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[发明专利]柔性的承载支架、用于使承载基底脱离的装置以及方法-CN201180070028.7有效
发明人： J.布格拉夫;D.布格施塔勒 -专利权人： EV集团E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2011-04-11 - 公布日： 2013-12-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在使承载基底(13)与产品基底(11)脱离时固定承载基底(13)的柔性的承载支架(1)，其中，设置有脱离器件(1,28)以用于在承载基底(13)弯曲的情况下分开产品基底(1)。此外，本发明涉及一种用于在脱离方向(L)上使承载基底(13)与产品基底(11)脱离的装置，其带有以下特征：用于固定承载基底(13)的、在脱离方向(L)上柔性的承载支架(1)，用于固定产品基底(11)的基底支架(18)，以及用于在承载基底(13)弯曲的情况下使承载基底(13)与产品基底(11)分开的脱离器件(1,15,15',16,28)。此外，本发明涉及一种用于在脱离方向(L)上使承载基底与产品基底脱离的方法，其带有以下步骤，尤其以下流程：利用基底支架来固定产品基底，并且利用在脱离方向(L)上柔性的承载支架来固定承载基底，并且在产品基底弯曲的情况下使承载基底与产品基底分开
柔性承载支架用于基底脱离装置以及方法

[实用新型]基底传送装置-CN201820144368.9有效
发明人：张海陆;黄志凯;颜廷彪 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-01-26 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基底传送装置，包括底座、用于承载和传送基底的基底承载传送结构、以及至少一个连接所述底座和基底承载传送结构的连接臂，所述基底传送装置还包括用于对所述整个基底进行扫描的扫描感应器，所述扫描感应器设置于所述连接臂上，当所述基底传送装置承载基底之后，所述扫描感应器对所述基底进行扫描，从而能够及时发现破损的基底，防止破损基底进入机台，避免机台不必要的报警及停机，并且有利于减少基底的返工，提高产量。
基底基底传送装置扫描感应机台基底承载传送连接臂底座破损扫描承载本实用新型返工停机报警发现

[发明专利]一种基板承载装置及蒸镀设备-CN201710757002.9有效
发明人：邹清华;段廷原;姚固;朱儒晖 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
申请日： 2017-08-29 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板承载装置及蒸镀设备，涉及显示装置制造技术领域，为解决现有的基板承载装置更换粘性件用时较长的问题而发明。该基板承载装置，包括基底和承载条，所述承载条与所述基底可拆卸连接，所述承载条的承载面上设有粘性件，在所述承载条与所述基底处于连接状态下，与所述基底连接的所有所述承载条的承载面形成平坦表面。本发明可用于OLED等基板的承载和传送。
一种承载装置设备

[发明专利]光刻机及光刻机的基底表面液膜蒸发功率测量方法-CN202110872056.6在审
发明人：戴思雨 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01N25/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种光刻机，包括照射系统、掩模、投影系统、基底和基底表面液膜蒸发功率测量装置，所述基底表面液膜蒸发功率测量装置包括基底承载单元、流体传输单元、流体流量控制单元、流体温度控制单元以及流体温度测量单元，所述基底承载单元用于承载基底，所述基底承载单元为中空结构；所述流体传输单元用于向所述基底承载单元中通入流体介质，所述流体介质为气体，所述流体流量控制单元用于控制和测量流入所述基底承载单元的流体介质的流量，所述流体温度测量单元用于测量流入与流出所述基底承载单元的流体介质的温度差。
光刻基底表面蒸发功率测量方法

[发明专利]用于制造压电转换器的方法和装置-CN201310038275.X有效
发明人： S.绍茨;C.派因 -专利权人：费斯托股份有限两合公司
申请日： 2013-01-31 - 公布日： 2013-07-31 - 主分类号： H01L41/313 文献下载
摘要：本发明公开了用于制造压电转换器的一种方法和一种装置，所述压电转换器具有磁的承载基底（2）和通过粘结剂（5）与承载基底粘结的压电基底（3）。在粘结过程中两个基底（2,3）通过磁张紧装置（18）彼此压紧。在此，磁力被导入承载基底（2）中，由此使承载基底与受支承的压电基底（3）张紧。
用于制造压电转换器方法装置

