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[实用新型]一种单晶硅片快速切割装置-CN201920145148.2有效
发明人：沈辉辉 -专利权人： 上海合晶硅材料有限公司
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2020-01-03 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶硅片快速切割装置，包括主体框架，主体框架内壁底端设有收集槽，主体框架内壁两侧对称固定连接有一号滑块，收集槽靠近一号滑块的一侧均设有一号滑槽，一号滑块均与一号滑槽滑动连接，本实用新型通过将单晶硅棒安放在限位孔处，通过推动板和限位孔将单晶硅棒固定，可一次性切割多个，降低生产成本，将切割电机通电后，钢丝高速运动进行切割，切割面小，浪费材料少，在与转动杆配合进行定时切割，伺服电机匀速运转，保障了每片切割厚度相同，可根据需要厚度来调节一号伺服电机转速，最后在收集槽内收集，残渣通过过滤网后收集，既环保，硅粉可进行再利用，又节约了材料，降低了成本。
主体框架收集槽滑块切割本实用新型单晶硅棒限位孔滑槽快速切割装置伺服电机转速一次性切割单晶硅片对称固定高速运动滑动连接浪费材料内壁两侧切割电机伺服电机过滤网切割面推动板再利用转动杆底端硅粉内壁钢丝通电节约运转环保配合

[实用新型]一种硅片生产用上料装置-CN201920145133.6有效
发明人：杨晟远 -专利权人： 上海合晶硅材料有限公司
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： B65D25/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片生产用上料装置，包括底座和硅片卡座，硅片卡座设有若干个，硅片卡座设置在底座的内部，且硅片卡座均与底座滑动连接，硅片卡座包括料架，料架顶部的中央位置开设有放料槽，料架一侧的侧壁上固定连接有第一卡块，料架对应第一卡块的上方和下方均开设有第一卡槽，料架远离第一卡块一侧的侧壁上开设有第二卡槽，本实用新型一种硅片生产用上料装置结构紧凑，方便使用，通过设置在底座上的若干料架，可以同时存放大量的硅片，并且料架采用可单独活动式的结构，料架可以在底座上滑动，同时按动按钮，即可实现料架的复位，使得硅片的拿取更为便捷，使得加工效率大大提高。
硅片料架卡座底座卡块本实用新型上料装置侧壁卡槽滑动连接加工效率放料槽活动式滑动按钮复位按动拿取生产

[实用新型]一种单晶硅生产用分选装置-CN201920145956.9有效
发明人：施斌 -专利权人： 上海合晶硅材料有限公司
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶硅生产用分选装置，包括分选台、盖板和测量壳，分选台下表面两端均固定连接有支脚，分选台上表面中间垂直固定连接有凹字型梯形柱，凹字型梯形柱顶端通过销轴活动连接有第一半齿轮，第一半齿轮位于非齿形端固定连接有连接杆，连接杆远离第一半齿轮一端固定连接有耐磨手柄，本实用新型的有益效果是：通过将形状和大小一致的单晶硅片放置在放置板上，利用两个半齿轮啮合运动来实现盖板的下压，由于测量壳内的顶杆底端与盖板下表面处于同一平面，所以可利用测厚板上升的高度直接就能测出单晶硅片的厚度，测量手段简单，分选合理，而且手动测量比较准确，且不易损伤单晶硅片。
半齿轮单晶硅片分选本实用新型测量盖板凹字型连接杆梯形柱垂直固定连接单晶硅生产盖板下表面活动连接有手柄大小一致顶杆底端分选装置啮合运动手动测量放置板分选台耐磨测厚非齿下压销轴支脚损伤

