暂存基板上的光阻吸水形变,而影响光阻定义的线宽及线距的精准度。
  • 传送方法
  • [发明专利]具有调整功能的键合机台-CN202210101279.7在审
  • 林俊成;张容华;张茂展 - 天虹科技股份有限公司
  • 2022-01-27 - 2023-08-08 - H01L21/68
  • 本发明为一种具有调整功能的键合机台,主要包括一第一腔体、一第二腔体、一压合单元、一载台及复数个水平调整单元,其中第一腔体用以连接第二腔体,并在两者之间一密闭空间。压合单元设置在第一腔体内,而载台则设置在第二腔体内,其中压合单元面对载台,并用以键合放置在载台上的基板。水平调整单元设置在第一腔体上,其中水平调整单元的调整杆穿过第一腔体,并连接压合单元。部分的调整杆位于密闭空间外部,并在第一腔体上形成一调整部,使用者可经由调整部快速且准确地调整压合单元与载台的水平。
  • 具有调整功能机台
  • [发明专利]震动式薄膜沉积装置-CN202210050028.0在审
  • 林俊成 - 天虹科技股份有限公司
  • 2022-01-17 - 2023-07-25 - C23C16/455
  • 本发明提供一种震动式薄膜沉积装置,主要包括一真空腔体、一固定杆体及一粉末槽,其中真空腔体包括至少一内侧面,并于内侧面上设置复数个凸起部及复数个凹陷部。固定杆体及粉末槽设置在真空腔体的一容置空间内,其中粉末槽用以装设粉末,并经由至少一凸出单元接触真空腔体的内侧面。真空腔体相对于固定杆体转动时,凸出单元会在凸起部及凹陷部之间位移,使得连接固定杆的粉末槽相对于真空腔体上下位移,并震动粉末槽内的粉末,以在粉末的表面形成均匀的薄膜。
  • 震动薄膜沉积装置
  • [实用新型]脑波帽-CN202320216040.4有效
  • 关淑君;林俊成;黄雪茵 - 易思脑科技股份有限公司
  • 2023-02-15 - 2023-07-18 - A61B5/291
  • 本实用新型提供一种居家检测用简便穿戴型的脑波帽,用以同时检测受测者的脑波及心率变异性数据,该脑波帽由一头围环圈、多个头顶带及一控制单元所构成,并且在该头围环圈的内围表面以及头顶带的下表面分别设有多个头围电极与头顶电极;该头围环圈的内径大小以及该头顶带的长度都可以依据使用者的头部大小来调整,使每一个电极都能接触至头部对应的脑波位点。
  • 脑波
  • [发明专利]压缩脑波生理讯号的传输方法-CN202210134099.9在审
  • 关淑君;林俊成;吕勤业 - 易思脑科技股份有限公司
  • 2022-02-14 - 2023-07-11 - A61B5/369
  • 本发明提出一种压缩脑波生理讯号的传输方法,包含:侦测一受测者的多个脑波生理讯号,基于一时间序列将该多个脑波生理讯号产生一脑波讯号图;基于该时间序列,切割该脑波讯号图形成多个子图形;使用一脑波数据库所储存的多个静态特征标记与多个动态位移标记,根据多个子图形依该时间序列标定出至少一个静态特征标记及关联的多个动态位移标记;依该时间序列,产生至少一个迭加集合标记;依该时间序列,传输该标定的静态特征标记、关联的动态位移标记以及该迭加集合标记至一远距云端系统;依该时间序列,该远距云端系统根据该迭加集合标记整合该标定的静态特征标记与关联的动态位移标记;以及依该时间序列,该远距云端系统组合还原的多个子图形。
  • 压缩脑波生理讯号传输方法
  • [发明专利]粉末的原子层沉积装置-CN202011285337.3有效
  • 林俊成;张容华;古家诚 - 鑫天虹(厦门)科技有限公司
  • 2020-11-17 - 2023-06-30 - C23C16/455
  • 本发明提供一种粉末的原子层沉积装置,主要包括一真空腔体、一轴封装置及一驱动单元。轴封装置包括一外管体及一内管体,其中内管体由外管体的容置空间延伸至真空腔体的反应空间,并在反应空间内形成一凸出管部。驱动单元通过外管体驱动真空腔体转动,以搅动反应空间内的粉末。凸出管部与反应空间的长宽比值介于一特定范围内,使得输送至反应空间的非反应气体扬起反应空间内的粉末,并将粉末扩散到反应空间的各个区域,以利于在粉末的表面形成厚度均匀的薄膜。
  • 粉末原子沉积装置
  • [发明专利]具有环形抽气单元的沉积机台-CN202111598379.7在审
  • 林俊成 - 天虹科技股份有限公司