[发明专利]一种新能源充电桩用防护装置及其防护方法-CN202210217242.0在审
发明人：叶海娟 -专利权人：叶海娟
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： B60L53/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种新能源充电桩用防护装置及其防护方法，包括基底，基底的顶部等距开设有多个承载腔室，承载腔室的内腔设置有承载板，承载板上表面的中部设置有充电桩本体，承载板的底部设置有提升装置，承载板上设置有限位装置，承载腔室内腔的顶部对称设置有门板，门板底部的两侧均设置有连接装置，充电桩本体的正面和背面均固定连接有两个固定块，固定块通过第二固定螺栓与承载板固定连接。本发明利用基底和充电桩相配合的设置方式，基底上等距开设有多个承载腔室，并且基底的上表面与地面保持一平，从而充电桩在不使用的时候，就可以隐藏与承载箱腔室中，从而新能源汽车在其上方行驶也不会对充电桩造成损坏
一种新能源充电防护装置及其方法

[发明专利]芯片键合装置和芯片键合方法-CN201611086167.X有效
发明人：姜晓玉;余斌;夏海 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-11-30 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： H01L21/56 文献下载
摘要：本发明提供一种芯片键合装置和芯片键合方法，芯片键合装置从上至下包括若干组批芯片传输部件、基底承载部件、键合力输出部件。本发明提供的芯片键合装置和键合方法中，批芯片传输部件可以一次性接合好几个芯片，将这些芯片同时键合至基底承载部件承载的基底上，键合时只需使用键合顶出机构将基底承载装置顶出直至基底承载装置上的基底与若干个芯片键合
芯片键合键合基底承载装置基底承载芯片传输基底芯片从上至下顶出机构生产效率输出部件运动路径接合键合力一次性顶出量产承载

[实用新型]基底固定装置及半导体制造机台-CN201920399880.2有效
发明人：袁伟杰 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-03-27 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基底固定装置及半导体制造机台，所述基底固定装置包括承载单元和夹持单元，实际使用时，基底放置在承载单元上，所述夹持单元则与承载单元连接，且夹持单元至少通过自身的重量将基底压紧在承载单元上，优选所述夹持单元还通过弹性力来压紧，以此提供纯机械的固定方式，避免基底因吸附不牢或因吸附失效而造成损伤的问题，从而提高基底固定的牢固性和可靠性，而所述半导体制造机台通过基底固定装置，也减少了停机或停产的现象
基底固定承载单元夹持单元半导体制造机台基底吸附本实用新型纯机械弹性力基底压牢固性停机压紧优选损伤停产

[发明专利]一种用于二维材料转移的基底及二维材料转移装置-CN202211724583.3在审
发明人：罗先刚;张仁彦;刘吉夫;刘明刚;李雄 -专利权人：天府兴隆湖实验室
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请属于二维材料加工制备技术领域，具体涉及一种基底及二维材料转移装置。本申请的基底，包括依次层叠设置的基底层、牺牲层和二维材料层，牺牲层用于在能量源的作用下蒸发。本申请的二维材料转移装置，包括第一承载模块，用于承载基底，第二承载模块，用于承载目标衬底；第一承载模块可带动基底移动至贴合工位以使基底的二维材料层与目标衬底贴合，和/或，第二承载模块可带动目标衬底移动至贴合工位以使基底的二维材料层与目标衬底贴合；能量源，用于产生能使牺牲层蒸发的能量，从而使位于贴合工位的二维材料层与基底层分离。
一种用于二维材料转移基底装置

[发明专利]显示面板及蒸镀装置-CN202210762919.9在审
发明人：匡友元 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本申请公开了一种显示面板及蒸镀装置，该显示面板有机发光功能层的基板包括多个第一基底以及围绕多个第一基底设置的第二基底，所述第一基底的机械强度大于所述第二基底的机械强度；本申请通过使第一基底的机械强度大于第二基底的机械强度，以使蒸镀装置中的承载卡盘移动以完成对基板的蒸镀过程后，第一基底与承载卡盘上的针孔对应设置，从而在当针脚将基板顶起以使基板与承载卡盘分离时，第一基底与第二基底连接的位置难以发生破裂，从而实现达到提升产品良率的技术效果
显示面板装置