[实用新型]一种单晶硅生产用废料收集装置-CN201920145094.X有效
发明人：袁美君 -专利权人： 上海合晶硅材料有限公司
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶硅生产用废料收集装置，包括收集筒，收集筒两侧的侧壁上均镶嵌连接有风机，风机与收集筒连通，收集筒内部一侧的侧壁上连通有滤板，滤板的板壁上开设有若干滤孔，滤板延伸出收集筒一端的侧壁上通过合页铰接有盖板，滤板内部的腔体中安装有聚灰槽，收集筒靠近盖板一侧的侧壁上焊接有安装板，收集筒靠近安装板一侧侧壁的顶端开设有刷槽，本实用新型一种单晶硅生产用废料收集装置通过设置的滤板和风机能够对废料硅中的灰尘等杂质进行除去，使得单晶硅的生产效率大大提高，并且本实用新型收装置便于安装和拆卸，同时价格实惠，适合推广使用。
收集筒侧壁滤板本实用新型风机废料收集装置单晶硅生产安装板盖板连通单晶硅板壁便于安装合页铰接生产效率镶嵌连接拆卸灰槽滤孔腔体刷槽焊接延伸

[实用新型]一种单晶硅运送托架-CN201920145961.X有效
发明人：邓彩莲 -专利权人： 上海合晶硅材料有限公司
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： B65G47/82 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶硅运送托架，包括底盘、转盘和单晶硅片，底盘下表面两端均固定连接有一对脚轮，底盘上表面一端固定连接有一对推杆，两个推杆顶端之间水平固定连接有把手，把手表面两端均固定套有耐磨套，本实用新型的有益效果是：通过电机驱动带动直齿条与齿轮啮合运动，便于实现转盘的180°旋转，从而方便两个托盘轮换上料使用，提高了工作效率，减少了单晶硅片上料加工的时间；利用电机驱动带动凸轮旋转180°，在限位杆的作用下，顶杆顶起顶板上下移动，从而实现每个升降杆插入导向孔后使得单晶硅片悬空，方便加工设备的机械手臂取走单晶硅片，取料更加方便，替代人工取料的手段，更加自动化。
单晶硅片本实用新型电机驱动取料上料转盘推杆齿轮啮合运动单晶硅底盘上表面底盘下表面托盘把手表面工作效率机械手臂加工设备上下移动水平固定凸轮旋转推杆顶端运送托架导向孔固定套耐磨套升降杆限位杆直齿条底盘顶杆脚轮轮换悬空自动化把手替代加工

[实用新型]一种单晶硅加工用存储装置-CN201920145134.0有效
发明人：韩建超 -专利权人： 上海合晶硅材料有限公司
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶硅加工用存储装置，包括底座，底座顶部的一侧对称焊接有第一滑杆，底座顶部的另一侧对称焊接有第二滑杆，第一滑杆的一侧和第二滑杆的一侧均开凿有限位槽，第一滑杆与第二滑杆之间滑动连接有第一放置板，本实用新型所达到的有益效果是：本实用新型通过设置了限位插销和限位孔，通过限位插销和限位孔的配合可以对放置板的高度灵活调节，使其在物料的存放和拿取更加方便快捷，避免结构死板造成拿取不便的问题，通过设置了第一弹簧、第二弹簧和第三弹簧，使各放置板之间调节更加省力，降低了劳动强度，使放置板可以轻松上升，省事省力，便于单晶硅加工使用。
滑杆放置板本实用新型弹簧单晶硅加工底座顶部对称焊接限位插销限位孔拿取省力存储装置滑动连接位槽底座开凿灵活配合

[实用新型]一种单晶硅加工用输送装置-CN201920145150.X有效
发明人：曹雁 -专利权人： 上海合晶硅材料有限公司
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： B65G13/07 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶硅加工用输送装置，包括设备架和安装支架，设备架的上侧螺丝固定有安装支架，安装支架内壁上螺丝固定有伺服电机，伺服电机的输出端穿过安装支架焊接有一号皮带轮，设备架的上侧开设有传动槽，传动槽内设有若干螺纹杆，若干螺纹杆均通转轴与设备架转动连接，螺纹杆远离传动槽的一端均穿过设备架焊接有啮齿轮，若干啮齿轮之间均通过传动链条传动连接，本实用新型通过设置一号皮带轮、二号皮带轮、啮齿轮和传动链条，使得伺服电机可同时驱动多个螺纹杆同向转动，单晶硅棒曲面与两传动斗的外壁相切，可有效将单晶硅棒限位，橡胶垫和防滑纹的设置，增大了摩擦系数和接触面积，使得传动斗可充分驱动单晶硅棒移动。
设备架安装支架螺纹杆单晶硅棒伺服电机传动槽皮带轮齿轮本实用新型单晶硅加工传动链条螺丝固定输送装置传动焊接穿过驱动传动连接摩擦系数同向转动外壁相切转动连接防滑纹输出端橡胶垫内壁限位转轴移动