  • 2021-12-24 - 2023-06-27 - C23C16/455
  • 本发明为一种具有环形抽气单元的沉积机台,包括一腔体、一承载盘、一环形抽气单元及一进气单元,其中腔体包括一容置空间及一沟槽,沟槽环绕在容置空间的外围。环形抽气单元包括一环形主体、一环形盖板及一环形遮挡件,其中环形主体包括一环形凹槽、至少一连接孔及复数个排气孔。环形盖板覆盖环形凹槽,使得环形凹槽形成一环形通道,其中沟槽经由连接孔、环形通道及排气孔连接容置空间。环形遮挡件位于环形通道内,并可相对于环形主体位移,以调整连接孔的面积及由排气孔抽出的气体流量,并在承载盘上形成稳定的流场。
  • 具有环形单元沉积机台
  • [发明专利]用以改善基板温度分布的沉积机台-CN202111600672.2在审
  • 林俊成 - 天虹科技股份有限公司
  • 2021-12-24 - 2023-06-27 - C23C16/455
  • 本发明为一种用以改善基板温度分布的沉积机台,包括一腔体、一承载盘、一加热单元、一抽气环及一环形加热器,其中加热单元连接承载盘,并用以加热承载盘承载的基板。抽气环包括复数个排气孔及一环形通道,其中排气孔位于承载盘的周围,并用以将容置空间内的气体依序经由排气孔、环形通道及抽气通道排出,以在基板上形成稳定的流场。环形加热器设置在抽气环的下方,其中环形加热器位于承载盘的周围,并用以加热承载盘的外围区域,以改善承载盘承载的基板的温度分布。
  • 用以改善温度分布沉积机台
  • [发明专利]自动进化脑波侦测系统与用于脑波数据库的自动进化方法-CN202210134105.0在审
  • 关淑君;林俊成;吕勤业 - 易思脑科技股份有限公司
  • 2022-02-14 - 2023-06-27 - A61B5/375
  • 本发明提出一种自动进化脑波侦测系统与用于脑波数据库的自动进化方法,该脑波数据库收集关于健康族群与临床族群的脑波生理讯息,包括:将该脑波数据库所收集的脑波生理讯息依数据特征进行参数分类;根据该参数分类的脑波生理讯息,基于一类神经网络架构建立一回馈演算模型;使用该回馈演算模型输入一用户的脑波生理讯息,以推算该关联该脑波生理讯息的一后续表现资料;根据该用户部分已知的脑波生理讯息,测试该回馈演算模型所推算的该后续表现数据的准确率,以验证该回馈演算模型的评估指针;及将该用户的脑波生理讯息并入该脑波数据库,基于一新的类神经网络架构建立一新的回馈演算模型,并将新的回馈演算模型产生的一比对结果回馈给该使用者。
  • 自动进化脑波侦测系统用于数据库方法
  • [发明专利]沉积机台-CN202111551777.3在审
  • 林俊成;郭大豪 - 天虹科技股份有限公司
  • 2021-12-17 - 2023-06-20 - C23C16/455
  • 本发明为一种沉积机台,包括一腔体、一承载盘、一抽气环及一扩散单元,其中承载盘位于腔体的一容置空间内。腔体包括一抽气通道环绕设置在容置空间的外围,其中抽气通道具有一第一、一第二及一第三抽气区。第一抽气区经由第二抽气区连接第三抽气区,其中第三抽气区的高度大于第一抽气区。抽气环包括复数个排气孔及一环形通道,其中排气孔位于承载盘的周围,可将容置空间内的气体依序经由排气孔、环形通道及抽气通道排出,并有利于在承载盘上形成稳定的流场,以提高薄膜沉积的均匀度。
  • 沉积机台
  • [实用新型]可调整磁场分布的沉积腔体-CN202121174785.6有效
  • 林俊成 - 鑫天虹(厦门)科技有限公司
  • 2021-05-28 - 2023-06-16 - C23C14/35
  • 本实用新型提供一种可调整磁场分布的沉积腔体,包括一反应腔体、一承载盘、一靶材、一磁力装置及至少一遮蔽单元。承载盘及靶材位于反应腔体的容置空间内,其中承载盘用以承载至少一基板,且靶材的一表面面对承载盘及基板。磁力装置位于靶材的另一表面,并经由靶材在反应腔体的容置空间内形成磁场。遮蔽单元由导电材质所制成,并位于部分的磁力装置与部分的靶材之间,其中遮蔽单元用以遮蔽磁力装置产生的部分磁场,以微调容置空间内的磁场分布,并可有效提高沉积在基板表面的薄膜厚度的均匀度。
  • 可调整磁场分布沉积

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