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- [发明专利]布线图形检查装置及方法-CN200410090559.4无效
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笹部高史
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优志旺电机株式会社
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2004-11-08
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2005-05-11
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G01N21/956
- 本发明的目的是,通过组合由落射照明进行的检查和由反射照明进行的检查,不会误检测地检查布线图形的粗大或窄细。在TAB带(10)的检查对象图形(10a)上,使摄像装置(1c)、透射照明装置(1a)、落射照明装置(1b)进行扫描,而获得透射照明图像和落射照明图像,此外,在预先设定的每个检查区域中,将前述透射照明图像及落射照明图像与作为检查标准的标准图形进行比较,以判定布线图形是否合格,在器件孔的周缘区域或将树脂薄膜部分剥离的缝隙部的周缘区域等、横跨前述透光性基板的周缘而形成布线的区域中,基于前述落射照明图像,检查布线图形是否合格,在其以外的区域基于透射照明图像进行检查
- 布线图形检查装置方法
- [发明专利]基板检查方法及基板检查装置-CN200510099500.6有效
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村上清;浅野靖典;木下崇;四谷辉久
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欧姆龙株式会社
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2005-09-06
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2006-03-15
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G01N21/956
- 本发明提供一种基板检查方法以及基板检查装置,以高精度进行对被检查部位的检查区域的设定,提高检查的精度。针对检查对象的基板,预先作成全体图像(103),预先使检查区域(31)与该全体图像(103)上的被检查部位建立对应。检查时,将照相机(3A)定位于与拍摄对象区域(30)对应的位置上而进行拍摄,获取处理对象图像(40)时,在全体图像(103)上提取与该处理对象图像(40)对应的区域(41),计算出相对于该区域(41)的拍摄对象区域另外,使用偏差量(Δx、Δy)修正检查区域(31)的设定位置,根据该修正后的坐标,在处理对象图像(40)上设定检查区域。
- 检查方法装置
- [发明专利]图像生成装置和图像生成方法-CN202010081426.X在审
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佐佐木千恵
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东京毅力科创株式会社
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2020-02-06
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2020-08-25
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G06T7/00
- 本发明提供图像生成装置和图像生成方法。生成关于基片的缺陷的检查用的基片图像的图像生成装置,其中:在基片的表面形成有对于该基片的各个种类的处理方案所特有的图案即框格图案,该图像生成装置包括:区域推断部,其基于通过事先的机器学习得到的、用于识别基片图像所包含的所述框格图案的图像的识别模型,推断检查对象的基片图像中的与所述框格图案相应的区域;和消除处理部,其基于所述区域推断部的推断结果,从所述检查对象的基片图像消除所述框格图案的图像,生成检查用的基片图像。本发明能够提高基片图像中的缺陷部分的辨识精度。
- 图像生成装置方法
- [发明专利]缺陷检查系统-CN00803250.5无效
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田中利彦
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奥林巴斯光学工业株式会社
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2000-11-28
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2002-03-06
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G06T1/00
- 本发明的缺陷检查系统具有图像取得装置,用于取得在制造工序中作为处理对象的被检查物体的二维图像;缺陷抽取装置,用于对该图像取得装置所取得的图像按照采用规定参数的缺陷抽取算法来抽取缺陷;显示装置,用于显示由该缺陷抽取装置抽取的上述被检查物体的缺陷图像;参数调整装置,用于根据对上述被查物体的缺陷抽取程度来调整上述参数;以及合格与否判断装置,用于根据由上述被检缺陷抽取装置所抽取的缺陷的信息来判断上述被检查物体是否合格。
- 缺陷检查系统
- [发明专利]检查装置-CN201880086679.7在审
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中谷诚;樽本祥宪;前中章弘;堤弘法
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株式会社石田
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2018-10-30
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2020-09-04
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G06K9/00
- 本发明的目的是提供能够抑制包含有时相互重合的多个物品的商品的检查精度降低的检查装置。X射线检查装置(10)对容纳有规定形状的多个物品(A)的商品(G)照射光,基于根据透射过商品(G)的光或者被商品(G)反射的光而得到的检查图像来检查商品(G)。X射线检查装置(10)具备存储部(51)、学习部(52c)以及检查部(52d)。存储部(51)将多个物品(A)重合的状态的商品(G)的检查图像至少存储为指导训练图像。学习部(52c)通过使用存储部(51)中存储的指导训练图像的机械学习来获取关于多个物品(A)重合的状态的商品(G)的特征。检查部(52d)使用学习部(52c)所获取的特征来检查商品(G)。
- 检查装置
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