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[发明专利]一种单晶炉热场生成方法-CN202111360854.7在审
发明人：惠宝锋;马元良;高俊伟 -专利权人：青海民族大学
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： G06F30/23 文献下载
摘要：本发明公开了一种单晶炉热场生成方法，所述单晶炉热场生成方法包括：S1：对原单晶炉热场进行扩容处理，得到单晶炉热场参数；S2：根据所述单晶炉热场参数，对所述单晶炉热场进行仿真模拟，得到仿真模拟结果；S3：对所述仿真模拟结果进行分析处理，得到分析处理结果；S4：根据所述分析处理结果对所述原单晶炉热场参数进行修改，得到新的单晶炉热场。本发明所提供的单晶炉热场生成方法，能够解决现有的单晶炉热场在生产过程中，生成的单晶硅尺寸唯一，且由于尺寸较小，同等功率下生产效率低下的问题。
一种单晶炉热场生成方法

[实用新型]单晶炉热场及具有该单晶炉热场的单晶炉-CN201420326967.4有效
发明人：马少林;李侨;周锐;毛静;李定武 -专利权人：西安隆基硅材料股份有限公司
申请日： 2014-06-18 - 公布日： 2014-11-05 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开的单晶炉热场，包括位于坩埚上方的热屏以及独立于热屏、同轴设置于热屏内侧的热屏冷却件，热屏冷却件可相对于坩埚升降。本实用新型还公开具有该单晶炉热场的单晶炉，包括单晶炉壳体、坩埚和上述的单晶炉热场，坩埚和单晶炉热场均容置于单晶炉壳体内。本实用新型的单晶炉热场及具有该单晶炉热场的单晶炉中的热屏冷却件，可吸收单晶生长时释放的结晶潜热、有效地提高单晶生长速度，一旦发生损坏，也便于维修，并且，该热屏冷却件可相对于坩埚升降，在加料时升起该热屏冷却件
单晶炉热场具有单晶炉

[实用新型]一种带有热场结构的单晶炉-CN202320113466.7有效
发明人：段世飞;张忠涛;高畅;胡亚涛;尹嘉琦;江佳飞;张怿;薛金鑫 -专利权人：连城凯克斯科技有限公司
申请日： 2023-01-19 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶硅生产技术领域，具体为一种带有热场结构的单晶炉。一种带有热场结构的单晶炉，包括上下开口的单晶炉筒体和热场结构，所述单晶炉筒体连接有不少于一个第一限位块，所述热场结构设有与所述第一限位块位置、数量相对应的所述第二限位块，所述热场结构在所述单晶炉筒体内通过所述第二限位块与所述第一限位块可拆卸地限位连接可以使热场一体化，可提前组装，在单晶炉现场直接安装使用即可。将这种整体式的热场与单晶炉设备有机结合，实现热场的便捷拆装，达到了降低拉晶辅助工步的时长，从而进一步提高单晶炉的生产效率。
一种带有结构单晶炉

[发明专利]基于大数据的提高单晶生长热对流分布均匀的方法及系统-CN202310486587.0有效
发明人：蔡一茂;马君健 -专利权人：北京大学
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明公开了基于大数据的提高单晶生长热对流分布均匀的方法及系统，属于半导体技术领域。基于大数据的提高单晶生长热对流分布均匀的方法，包括以下步骤：获取单晶炉热场参数源数据；对获取的源数据进行预处理，得到预处理的源数据；输入单晶生长环境感知物联网产生的数据到大数据平台，通过运算框架对所述预处理的源数据建立模型；根据单晶炉热场参数源数据。本发明解决了现有技术中没有对单晶炉热场进行合理设计，导致单晶生长质量低的问题，对原有单晶炉热场进行扩容处理，能够对单晶硅的直径具有包容性，适用面广；且扩容后的单晶炉热场功耗相较于原单晶炉热场的功耗较低，因而单晶硅生成的质量较好。
基于数据提高生长对流分布均匀方法系统

[实用新型]单晶炉热场加热器及包括该单晶炉热场加热器的单晶炉-CN201220313158.0有效
发明人：郭凯;高文宽;乔松;尹东坡;周浩 -专利权人：英利能源（中国）有限公司
申请日： 2012-06-29 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种单晶炉热场加热器及包括该单晶炉热场加热器的单晶炉。其中单晶炉热场加热器包括：加热器主体(10)以及固定设置在加热器主体(10)上的加热器脚(20)，加热器主体(10)与加热器脚(20)可拆卸地连接。采用本实用新型的单晶炉热场加热器及包括该单晶炉热场加热器的单晶炉，可以只更换磨损的加热器脚，而保留加热器主体，降低维修成本。
单晶炉热场加热器包括单晶炉

