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[实用新型]晶圆去边设备及去边晶圆-CN202122259780.X有效
发明人：郭茂峰;熊展;江善波;陶胜;李士涛;马新刚;毕京锋 -专利权人：厦门士兰明镓化合物半导体有限公司;杭州士兰明芯科技有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆去边设备及去边晶圆，其中所述晶圆去边设备包括：承载晶圆的承载装置，以及位于所述承载装置上方的紫外激光器，所述晶圆位于所述承载装置上，所述紫外激光器向所述晶圆的边缘区域发射激光，以实现所述晶圆的去边处理本实用新型通过采用紫外激光器实现减材工艺，可以有效提升晶圆去边的工作效率和工艺良率，降低热应力和机械作用力带来暗裂或破片的风险，进而实现稳定高效的晶圆去边效果。
晶圆去边设备去边晶圆

[实用新型]底盖圆边机构-CN201720606328.7有效
发明人：沈俊杰;程立斌;徐民兴 -专利权人：苏州华源控股股份有限公司
申请日： 2017-05-26 - 公布日： 2017-12-05 - 主分类号： B21D19/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种底盖圆边机构，包括用于带动产品旋转的旋转带动部、用于对产品进行圆边的圆边部以及圆边控制部件，所述的旋转带动部包括旋转动力部件、与所述的旋转动力部件相传动连接的转轴、连接在所述的转轴上的旋转固定盘，当产品向上运动抵住所述的旋转固定盘时，所述的旋转固定盘带动产品旋转；所述的圆边部包括圆边动力组件、与所述的圆边动力组件相传动连接的圆边凸轮、与所述的圆边凸轮相传动连接的圆边滚轮，所述的圆边动力组件与圆边控制部件相连接，所述的圆边凸轮推动所述的圆边滚轮对旋转中的产品进行圆边。本实用新型的底盖圆边机构结构简单，圆边方式简单、稳定性好，自动化程度高。
底盖圆边机构

[实用新型]无纬带固化装置-CN201320884487.5有效
发明人：卢明辉;马义健;黎爱军 -专利权人：攀钢集团工程技术有限公司
申请日： 2013-12-30 - 公布日： 2014-08-06 - 主分类号： H02K15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种无纬带固化装置，包括盖架、与盖架相面对而设置的底架、多个加热板；所述盖架包括第一圆形框边、第二圆形框边以及连接第一圆形框边和第二圆形框边的多个第一连接构件，所述第一圆形框边半径小于第二圆形框边半径；所述底架包括第三圆形框边、第四圆形框边以及连接第三圆形框边和第四圆形框边的多个第二连接构件，所述第三圆形框边半径小于第四圆形框边半径；所述盖架通过沿第一圆形框边向底架垂直设置的多个第一支撑构件连接于底架上，并且第一圆形框边的半径大于第三圆形框边的半径；所述多个加热板位于第二圆形框边和第四圆形框边之间，并且连接于第二圆形框边或第四圆形框边上。
无纬带固化装置

[实用新型]不同尺寸晶圆键合定位装置及键合体-CN202022411427.4有效
发明人：张涛;张秀全;朱厚彬;韩智勇;董玉爽 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2020-10-26 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本申请公开一种不同尺寸晶圆键合定位装置及键合体，其中定位装置包括：定位第一晶圆的第一定位机构和定位第二晶圆的第二定位机构；第一定位机构或第二定位机构包含定位晶圆平边的平边定位柱和定位晶圆圆边的圆边定位柱，圆边定位柱分别设置于平边定位柱中心线的两侧；或者，第一定位机构或者第二定位机构包含定位晶圆V槽边的V槽边定位柱和定位晶圆圆边的圆边定位柱，其中V槽边定位柱与晶圆V槽边吻合，圆边定位柱分别设置于V槽边定位柱中心线的两侧采用前述的方案，利用定位装置实现第一晶圆和第二晶圆的对齐，使晶圆键合体能够完全利用到第一晶圆的特性，提高键合体的质量。
不同尺寸晶圆键合定位装置合体

