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[实用新型]一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置-CN202120276940.9有效
发明人：戴超;齐风;邢子淳;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： B65G13/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置；该晶棒缓存装置用于缓存料座及晶棒，并定位固化的晶棒；该晶棒缓存装置的存储方式包括如下步骤：料座与晶棒固化完毕，人工将固化的晶棒搬入料车，料车与缓存平台对接，将晶棒推入料框，进行后续工序搬运操作。本实用新型所述的晶棒固化的缓存装置，能够将固化后的晶棒辅助推入缓存平台，能够节省人力，提高工作效率。
一种在线切料座上晶棒固化缓存装置

[实用新型]一种在线切料座上晶棒固化的料框式自动化仓储设备-CN202120275975.0有效
发明人：戴超;李健乐;张淳;齐风;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： B65G1/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种在线切料座上晶棒固化的料框式自动化仓储设备，该自动化仓储设备用于料座与晶棒固化后，利用小车将其搬运至自动仓储区入口处，与其对接，搬运机械手自动将物料及其料框搬运至缓存工位进行缓存，实现物料的自动化存储；该自动化仓储装置的存储方式包括如下步骤：料座与晶棒固化完毕，人工将固化的晶棒搬入料车，料车与自动仓储区入口对接，将晶棒推入料框，搬运机械手开始抓取料框，将其缓存至指定位置，依次重复上述操作，直至将整个仓储区域存满为止本实用新型所述的自动化仓储设备能够将固化后的晶棒自动缓存至仓储区域，节省人力，提高工作效率。
一种在线切料座上晶棒固化料框式自动化仓储设备

[实用新型]一种用于粘接大尺寸晶棒的全自动粘棒机-CN202020072168.4有效
发明人：靳立辉;崔振强;张华帅;高翔;尹擎 -专利权人：天津环博科技有限责任公司
申请日： 2020-01-14 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于粘接大尺寸晶棒的全自动粘棒机，包括晶棒入料机构，用于晶棒上料；料座入料机构，用于料座上料；晶棒移栽机构，用于晶棒移动，将晶棒从晶棒入料机构移动至料座上；涂胶机构，用于对料座进行涂胶；料座移栽机构，用于料座的移动，将料座从料座入料机构移动至涂胶机构的点胶位；出料机构，料座移栽机构将粘棒后的料座移动至出料机构，进行出料；晶棒入料机构与涂胶机构通过晶棒移栽机构连通，料座入料机构与涂胶机构通过料座移栽机构连通，出料机构与涂胶机构通过料座移栽机构连通，便于单晶与料座粘接。本实用新型的有益效果是实现控制一体化，提高了晶棒粘胶效率，降低了人员负荷和生产成本，实现增效降耗、少人化。
一种用于粘接大尺寸全自动粘棒机

[实用新型]一种用于晶棒切方设备的晶棒压紧装置-CN201721043369.6有效
发明人：曹建伟;傅林坚;沈文杰;马旭;卢嘉彬;邱文杰;陈志聪;张航 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2017-08-21 - 公布日： 2018-04-13 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：本实用新型属于晶棒开方设备领域，尤其涉及一种用于晶棒切方设备的晶棒压紧装置。一种用于晶棒切方设备的晶棒压紧装置，包括支撑头座，所述支撑头座外套有主压头，浮动压头波纹管和气缸安装座；所述浮动压头波纹管两端分别与主压头和气缸安装座连接；所述主压头以接触表面为球面的形式与支撑头座端部紧密接触；所述气缸安装座安装在支撑头座上；所述气缸安装座上安装有边皮压紧气缸，所述边皮压紧气缸设有四个，分别分布在气缸安装座四周；所述每一个边皮压紧气缸上安装有边皮压头。保证了切面的表面质量并避免晶棒出现开裂和崩边。
一种用于晶棒切方设备压紧装置

[发明专利]一种晶棒开方上料夹持装置-CN201910594157.4在审
发明人：解培玉;段景波;徐公志;王宝超;于秀升 -专利权人：青岛高测科技股份有限公司
申请日： 2019-07-03 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶棒开方上料夹持装置，属于晶硅加工技术领域，包括底座，所述底座上设有工作台和对中组件，所述工作台上设有支撑座、上料压紧组件以及驱动组件，支撑座用于支撑晶棒，上料压紧组件用于压紧位于支撑座上的晶棒的顶部，对中组件用于夹持位于支撑座上的晶棒的侧面，实现对中操作，驱动组件带动支撑座、上料压紧组件沿着底座上的导轨滑动，实现上料，本发明借助上料压紧组件可适应圆形、方形和菱形不同形状的晶棒夹持，省去了上下晶棒时的大量辅助时间，采用上下压紧的方式夹持住晶棒，夹持稳定，同时，借助对中组件提高对中精度，使晶棒长度方向平行于导轨方向，确保开方垂直度，借助驱动组件提高工作台横向移动精度。
晶棒上料支撑座压紧组件对中组件驱动组件开方夹持底座夹持装置压紧种晶加工技术领域工作台横向导轨方向对中操作夹持稳定菱形垂直度滑动工作台导轨晶硅平行侧面移动支撑