[实用新型]一种单晶炉热场防尘装置及热场防尘单晶炉-CN202220445062.3有效
发明人：龚小伦;关树军;张鹏;路建华;李飞剑;杨春祥 -专利权人：乐山市京运通新材料科技有限公司
申请日： 2022-03-02 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型属于单晶硅生产设备的技术领域，具体涉及一种单晶炉热场防尘装置及热场防尘单晶炉。一种单晶炉热场防尘装置，用于单晶合炉时减少微尘杂质掉入热场，包括，位于中下保温筒上方的上保温筒，位于上保温筒上方并用于将上保温筒开口封闭的防尘盖板。通过在热场结构中的中下保温筒上设置上保温筒，并在上保温筒上设置防尘盖板，在合炉时利用该防尘盖板将上保温筒上方开口封闭，阻挡合炉时热场外部的微尘杂质进入热场，可以有效的减少掉入热场的微尘杂质，以此可以降低拉晶过程中单晶硅棒断线的频率，此外由于较少的微尘杂质的影响，单晶硅棒中少子寿命也不会受到影响降低，从而保证拉制生产出的单晶品质，提高了单晶硅的生产率及生产质量。
一种单晶炉热场防尘装置单晶炉

[实用新型]一种直拉单晶炉停炉快速冷却热场装置-CN201620267353.2有效
发明人：栗宁 -专利权人：银川隆基硅材料有限公司
申请日： 2016-04-01 - 公布日： 2016-12-21 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开的一种直拉单晶炉停炉快速冷却热场装置，包括升降机构以及水冷管，升降机构用于驱动水冷管进入单晶炉内。本实用新型的直拉单晶炉停炉快速冷却热场装置解决了现有的单晶炉停炉冷却时间过长的问题。本实用新型的直拉单晶炉停炉快速冷却热场装置在停炉时，通过升降机构将两根水冷管同步伸入单晶炉热场中，将热场底部保温抬起，通过循环冷却水带走热场中热量，达到降低炉内温度的目的，其结构简单，避免因改造单晶炉产生的高额费用，利用单晶炉炉底预留电极孔即可安装，冷却效果显著，可将拆炉时间缩短一半。
一种直拉单晶炉停炉快速冷却装置

[发明专利]单晶炉用热场及单晶炉-CN201610177122.7有效
发明人：邓浩;张龙龙;刘培东;张骏凯 -专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日： 2016-03-25 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明公开的单晶炉用热场，包括坩埚及位于其上方的冷却件，还包括护套，护套设置于冷却件靠近坩埚中心轴线的一侧。本发明公开的单晶炉，包括炉体和如上所述的单晶炉用热场，单晶炉用热场位于炉体内。本发明的单晶炉用热场及单晶炉解决了现有技术拉制单晶时提高拉晶速度与提高单晶质量两者不可兼顾的问题。本发明的单晶炉用热场及单晶炉具有冷却件，可以优化温度梯度、提高拉晶速度并降低拉晶成本；并且由于设置了护套，还能确保生长的晶体不受杂质污染、提供具有良好少子寿命的晶体产品。
单晶炉用热场单晶炉

[实用新型]新型单晶炉热场、拉制轻掺硅单晶棒的新型单晶炉热场-CN201220316081.2有效
发明人：韩建超;沈杨宇 -专利权人：上海合晶硅材料有限公司
申请日： 2012-06-30 - 公布日： 2013-02-27 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型单晶炉热场、拉制轻掺硅单晶棒的新型单晶炉热场，包括导流筒；其特征在于，所述导流筒表面设置有碳化硅涂层。本实用新型中的新型单晶炉热场，由于采用设置碳化硅涂层的导流筒，可降低硅单晶棒生产能耗，可降低5%以上。使用本实用新型中的新型单晶炉热场，拉制的N型<100>轻掺硅单晶的OISF可降低到100个/cm2以下。本实用新型中的新型单晶炉热场，能有效改善硅单晶棒中的Fe含量，平均值为1.80E+10atoms/cm3，最大值6.91E+10atoms/cm3。扩散长度达到450.2μm。
新型单晶炉热场拉制轻掺硅单晶棒

[实用新型]一种单晶炉停炉快速冷却热场装置及单晶炉-CN202220398472.7有效
发明人：龚小伦;关树军;张鹏;路建华;李飞剑;杨春祥 -专利权人：乐山市京运通新材料科技有限公司
申请日： 2022-02-25 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶硅生产设备的技术领域，具体涉及一种单晶炉停炉快速冷却热场装置及单晶炉。一种单晶炉停炉快速冷却热场装置，包括可上下分离的上保温筒和中下保温筒，所述上保温筒与中下保温筒分离后形成中间缝隙，所述中间缝隙的缝距可调节。本实用新型利用上保温筒与中下保温筒之间的间隙大量辐射热场内部的热量，单晶炉内高温区的热量直接辐射到炉壁上，炉壁维持单晶生产低压环境，带走热场余热，形成横向温度梯度，停炉时吸收上保温筒与中下保温筒形成的缝隙间辐射出来的热量，加速热场快速冷却，利用炉壁的大的吸热面积，迅速冷却热场。利用此装置，可有效降低停炉时间，并提升单晶炉和热场使用效率。
一种单晶炉停炉快速冷却装置单晶炉