[实用新型]一种电芯及其电极极片-CN202221924396.5有效
发明人：卢军太;李勇军;魏建良 -专利权人：江苏正力新能电池技术有限公司
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01M50/533 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种电芯及其电极极片，电极极片包括电极极片，电极极片的侧边延伸设置有n个依次相连的极耳本体；第一个极耳本体包括依次相连的第一圆弧边、第二圆弧边、第三圆弧边与第四圆弧边；第n个极耳本体包括依次相连的第五圆弧边、第二圆弧边与第六圆弧边；第一个极耳本体与第n个极耳本体之间还存在n‑2个极耳本体，其中的任一个极耳本体包括依次相连第五圆弧边、第二圆弧边、第三圆弧边与第四圆弧边；其中，n≥3，n属于正整数，第一圆弧边、第四圆弧边与第六圆弧边均与电极极片的侧边相连，第一圆弧边与第六圆弧边对称设置，第三圆弧边与第五圆弧边对称设置。
一种及其电极

[发明专利]不同尺寸晶圆键合定位装置，键合体及其制备方法-CN202011155785.1在审
发明人：张涛;张秀全;朱厚彬;韩智勇;董玉爽 -专利权人：济南晶正电子科技有限公司
申请日： 2020-10-26 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本申请公开一种不同尺寸晶圆键合定位装置，键合体及其制备方法，其中定位装置包括：定位第一晶圆的第一定位机构和定位第二晶圆的第二定位机构；第一定位机构或第二定位机构包含定位晶圆平边的平边定位柱和定位晶圆圆边的圆边定位柱，圆边定位柱分别设置于平边定位柱中心线的两侧；或者，第一定位机构或者第二定位机构包含定位晶圆V槽边的V槽边定位柱和定位晶圆圆边的圆边定位柱，其中V槽边定位柱与晶圆V槽边吻合，圆边定位柱分别设置于V槽边定位柱中心线的两侧采用前述的方案，利用定位装置实现第一晶圆和第二晶圆的对齐，使晶圆键合体能够完全利用到第一晶圆的特性，提高键合体的质量。
不同尺寸晶圆键合定位装置合体及其制备方法

[实用新型]一种研磨设备-CN202020662129.X有效
发明人：崔世勋 -专利权人：西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种研磨设备，包括：基座；凹槽抛光结构，凹槽抛光结构与基座相连，凹槽抛光结构用于抛光晶圆的凹槽；圆边抛光结构，圆边抛光结构与基座相连，凹槽抛光结构与圆边抛光结构沿基座的周向间隔开设置，圆边抛光结构用于抛光晶圆的圆边；检测结构，检测结构与基座相连，且检测结构邻近圆边抛光结构设置，检测结构用于监测晶圆的表面。在研磨过程中，通过凹槽抛光结构抛光晶圆的凹槽，通过圆边抛光结构抛光晶圆的圆边，通过检测结构监测晶圆的表面，以便及时检测出晶圆的不良，能够及时对晶圆进行在加工，降低晶圆的不良率，改善晶圆的品质，提高设备产能
一种研磨设备

[发明专利]晶圆键合结构及其修边方法-CN202111384621.0在审
发明人：刘清召;阎大勇;赵娅俊;刘敏 -专利权人：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2021-11-22 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本申请提供晶圆键合结构及其修边方法，所述方法包括：提供载体晶圆，所述载体晶圆表面键合有第一晶圆，所述第一晶圆的直径小于所述载体晶圆的直径；使用修边工具对所述第一晶圆进行第一修边，去除所述第一晶圆边缘的一部分，其中，所述修边工具的工作面被所述第一晶圆的边缘磨损；使用修复工具修复所述修边工具的工作面的磨损；使用修复后的修边工具对所述载体晶圆进行第二修边，去除所述载体晶圆边缘的一部分。本申请提供一种晶圆键合结构及其修边方法，在进行第一修边后，对修边工具进行修复，然后在进行第二修边，可以避免修边工艺在晶圆上留下痕迹，从而提高晶圆的良率。
晶圆键合结构及其方法

[实用新型]一种晶圆废边去除装置-CN202222257937.X有效
发明人：李向东 -专利权人：山东才聚电子科技有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： B08B5/04 文献下载
摘要：一种晶圆废边去除装置，属于晶圆加工设备技术领域。其特征在于：包括晶圆夹紧装置、动力装置、废边收集装置以及抽负压装置，抽负压装置的进气口设置在晶圆夹紧装置的一侧，抽负压装置的出气口与废边收集装置相连通，动力装置与晶圆夹紧装置相连，并带动其转动。本晶圆废边去除装置的晶圆夹紧装置能够夹紧裂片后的晶圆，抽负压装置的进气口能够吸取晶圆的废边，并将抽取的废边送入到废边收集装置内，动力装置带动晶圆夹紧装置转动，实现了晶圆周圈废边的去除，废边收集装置能够对去除的废边进行收集，方便对去除的废边进行集中处理，避免废边对工作环境造成污染。
一种晶圆废边去除装置