[实用新型]一种硅片抛光用废料回收装置-CN201920145132.1有效
发明人：张俊杰 -专利权人： 上海合晶硅材料有限公司
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片抛光用废料回收装置，包括设备撑架、废料筒、集料漏斗和排废漏斗，设备撑架的中部螺丝固定有废料筒，废料筒的上方设有集料漏斗，废料筒与集料漏斗之间连接有颈管，颈管内设有空腔，空腔内设有拨料盘，颈管通过转轴与拨料盘转动连接，颈管的外侧螺丝固定有伺服电机，伺服电机的输出端穿过颈管外壁与拨料盘焊接，拨料盘的曲面上等距分布有四个凹槽，本实用新型通过设置风管、离子风机和废料筒，可在装置内部形成旋风，气流沿废料筒内壁旋转上升，正负电荷可消除废料筒内壁的静电，使得抛光碎屑不会粘附在废料筒内壁上，多个泄压管可有效将高压气体排出，泄压管管口远离废料筒内壁，可避免抛光废料被离心力甩出。
废料筒颈管拨料盘内壁集料漏斗废料回收装置本实用新型硅片抛光螺丝固定伺服电机撑架等距分布高压气体离子风机抛光废料抛光碎屑旋转上升正负电荷转动连接静电输出端泄压管风管空腔排出排废甩出外壁泄压粘附转轴焊接漏斗旋风穿过

[实用新型]一种硅片夹持机构-CN201920145958.8有效
发明人：丁斌 -专利权人： 上海合晶硅材料有限公司
申请日： 2019-01-28 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片夹持机构，包括驱动箱、中心转杆和顶块，驱动箱内设有中心转杆，驱动箱通过转轴转动连接有中心转杆，中心转杆的一端穿过驱动箱转动连接有顶块，顶块的四个侧边分别焊接有一个滑杆，四个滑杆分别套接有一个滑套，滑套的上侧均焊接有夹板，滑套的下侧均焊接有圆杆，本实用新型通过设置驱动齿轮、从动齿轮、一号驱动杆和二号驱动杆，单次可驱动中心转杆转动恒定角度，可同时缩短四个夹板与顶块之间的距离，可从硅片四个侧边将硅片夹紧，固定效果极好，方便了硅片的加工流程，且驱动齿轮螺丝固定在伺服电机的输出端，更换不同啮齿长度的驱动齿轮可改变夹持尺寸。
转杆顶块驱动齿轮驱动箱滑套焊接硅片夹持机构本实用新型夹板驱动杆硅片侧边滑杆恒定从动齿轮固定效果加工流程螺丝固定驱动中心伺服电机转动连接转轴转动硅片夹可改变输出端夹持啮齿套接圆杆转动穿过驱动

[实用新型]新型贴片装置-CN201721094364.6有效
发明人：孙启伟;马克章 -专利权人： 上海合晶硅材料有限公司
申请日： 2017-08-29 - 公布日： 2018-05-18 - 主分类号： B08B5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型贴片装置，包括：容腔、上管道、下管道、总管道、真空泵和电机，其中，容腔为密闭空间，其中容纳贴片机，上管道的一端与容腔的上部连通，另一端与总管道连通，下管道的一端与容腔的下部连通，另一端与总管道连通，真空泵设置于总管道内，电机用于驱动真空泵。本实用新型减少了容腔内残留物；提高了容腔内的环境质量。从而提高了贴片机贴片的良率。
新型装置