[实用新型]一种热场悬挂装置和单晶炉-CN201922352102.0有效
发明人：贾祯;冉瑞应;金雪 -专利权人：银川隆基硅材料有限公司
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种热场悬挂装置和单晶炉，涉及太阳能光伏技术领域。其中，热场悬挂装置用于悬挂单晶炉内的热场，包括托架和至少两个第一连接件，托架设置在单晶炉的底部与热场之间，托架用于承载热场，第一连接件沿托架的周向间隔设置，第一连接件的第一端与托架连接，第一连接件的第二端向远离单晶炉底部的方向延伸，使托架与单晶炉的底部间隔预设距离。通过在单晶炉的底部与热场之间设置托架，在单晶硅的生产过程中，使底部保温层距单晶炉的底部具有一定距离，避免了底部保温层与单晶炉底部的直接接触，可以避免热场内的热量通过热传导的形式快速的向外散失，降低了热场内热量的损失
一种悬挂装置单晶炉

[发明专利]一种单晶提拉炉热场结构-CN201710356903.7在审
发明人：邓先亮 -专利权人：上海新昇半导体科技有限公司
申请日： 2017-05-19 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本发明提供一种单晶提拉炉热场结构，所述单晶提拉炉热场结构包括：炉体；位于所述炉体内的坩埚；位于所述坩埚侧面的第一加热器；位于所述坩埚底部的第二加热器；以及位于所述坩埚内熔体上方的第三加热器。通过本发明所述的单晶提拉炉热场结构，解决了现有单晶提拉炉热场结构制备的硅单晶存在质量不均匀的问题。
单晶提拉炉热场结构坩埚加热器第一加热器不均匀硅单晶内熔体炉体制备体内侧面

[发明专利]直拉单晶方法、直拉单晶装置、计算机可读存储介质-CN201910577260.8有效
发明人：陈海云 -专利权人：宁夏隆基硅材料有限公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种直拉单晶方法、直拉单晶装置、计算机可读存储介质，涉及单晶制造技术领域。所述方法包括：提供单晶炉，所述单晶炉包括热场以及设置于所述热场内的加热器和至少一个热场件；在所述单晶炉中生长并提拉单晶；关闭加热器，使所述热场内的温度降低至第一预设温度；以及向所述单晶炉内通入氢气，使所述氢气与所述至少一个热场件反应本申请中，关闭加热器，热场的温度降低至反应所需的第一预设温度附近，通入氢气，使之与热场内的金属氧化物发生还原反应，得到金属单质和被排出炉外的水蒸气。避免了热场再次使用的过程中，上述金属氧化物蒸发，影响单晶硅中少数载流子寿命；在拆炉前完成反应，无需拆炉后再做处理，节省了作业时间。
直拉单晶方法装置计算机可读存储介质

[实用新型]一种单晶炉热场拆装装置-CN201921347336.X有效
发明人：张坚;廖才超;张涛;杨俊;汪沛渊;金浩 -专利权人：晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
申请日： 2019-08-19 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： B25B27/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉热场拆装装置，包括用以套设于中保温筒外周以实现锁紧中保温筒的第一锁紧带，还包括至少两点连接于所述第一锁紧带、用以提拉吊起所述第一锁紧带的提拉带。上述单晶炉热场拆装装置能够快速安全拆除单晶炉的中保温筒，既能防止烫伤工作人员，又能防止碰触损坏主加热器，从而便于及时对单晶炉热场进行清理，提高了单晶炉热场的生产效率。
一种单晶炉热场拆装装置

[发明专利]新型单晶炉热场、拉制轻掺硅单晶棒的新型单晶炉热场-CN201210225961.3无效
发明人：韩建超;沈杨宇 -专利权人：上海合晶硅材料有限公司
申请日： 2012-06-30 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型单晶炉热场，包括导流筒；其特征在于，所述导流筒表面设置有碳化硅涂层。本发明中的新型单晶炉热场，由于采用设置碳化硅涂层的导流筒，可降低硅单晶棒生产能耗，可降低5%以上。使用本发明中的新型单晶炉热场，拉制的N型<100>轻掺硅单晶的OISF可降低到100个/cm2以下。本发明中的新型单晶炉热场，能有效改善硅单晶棒中的Fe含量，平均值为1.80E+10atoms/cm3，最大值6.91E+10atoms/cm3。扩散长度达到450.2μm。
新型单晶炉热场拉制轻掺硅单晶棒

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