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[发明专利]一种改善PERC电池制绒槽体排液口的均流板-CN202211178262.8在审
发明人：赖伟塔;李超群;陈阳泉;戴亮亮;卢发树;柯雨馨;许光荣 -专利权人：阳光中科（福建）能源股份有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： C30B33/10 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能电池生产技术领域，具体为一种改善PERC电池制绒槽体排液口的均流板，包括匀流板体一和匀流板体二，所述匀流板体一和匀流板体二安装在制绒槽体中，所述匀流板体二位于所述匀流板体一下方，所述匀流板体一与匀流板体二的底面均为弧形，所述匀流板体一上开设有若干第一匀流孔，所述匀流板体二上开设有若干第二匀流孔。通过将匀流板底面设计为弧形，本发明解决了现有的匀流板制绒液在运动至匀流板下方的非空洞区域时，匀流板会施加给制绒液一个与其运动方向相反的力，从而使得制绒液动能降低，一方面降低了制绒液通过孔洞的效率，另一方面由于制绒液动能降低极易导致制绒液沉积，由此降低匀流板的匀流效果的技术问题。
一种改善 perc 电池制绒槽体排液口均流板

[实用新型]石英匀流板-CN201821663204.3有效
发明人：李光华;赵伟恒;高峰 -专利权人：沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种石英匀流板，石英匀流板包括：第一匀流板，第二匀流板和第一连接件；第二匀流板与第一匀流板相对设置，且第二匀流板上设置至少两个导流孔；第一连接件的一端与第一匀流板的中心相连接，且第一连接件的另一端与第二匀流板的中心相连接，以使第一匀流板与第二匀流板之间存有间隙；其中，气体经至少两个导流孔流入，且从间隙中流出。通过在第二匀流板上设置至少两个导流孔，可实现气体均匀流入到间隙中，以避免大量气体突然间进入到间隙，从而实现节约气体，防止气体的浪费，从而降低了生产成本，提高工艺均匀镀膜的稳定性，提升了用户的体验。
匀流板第一连接件导流孔石英均匀镀膜相对设置生产成本流出节约

[实用新型]一种用于小口径掺杂炉管的匀流板-CN201320288902.0有效
发明人：罗强 -专利权人：康可电子(无锡)有限公司
申请日： 2013-05-24 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： C30B31/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于小口径掺杂炉管的匀流板，该匀流板适用于小尺寸硅晶片的扩散掺杂，包括依次平行排列的主匀流板和两层副匀流板，主匀流板和副匀流板呈圆形或方形，其尺寸与所述硅晶片相当；主匀流板上布置有中心匀流大孔以及围绕中心匀流大孔呈多层圆环状分布的边缘匀流小孔，副匀流板上布置有中心匀流小孔以及围绕中心匀流小孔呈多层圆环状分布的边缘匀流小孔。本实用新型匀流效果好，结构简单，加工和安装方便，实用性强，可有效提高硅晶片的掺杂均匀性，特别适用于小尺寸晶体硅太阳能电池的批量生产。
一种用于小口径掺杂炉管匀流板

[发明专利]镀金液匀流系统-CN202010808454.7在审
发明人：李宗颖;魏向荣;李勇刚;张迎彬;冯国春 -专利权人：河北广创电子科技有限公司
申请日： 2020-08-12 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明属于半导体芯片加工设备领域，具体涉及一种镀金液匀流系统，解决了现有技术中去应力腐蚀机的芯片腐蚀不均匀的缺陷，包括腐蚀槽、匀流板；所述匀流板设于腐蚀槽内部底端，所述匀流板包括均孔匀流板和边孔匀流板，每种匀流板的数量至少为1块；所述均孔匀流板为带有矩阵分布的孔的板状，所述边孔匀流板为中部不设孔，其余位置设有矩阵分布的孔的板状；均孔匀流板和边孔匀流板上下叠放，固定在腐蚀槽底端。
镀金液匀流系统

[实用新型]一种适用于管式PECVD设备的真空抽口匀流板机构-CN202221159725.1有效
发明人：王玉明;周玉龙;刘景博 -专利权人：苏州拓升智能装备有限公司
申请日： 2022-05-16 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于管式PECVD设备的真空抽口匀流板机构，包括：反应室、匀流板机构、设置于反应室尾部的抽气口及设置于反应室头部的进气口，匀流板机构设置于反应室尾口且位于所述抽气口的内侧，其包括：匀流板安装钣金、法兰、第一匀流板及第二匀流板，第一匀流板和第二匀流板之间通过匀流板连接柱固定为一整体结构，匀流板安装钣金的一端与第二匀流板锁固连接，另一端固定安装在法兰上，匀流板机构通过法兰固定在反应室尾口的位置，第一匀流板上开设有若干列阵排布的匀流孔，本实用新型的匀流板机构，使得抽真空时反应室内的气流不会发生明显的乱流，降低气流部分不均对电池片制膜的影响。
一种适用于 pecvd 设备真空抽口匀流板机