[实用新型]阻流环、改善单晶硅径向电阻率均匀性的组件-CN201621102268.7有效
发明人：韩建超;邓彩莲 -专利权人： 上海合晶硅材料有限公司
申请日： 2016-09-30 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种阻流环，其包括阻流壁，所述阻流壁为筒状，还包括承载部和悬挂部，所述阻流壁通过所述悬挂部悬挂于所述承载部的下方，所述悬挂部为柔性或刚性，还公开了一种改善单晶硅径向电阻率均匀性的组件，其包括前述阻流环，还包括导流筒和熔体容器，所述阻流环安装于所述导流筒的下端，所述熔体容器设有向上的开口，所述导流筒用于将保护气吹向熔体表面地设置，所述阻流环伸入所述熔体容器内。本实用新型能改善单晶硅径向电阻率均匀性、尤其是N型<111>晶向单晶硅径向电阻率均匀性。
阻流环改善单晶硅径向电阻率均匀组件

[发明专利]硅片抛光方法-CN201611266972.0在审
发明人：林涛 -专利权人： 上海合晶硅材料有限公司
申请日： 2016-12-31 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片抛光方法，所述硅片放置于大盘上并随大盘旋转；使用旋转的抛布研磨硅片表面以抛光；所述抛布为圆形形状切割多条边而成，相邻两条切边不重合；切割方法为垂直于径向切割抛布，切割长度为自圆周顶点向圆心方向切割的尺寸L为：抛头转速与大盘转速比×抛头直径与大盘直径比×硅片直径。本发明中的硅片抛光方法，将圆形的抛布边缘割除一部分部分，减少抛布与硅片的边缘接触面积，可降低在抛光过程中边缘的抛去量。使用本发明中的硅片抛光方法，硅片抛光不良率由3.4％降至0.5％。
硅片抛光方法

[发明专利]硅片表面长多晶的方法-CN201611248634.4在审
发明人：江笠;李敏 -专利权人： 上海合晶硅材料有限公司
申请日： 2016-12-29 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片表面长多晶的方法，其包括如下步骤a)、将硅片放置于晶舟上，所述晶舟上设置有多个容置槽，所述多个容置槽之间的间距为2.5‑3.5mm；b)、将放置有硅片的晶舟放入长晶炉内长多晶。本发明中的硅片表面长多晶的方法，将容置槽之间的间距调整为2.5mm‑3.5mm，增加了产能，可将产能提升40％。容置槽的槽壁表面粗糙度设置为为Ra降低了崩边不良率，可由原有不良率5％降低为1％以下。
硅片表面多晶方法

[发明专利]晶片抛光方法-CN201410370771.X在审
发明人：林涛;邹晓明 -专利权人： 上海合晶硅材料有限公司
申请日： 2014-07-30 - 公布日： 2016-02-10 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶片抛光方法，其特征在于，在抛光过程中首先使用粗抛浆，在抛光过程最后5分钟内使用精抛浆；在抛光过程最后1分钟内浸入表面活性剂溶液中清洗。本发明中的晶片抛光方法，抛光片的不良率降至0.5％以下，大大提高了产品良率，提高了生产效率，降低了生产成本。
晶片抛光方法

[发明专利]硅片背面长多晶方法-CN201410370757.X在审
发明人：江笠;谢江华 -专利权人： 上海合晶硅材料有限公司
申请日： 2014-07-30 - 公布日： 2016-02-10 - 主分类号： C30B28/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片背面长多晶方法，其特征在于，多片所述硅片放置于晶舟上，所述晶舟上设置有多个容置槽，每片硅片放置在一个容置槽内；所述容置槽内壁使用喷砂处理使其粗糙。本发明中的硅片背面长多晶方法，提高了产品良率，崩边不良率由5％降至≦1％。晶舟单炉产出提升40％。
硅片背面多晶方法

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