[实用新型]永磁直流电机-CN202020087547.0有效
发明人：池瑞伟;王向东 -专利权人：浙江锐韦机电科技有限公司
申请日： 2020-01-16 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： H02K1/17 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种永磁直流电机，包括有壳体、永磁体和转子，其特征在于：所述壳体管状部分的横截面壁厚均匀，且该横截面的轮廓为曲线多边形，该曲线多边形的每个转角部分由依次连接的第一直边、第一圆弧边、第二圆弧边、第三圆弧边和第二直边形成，所述第一直边与第二直边等长，第一圆弧边与第三圆弧边等长，第一圆弧边分别与第一直边和第二圆弧边相切，第三圆弧边分别与第二直边与第二圆弧边相切；所述第二圆弧边的圆心O＇位于转子中心O与圆心Q的连线上，该圆心Q为圆弧辅助线的圆心，圆弧辅助线相切第一直边与第二直边的相邻端口及第二圆弧边。
永磁直流电机

[发明专利]圆边倒角工装-CN201610579874.6在审
发明人：陈兴建;江宗宇 -专利权人：成都贝瑞光电科技股份有限公司
申请日： 2016-07-22 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： B24D15/02 文献下载
摘要：本发明公开了圆边倒角工装，解决了采用现有打磨方式打磨时不仅仅操作速度缓慢，并且打磨不够均匀，效果不佳的问题。
倒角工装

[发明专利]圆边塑料地板-CN201210378890.0无效
发明人：袁华寿 -专利权人：泰州市华丽塑料有限公司
申请日： 2012-10-09 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： E04F15/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种圆边塑料地板，包括塑料地板周边的凹槽、凸榫，所述凹槽、凸榫相嵌合；其改进之处在于：所述凹槽上端与凸榫接合处设有圆角，凸榫上端与凹槽接合处设有圆角。
塑料地板

[实用新型]自动圆边机-CN201620397372.7有效
发明人：何金波 -专利权人：何金波
申请日： 2016-05-05 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： B21D19/00 文献下载
摘要：自动圆边机，一个电机转轴设置在固定盘中间，电机转轴圆周安装转盘组，转盘组由若干不同直径的环形转盘通过若干卡块固定连接而成，固定盘与转盘组之间形成圆边通道，固定盘的圆周边缘设置进口端，进口端两侧的弧形侧壁上设置若干进料导轮，进口端附近的固定盘内壁上设置红外线探头，圆边通道上设置出料口，出料口底部设置真空吸盘，真空吸盘安装在一根升降柱上。本实用新型的自动圆边机实现了瓶盖圆边的自动机械化加工，减少了人工，具有结构简单、操作方便和省时省力的优点。
自动圆边机

[实用新型]修圆边装置-CN201721678599.X有效
发明人：戴飞腾 -专利权人：惠州千利电子有限公司
申请日： 2017-12-06 - 公布日： 2018-08-07 - 主分类号： B23D79/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种修圆边装置，包括机架，所述机架上设置有圆环固定座，所述圆环固定座的上方设置有支架，所述支架与所述机架固定连接，所述支架上设置有刀架，所述刀架与所述机架滑动连接，所述刀架的下方设置有刀座
传动部刀架固定座刀座圆环支架本实用新型通孔修圆第一驱动机构刀架转动滑动连接

[实用新型]自动圆边机-CN88207716.3无效
发明人：凌培修;张道抒;王旭开 -专利权人：国家机械工业委员会北京机械工业自动化研究所
申请日： 1988-07-02 - 公布日： 1989-07-05 - 主分类号： B21D19/12 文献下载
摘要：本实用新型为一种卷边机。它包括电机、减速箱、传动皮带、成型凸轮及四条转臂，转臂可带着套入胚盖的凸模，围绕成型凸轮做圆周运动。每转一周，可完成四个基础盖的90°圆边工序。
自动圆边机