[实用新型]镀金液匀流系统-CN202021670620.3有效
发明人：李宗颖;魏向荣;李勇刚;张迎彬;冯国春 -专利权人：河北广创电子科技有限公司
申请日： 2020-08-12 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体芯片加工设备领域，具体涉及一种镀金液匀流系统，解决了现有技术中去应力腐蚀机的芯片腐蚀不均匀的缺陷，包括腐蚀槽、匀流板；所述匀流板设于腐蚀槽内部底端，所述匀流板包括均孔匀流板和边孔匀流板，每种匀流板的数量至少为1块；所述均孔匀流板为带有矩阵分布的孔的板状，所述边孔匀流板为中部不设孔，其余位置设有矩阵分布的孔的板状；均孔匀流板和边孔匀流板上下叠放，固定在腐蚀槽底端。
镀金液匀流系统

[实用新型]一种适用于槽式清洗制绒的匀流板-CN202121828958.1有效
发明人：任格格;任明冲;谷士斌;杨伯川 -专利权人：东方日升（常州）新能源有限公司
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： C30B33/10 文献下载
摘要：本实用新型请求保护的适用于槽式清洗制绒的匀流板，包括匀流板体，匀流板体上开设有网孔，且网孔形成为溶液途经匀流板体的通道；匀流板体上设有引流结构。本实用新型通过在匀流板体设置引流结构的方式，使得该匀流板应用于槽式清洗制绒设备中且对槽体内的溶液进行排液的过程中，溶液能够利用自身的重力顺着引流结构向下滑落，以此避免溶液在匀流板体上凝聚，以此保证应用有该匀流板的槽体在排液后匀流板上无残留，进而起到保证应用有该匀流板的槽体的结净度和新配溶液的有效性，并确保应用有该匀流板的槽体内溶液的均匀性。
一种适用于清洗匀流板

[实用新型]一种匀流型石英舟托-CN202320325439.6有效
发明人：蒋继陶;陈海亮 -专利权人：苏州安融石英有限公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种匀流型石英舟托，包括侧板和设置在侧板两端的端板，端板包括左端板和右端板，左端板和右端板的内侧均设置有匀流件，匀流件包括固定板和匀流板，固定板连接在端板上，匀流板与固定板平行连接并延伸至舟托的内腔中，固定板和匀流板上设置有多个匀流孔，多个匀流孔在固定板和匀流板上呈横向延伸，匀流板一端面设置有卡扣、相对的另一端面设置有与卡扣相匹配的卡环，固定板一端面也设置有卡环；卡扣和卡环的设置能使得相邻的匀流板平行设置，安装较为快速，且可以根据炉体的大小对匀流板的数量进行增减，实现模块化的设计。这样进入炉体的气体经过固定板和匀流板的过滤，可以使工艺气流与硅片接触的更均匀，同时避免了气体绕流对工艺的影响。
一种匀流型石英

[发明专利]一种用于汽车快速成型件的压模模具及其使用方法-CN202011560410.3有效
发明人：孙莹;杨亮;乔丁胜 -专利权人：南京乔丰汽车工装技术开发有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： B21D37/10 文献下载
摘要：所述下托板的上方安装有下匀流板，且下匀流板与下托板通过螺栓固定连接，所述上托板的下方安装有上匀流板，且上匀流板与上托板通过螺栓固定连接，所述下匀流板的一侧分别安装有第一进气头和第一泄气头，且第一进气头和第一泄气头均与下匀流板固定连接，所述上匀流板的一侧分别安装有第二进气头和第二泄气头，且第二进气头和第二泄气头均与上匀流板固定连接，所述下匀流板的内部设置有匀流槽，且匀流槽与下匀流板设置为一体结构，所述下匀流板的上方设置有支气管。
一种用于汽车快速成型模具及其使用方法