[实用新型]一种晶棒开方上料夹持装置-CN201921031413.0有效
发明人：解培玉;段景波;徐公志;王宝超;于秀升 -专利权人：青岛高测科技股份有限公司
申请日： 2019-07-03 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶棒开方上料夹持装置，属于晶硅加工技术领域，包括底座，所述底座上设有工作台和对中组件，所述工作台上设有支撑座、上料压紧组件以及驱动组件，支撑座用于支撑晶棒，上料压紧组件用于压紧位于支撑座上的晶棒的顶部，对中组件用于夹持位于支撑座上的晶棒的侧面，实现对中操作，驱动组件带动支撑座、上料压紧组件沿着底座上的导轨滑动，实现上料，本实用新型借助上料压紧组件可适应圆形、方形和菱形不同形状的晶棒夹持，省去了上下晶棒时的大量辅助时间，采用上下压紧的方式夹持住晶棒，夹持稳定，同时，借助对中组件提高对中精度，使晶棒长度方向平行于导轨方向，确保开方垂直度，借助驱动组件提高工作台横向移动精度。
一种开方夹持装置

[实用新型]一种切片装置-CN202122726405.1有效
发明人：周汉知;李晶 -专利权人：四川绿然科技集团有限责任公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：一种切片装置，包括切片机构，切片机构下侧设有多个限位机构，切片机构设有上顶机构，上顶机构用于晶圆棒下端的支撑以及夹持，并带动晶圆棒在限位机构的导向下向切片机构进给，切片机构用于晶圆盘的切片操作，本实用新型在进行晶圆盘加工时，能够自动且高效地完成晶圆盘的分切操作，分切时采用柔性材料进行分切，避免了金属刀具对晶圆盘的分切质量造成的不良影响，在进行分切时能够自动地进行晶圆棒的上料操作，同时在分切时能对晶圆棒进行限位，从而提高了晶圆棒的分切效果
一种切片装置

[实用新型]一种晶棒清洁流水线-CN202220956224.X有效
发明人：曹进根;武瑞;武治军;曹政民;崔伟;王大伟;万遥;万银虎;徐益林;陈列波 -专利权人：无锡中环应用材料有限公司
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶棒清洁流水线，包括一晶棒输送线，晶棒输送线一端为上料端，另一端为下料端，晶棒输送线从上料端至下料端依次布置有清洗工位和风切工位，清洗工位包括晶棒顶面清洗工位、以及晶棒侧面清洗工位。本实用新型实现了对晶棒自动化清洗，不需要人力，提升后续工艺的良品率。
一种清洁流水线

[发明专利]一种晶棒返切设备-CN202310388265.2在审
发明人：陈立民;谭鑫;潘浩;刘健;张帅 -专利权人：曲靖阳光新能源股份有限公司
申请日： 2023-04-12 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶棒返切设备，包括：机体、切割组件和送料组件，所述切割组件设置为金刚线切割器，所述送料组件包括送料传送带和送料导轨，所述送料导轨用于从送料传送带处夹持晶棒并运送至切割组件处进行切割。本发明的目的在于提供一种晶棒返切设备，能够在切割时自动完成对于晶棒的固定，提升切割效率。
一种晶棒返切设备

[实用新型]一种可更换式滑动蓝宝石晶棒线切定装机构-CN201620578223.0有效
发明人：丁志宏;胡中伟;余学志;李再来;温锦良;陈铭欣 -专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日： 2016-06-14 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可更换式滑动蓝宝石晶棒线切定装机构，包括上导轨坐2、下导轨座3、导轨4、导轨槽5、固定螺母1；所述导轨4固定在下导轨座；所述上导轨座2通过导轨4连接在下导轨座3，上导轨座2可以通过导轨4前后滑动；所述待加工晶棒放置于上导轨座2，通过所述固定螺母1进行固定；待探针打到晶棒最高点，并调整达到工艺所需求的角度时，再涂上胶水使晶棒粘到上导轨座2工作台上等待胶干；在定装调整角度达到工艺标准并涂上胶水后，可利用所述导轨4将上导轨座2整体滑动移开，等待胶干，再将另一上导轨座2滑至定装下导轨座3处进行定装。通过该更换式可滑动蓝宝石晶棒线切定装机构，可以节省胶干等待时间，大大提高了定装台的空间利用率及工作效率，降低了成本。
一种更换滑动蓝宝石晶棒线切定装机