[发明专利]用于使产品基底从承载基底脱离的系统-CN201510619239.1有效
发明人： J.布格拉夫;D.布格施塔勒 -专利权人： EV集团E·索尔纳有限责任公司
申请日： 2011-04-11 - 公布日： 2019-03-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于使产品基底从承载基底脱离的系统，其中所述产品基底通过连接层暂时地连接到所述承载基底以形成堆叠部，所述系统包括：支撑所述堆叠部的器件；分离器件，其初始化所述产品基底从所述承载基底脱离，所述分离器件具有从该连接层的周向边缘穿透到所述堆叠部的所述连接层中的顶端；第一构件，其具有在基本平行于所述承载基底的表面的平面的平面中延伸的表面；以及从所述第一构件延伸的延伸部，其中该延伸部包括被配置成接触该承载基底的周向边缘的表面，其中所述系统施加力到所述承载基底以将所述承载基底远离所述产品基底弯曲，从而使所述产品基底从所述承载基底脱离。
用于产品基底承载脱离系统

[发明专利]监测晶圆及监测系统-CN202010254958.9有效
发明人：吴潇 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2020-04-02 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种监测晶圆及监测系统，监测晶圆包括：基底，所述基底具有第一表面，所述第一表面用于朝向晶圆承载盘且与所述晶圆承载盘相固定；压力检测装置，所述压力检测装置位于所述基底上，用于获取所述第一表面受到的压力本发明能够对基底朝向晶圆承载盘的第一表面进行压力检测。
监测系统

[发明专利]载台及其切割方法、加工设备-CN201710142618.5在审
发明人：陶胜;朱文龙;徐清阳;李昀泽;汪祖良 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
申请日： 2017-03-10 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： B25H1/00 文献下载
摘要：该载台包括：承载基底和设置于所述承载基底上的驱动单元。所述驱动单元配置为驱动所述承载基底绕第一方向旋转以清除所述承载基底上的异物，所述第一方向为位于所述承载基底板面内并与所述承载基底板面平行的方向。该载台中设置的驱动单元可以驱动承载基底旋转以实现承载基底上的异物自动滑落，可以提高载台清除异物的清除率和自动化能力，提高产品的切割良率。
承载基底载台切割加工设备驱动单元基底板异物驱动单元配置驱动方向旋转基底旋转清除异物清除率滑落良率平行自动化

[发明专利]电子器件印刷装置-CN201210362945.9有效
发明人：刘静;何志祝 -专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日： 2012-09-25 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： B41F17/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种可将电子器件以直接印刷的方式制造出来的装置。该电子器件印刷装置包括控制器、墨盒阵列机构和基底承载机构，其中：所述控制器，用于控制所述墨盒阵列机构及所述基底承载机构；所述墨盒阵列机构，用于提供电子印刷墨水，并利用所述电子印刷墨水进行电子印刷；所述基底承载机构，用于承载电子器件基底。该装置对环境要求不高，可显著降低电子器件制备工艺的复杂性，并降低材料消耗和污染，提高制作效率。
电子器件印刷装置

[其他]压印装置、着色套件及柔性的承载图像的防渗的基底-CN201190000631.3有效
发明人：特伦斯·威廉·博尔顿 -专利权人： LAJA材料有限责任公司
申请日： 2011-06-09 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： B41K1/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及压印装置、着色套件及柔性的承载图像的防渗的基底。所述压印装置，用于将个性化彩色图像转移到所选表面，其包括带有下表面的压印块和由聚合物或者共聚物制成的柔性的承载图像的防渗的基底，其中所述基底具有织纹化的表面。该压印装置可以手持，并且在远离基底的压印表面的端部可以包括手柄。该基底可以是与压印块的前表面分离的，并且与压印块的前表面是可连接的。可以具有一个或多个柔性的承载图像的防渗的基底。基底材料优选为乙烯／乙酸乙烯酯共聚物。
压印装置着色套件柔性承载图像防渗基底

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