[发明专利]一种反应腔室和半导体加工设备-CN201810393017.6有效
发明人：肖德志 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-04-27 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种反应腔室及半导体加工设备，在反应腔室内设置有匀流板，匀流板将反应腔室分隔为匀流腔和位于该匀流腔下方的工艺腔，所述工艺腔中设有用于承载晶圆的基座，该匀流板为非平板结构，该非平板结构被设置为：使所述匀流腔的边缘区域中的气体经匀流板匀流后扩散至晶圆表面的气体自由程大于所述匀流腔的中心区域中的气体经匀流板匀流后扩散至晶圆表面的气体自由程。
一种反应半导体加工设备

[实用新型]一种匀流板-CN202023316451.6有效
发明人：林佳继;庞爱锁;朱太荣;林依婷 -专利权人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型为一种匀流板，其特征在于，包括匀流筒以及支架；匀流筒设置于支架；匀流筒包括透气板，透气板上设置有透气孔；通过在炉管的进气管一端设置匀流筒，使进气管输入的反应气体首先通过匀流筒，通过透气板的匀流作用
一种匀流板

[实用新型]一种匀流板及硅片清洗槽-CN202220512108.9有效
发明人：左国军;汤和平;余兴梅;万红朝 -专利权人：常州捷佳创精密机械有限公司
申请日： 2022-03-09 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种匀流板及硅片清洗槽，涉及光伏技术领域。该匀流板包括弹性板体，弹性板体上间隔设置有多个匀流区域，多个匀流区域分别贯穿设置有多个匀流孔，任意相邻的两个匀流区域之间设置有凹槽，凹槽的槽底厚度小于多个匀流区域的厚度。本实用新型提供的匀流板能够改变自身形状但不损坏其本身结构，以避让拆装路径上的障碍物，降低拆装难度，提升拆装效率。
一种匀流板硅片清洗

[发明专利]匀流均温模组、匀流均温加热模组及炉设备-CN202211130883.9在审
发明人：陈远明;许泽华;柯城;姜昌洞 -专利权人：上海轩田工业设备有限公司
申请日： 2022-09-16 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： B23K3/00 文献下载
摘要：本申请涉及回流焊炉技术领域，特别涉及匀流均温模组、匀流均温加热模组及炉设备。匀流均温模组，吸风管竖向固定在内腔中；匀流板固定在外壳组件中，匀流板均匀开设有通孔；匀流板的上方形成高压区，高压区用于加压风力形成高压气流；吹风板固定在外壳组件中，且吹风板均匀布置有气流出口。匀流均温加热模组，在匀流均温模组上设置用于加热风力的加热组件。炉设备，包括如上的匀流均温模组或者如上的匀流均温加热模组。风力被吸风管吸入到内腔中，在高压区被加压形成高压气流；高压气流穿过匀流板上的通孔均匀分散后，从吹风板的气流出口喷出。由于气流出口均匀布置，高压气流可以在吹风板的两端及中部均匀喷出，起到均匀热流均匀温度的作用。
匀流均温模组加热设备

[实用新型]一种MOCVD设备的喷淋装置-CN201721649992.6有效
发明人：张新云 -专利权人：北京创昱科技有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种MOCVD设备的喷淋装置，包括分流盒和喷淋系统，所述喷淋系统包括喷淋本体、匀流腔和回流腔，所述匀流腔和所述回流腔设于所述喷淋本体的两侧，所述分流盒的出口与所述匀流腔的入口连通，所述匀流腔与所述回流腔由冷却通道连通，所述匀流腔与所述冷却通道之间设有匀流板，所述匀流板上设有匀流孔；本实用新型通过匀流板分隔匀流腔与冷却通道，并在匀流板上设置匀流孔，可以对流经喷淋系统的冷却剂进行分流，实现对冷却剂的流量分布调控，确保冷却剂均匀地带走喷淋系统的热量
流腔喷淋系统匀流板冷却剂冷却通道回流腔本实用新型喷淋装置分流盒流孔喷淋连通温度均匀性晶片薄膜流量分布晶片分隔分流调控出口

[发明专利]一种负压烘干装置-CN202011490208.8在审
发明人：张淋;梁先东 -专利权人：苏州宝馨科技实业股份有限公司
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种负压烘干装置，包括主槽体与排风组件，主槽体包括静置区、位于静置区上方的多根充气管道、位于静置区下方的两组匀流板组件与位于匀流板组件下方的风道；排风组件位于风道的一端，用于在主槽体中形成负压；静置区用于放置待烘干件，匀流板组件包括呈双层设置的第一匀流板与位于第一匀流板下方的第二匀流板，第一匀流板的面积大于第二匀流板的面积，第一匀流板与静置区连通，第二匀流板与风道连通，并且两个第二匀流板上的开孔不同
一种烘干装置

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