[发明专利]一种半导体芯片晶圆棒转移分切装置-CN202110714920.X在审
发明人：李健儿;李学良;冯永;马晓洁;唐毅;敬毅;谢雷 -专利权人：四川洪芯微科技有限公司
申请日： 2021-06-26 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：一种半导体芯片晶圆棒转移分切装置，包括：支撑体，包括柜体，柜体下端两侧均安装有一对调节机构；上料组件，设于支撑体的一端，包括上移机构，上移机构设有一对放置机构；转移组件，设于支撑体的上端，包括平移机构，平移机构设有一对升降机构，升降机构的下端均设有夹持机构；夹持组件，设于支撑体的上端，包括下夹构件，下夹构件的一侧设有下压机构，下压机构的上端设有翻转机构，翻转机构安装有上夹构件；分切组件，设于支撑体的上端本发明方便进行晶圆棒的分切操作，提高晶圆棒分切自动化程度、分切效率、分切精度，方便进行晶圆棒的自动转移，方便进行晶圆棒的夹持定位，提高了晶圆盘分切的品质。
一种半导体芯片晶圆棒转移装置

[实用新型]一种晶棒定位工装-CN202223014446.9有效
发明人：宋海涛;钟后芳;赵元亚;崔思远;文国昇;金从龙 -专利权人：江西兆驰半导体有限公司
申请日： 2022-11-11 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶棒定位工装，该晶棒定位工装包括工作台，设置在所述工作台上的定位组件和安装组件；所述定位组件包括定位座和料板，所述定位座上设有与所述料板外轮廓适配的定位槽，所述料板顶部至少部分突出所述定位槽用于放置垫条；所述安装组件包括设置在所述定位座一侧的安装座，和固定在所述安装座上的安装器，所述安装器底部设有夹具以使所述晶棒悬置在所述垫条的正上方；所述安装器使所述夹具上下移动，以使所述晶棒胶粘在所述垫条上。本实用新型中的晶棒定位工装，解决了现有技术中的晶棒在与垫条粘接时会出现晶棒与垫条不平行，导致晶棒粘接需要返工的问题。
一种定位工装

[实用新型]一种上料缓存台-CN202220627222.6有效
发明人：李大伟;郑小亮;赵朋占;许建虹;赵锐杰 -专利权人：天津市环智新能源技术有限公司
申请日： 2022-03-22 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： B65G47/69 文献下载
摘要：本实用新型提供一种上料缓存台，其特征在于，包括：支撑框架，用于支撑晶棒组件；其中，所述晶棒组件包括料座、粘接在所述料座上的连接板以及粘接在所述连接板上的晶棒；挂料装置，设置在所述支撑框架上，用于固定所述晶棒组件；接料装置，设置在所述支撑框架上，且在所述挂料装置的底部，可收集从所述挂料装置上掉落的所述晶棒组件。本实用新型的有益效果是挂料装置能够直接实现倒挂晶棒组件，省去中间还需将晶棒组件翻转的一个工序，减免了机械手需要等待的时间，提高了机械手的工时利用率，进而提高了整体的生产效率。
一种缓存

[发明专利]一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组-CN201710312956.9有效
发明人：靳立辉;张学强;王国瑞;崔振强;陈志达;姚长娟;渠丽岩;杨海亮;杨明;丁吉祥;张华帅;赵晓光;尹擎 -专利权人：天津中环半导体股份有限公司
申请日： 2017-05-05 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本发明创造提供了一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组，包括料座上料机构及晶棒上料机构，用于抓取料座上料机构提供的料座的拆分机械手、两端分别与拆分机械手及晶棒上料机构对接的治具回流线、粘棒机、滑动轨道设于粘棒机进料端上方和晶棒上料机构上方的桁架机械手、进料端与粘棒机出料端对应，出料端位于拆分机械手下方的预固化流水线及进料端与拆分机械手对接的数字固化库。本发明创造所述的粘棒机组实现了粘棒工序的自动化、少人化，降低了工人劳动强度的同时生产效率有了极大的提高。
一种用于粘接晶棒全自动机组

[实用新型]一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组-CN201720494513.1有效
发明人：靳立辉;张学强;王国瑞;崔振强;陈志达;姚长娟;渠丽岩;杨海亮;杨明;丁吉祥;张华帅;赵晓光;尹擎 -专利权人：天津中环半导体股份有限公司
申请日： 2017-05-05 - 公布日： 2017-12-12 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型创造提供了一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组，包括料座上料机构及晶棒上料机构，用于抓取料座上料机构提供的料座的拆分机械手、两端分别与拆分机械手及晶棒上料机构对接的治具回流线、粘棒机、滑动轨道设于粘棒机进料端上方和晶棒上料机构上方的桁架机械手、进料端与粘棒机出料端对应，出料端位于拆分机械手下方的预固化流水线及进料端与拆分机械手对接的数字固化库。本实用新型创造所述的粘棒机组实现了粘棒工序的自动化、少人化，降低了工人劳动强度的同时生产效率有了极大的提高。
一种用于粘接晶棒全自动机组

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